Energie odborného vzdělávání a přípravyProcesní grafitový nosič PECVD je vysoce kvalitní spotřební materiál přizpůsobený pro proces PECVD (plasma enhancement chemical vapor deposition). Tento grafitový nosič je vyroben z vysoce čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou, s vynikající odolností proti vysokým teplotám, odolností proti korozi, rozměrovou stabilitou a dalšími vlastnostmi, může poskytnout stabilní nosnou platformu pro proces PECVD, aby byla zajištěna jednotnost a plochost tenkého filmu. uložení.
Grafitové nosiče pro proces PECVD mají následující vlastnosti:
▪ Vysoká čistota: extrémně nízký obsah nečistot, zabraňuje kontaminaci fólie a zajišťuje kvalitu fólie.
▪ Vysoká hustota: vysoká hustota, vysoká mechanická pevnost, schopnost odolat vysoké teplotě a vysokému tlaku prostředí PECVD.
▪ Dobrá rozměrová stabilita: malá rozměrová změna při vysoké teplotě zajišťující stabilitu procesu.
▪ Vynikající tepelná vodivost: účinně přenáší teplo, aby se zabránilo přehřátí plátku.
▪ Silná odolnost proti korozi: schopnost odolat erozi různými korozivními plyny a plazmou.
▪ Zákaznický servis: grafitové nosiče různých velikostí a tvarů lze upravit podle potřeb zákazníka.
Grafitový materiál od SGL:
Typický parametr: R6510 | |||
Index | Testovací standard | Hodnota | Jednotka |
Průměrná velikost zrna | ISO 13320 | 10 | μm |
Objemová hmotnost | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Otevřená pórovitost | DIN66133 | 10 | % |
Střední velikost pórů | DIN66133 | 1.8 | μm |
Propustnost | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Tvrdost podle Rockwella HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Specifický elektrický odpor | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Pevnost v ohybu | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Pevnost v tlaku | DIN 51910 | 130 | MPa |
Youngův modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Tepelná roztažnost (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Tepelná vodivost (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Je speciálně navržen pro vysoce účinnou výrobu solárních článků a podporuje zpracování velkých plátků G12. Optimalizovaná konstrukce nosiče výrazně zvyšuje propustnost, umožňuje vyšší výnosy a nižší výrobní náklady.
Položka | Typ | Číslo nosiče destiček |
PEVCD Grephite člun - Řada 156 | 156-13 grephite člun | 144 |
156-19 grephite člun | 216 | |
156-21 grefitový člun | 240 | |
156-23 grafitový člun | 308 | |
PEVCD Grephite člun – řada 125 | 125-15 grephite člun | 196 |
125-19 grephite člun | 252 | |
125-21 grphite člun | 280 |