SiC Wafer Boat/Tower

Detail produktu

ProduktDpopis

Oplatkové čluny z karbidu křemíku jsou široce používány jako držáky plátků v procesu vysokoteplotní difúze.

výhody:

Vysoká teplotní odolnost:normální použití při 1800 ℃

Vysoká tepelná vodivost:ekvivalentní grafitovému materiálu

Vysoká tvrdost:tvrdost druhá po diamantu, nitridu boru

Odolnost proti korozi:silné kyseliny a zásady nemají korozi, odolnost proti korozi je lepší než karbid wolframu a oxid hlinitý

Nízká hmotnost:nízká hustota, blízká hliníku

Žádná deformace: nízký koeficient tepelné roztažnosti

Odolnost proti tepelným šokům:dokáže odolat prudkým změnám teploty, odolat teplotním šokům a má stabilní výkon

Fyzikální vlastnosti SiC

Vlastnictví	Hodnota	Metoda
Hustota	3,21 g/cc	Dřez-plovák a rozměr
Specifické teplo	0,66 J/g °K	Pulzní laserový záblesk
Pevnost v ohybu	450 MPa560 MPa	4bodový ohyb, RT4 bodový ohyb, 1300°
Lomová houževnatost	2,94 MPa m1/2	Mikroindentace
Tvrdost	2800	Vicker's, zátěž 500g
Elastický modulYoungův modul	450 GPa 430 GPa	Ohyb 4 pt, ohyb RT4 pt, 1300 °C
Velikost zrna	2 – 10 um	SEM