Grafitový susceptor potažený karbidem křemíku pro LED leptání

Krátký popis:

Susceptor z karbidu křemíku pro LED leptání (SiC zásobník) je speciální příslušenství pro hluboké leptání křemíku (ICP leptací stroj). wafer nosič, také známý jako wafer nosič, křemíkový wafer nosič, také známý jako kapesní wafer. Široce se používá v polovodičovém CVD a vakuovém naprašování.


Detail produktu

Štítky produktu

Susceptor potažený karbidem křemíku jea klíčsoučástky používané v různých procesech výroby polovodičů.K výrobě susceptoru potaženého karbidem křemíku používáme naši patentovanou technologiiextrémně vysoká čistota,dobrýpovlakjednotnosta vynikající životnost, stejně jakovysoká chemická odolnost a tepelná stabilita.

VET Energy je askutečný výrobce přizpůsobených produktů z grafitu a karbidu křemíku s CVD povlakem,může dodatrůznézakázkové díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl. Ováš technický tým pochází ze špičkových tuzemských výzkumných institucí, dokáže poskytnout profesionálnější materiálová řešenípro vás.

Neustále vyvíjíme pokročilé procesy, abychom poskytovali pokročilejší materiály,avyvinuli exkluzivní patentovanou technologii, díky které je spojení mezi nátěrem a substrátem těsnější a méně náchylné k odlepení.

Fvlastnosti našich produktů:

1. Vysoká teplotní odolnost proti oxidaci až do 1700.
2. Vysoká čistota atepelná rovnoměrnost
3. Vynikající odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
4. Vysoká tvrdost, kompaktní povrch, jemné částice.
5. Delší životnost a odolnější

CVD SiC薄膜基本物理性能

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak

性质 / Nemovitosti

典型数值 / Typická hodnota

晶体结构 / Krystalová struktura

FCC β fáze多晶,主要为(111)取向

密度 / Hustota

3,21 g/cm³

硬度 / Tvrdost

2500 维氏硬度(500g náplň)

晶粒大小 / Velikost zrna

2~10μm

纯度 / Chemická čistota

99,99995 %

热容 / Tepelná kapacita

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Teplota sublimace

2700 ℃

抗弯强度 / Pevnost v ohybu

415 MPa RT 4-bod

杨氏模量 / Youngův modul

Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / ThermalVodivost

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Tepelná expanze (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Srdečně vás vítáme k návštěvě naší továrny, pojďme dále diskutovat!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Předchozí:
  • Další:

  • WhatsApp online chat!