Grafitový ohřívač potažený SIC s dlouhou životností pro MOCVD K465i, grafitový ohřívač pro epitaxi

Krátký popis:

Chemický grafit

Výhoda: Odolnost vůči vysokým teplotám

Použití: MOCVD/Vakuová pec/horká zóna

Objemová hmotnost: 1,68-1,91 g/cm3

Pevnost v ohybu: 30-46Mpa

Odpor: 7-12μΩm


Detail produktu

Štítky produktu

Dlouhá životnostGrafitový ohřívač potažený SICpro MOCVD K465i, grafitový ohřívač pro epitaxi,
grafitový ohřívač, Grafitový ohřívač pro MOCVD, ohřívač, Grafitový ohřívač potažený SIC,

MOCVD ohřívač substrátu, topná tělesa pro MOCVD

Grafitohřívač:
Thegrafitový ohřívačkomponenty se používají ve vysokoteplotní peci s teplotou dosahovanou 2200 stupňů ve vakuovém prostředí a 3000 stupňů v prostředí deoxidovaného a vloženého plynu.
Hlavní vlastnosti grafituohřívač:
1. rovnoměrnost topné struktury.
2. dobrá elektrická vodivost a vysoké elektrické zatížení.
3. odolnost proti korozi.
4. neoxidovatelnost.
5. vysoká chemická čistota.
6. vysoká mechanická pevnost.
Výhodou je energetická účinnost, vysoká hodnota a nenáročnost na údržbu.
Můžeme vyrobit antioxidační grafitový kelímek s dlouhou životností, grafitovou formu a všechny části grafitového ohřívače.
Hlavní parametry grafitového topidla:

Technická specifikace

VET-M3

Objemová hustota (g/cm3)

≥1,85

Obsah popela (PPM)

≤500

Tvrdost Shore

≥45

Specifický odpor (μ.Ω.m)

≤12

Pevnost v ohybu (Mpa)

≥40

Pevnost v tlaku (Mpa)

≥70

Max. Velikost zrna (μm)

≤43

Součinitel tepelné roztažnosti Mm/°C

≤4,4*10-6

Grafitový ohřívač pro elektrickou pec má vlastnosti tepelné odolnosti, odolnosti proti oxidaci, dobré elektrické vodivosti a lepší mechanické náročnosti. Můžeme obrábět různé typy grafitových ohřívačů podle návrhů zákazníků.

MOCVD ohřívač substrátu, topná tělesa pro MOCVDMOCVD ohřívač substrátu, topná tělesa pro MOCVD


  • Předchozí:
  • Další:

  • WhatsApp online chat!