A struttura interna di l'equipaggiu di tubu di furnace hè spiegata in detail

Comu mostra sopra, hè un tipicu

A prima metà:
Elementu di Riscaldamentu (bobina di riscaldamentu): situatu intornu à u tubu di u fornu, generalmente fattu di fili di resistenza, utilizatu per riscalda l'internu di u tubu di u fornu.
Tubu di quartz: U core di un furnace d'ossidazione calda, fattu di quartz d'alta purezza chì pò resiste à alte temperature è ferma chimicamente inerte.
Alimentazione di gas: Situatu à a cima o à u latu di u tubu di u fornu, hè adupratu per trasportà l'ossigenu o altri gasi à l'internu di u tubu di u fornu.
SS Flange: cumpunenti chì cunnessu tubi di quartz è linee di gas, assicurendu a strettezza è a stabilità di a cunnessione.
Gas Feed Lines: Pipe chì cunnetta u MFC à u portu di furnimentu di gasu per a trasmissione di gas.
MFC (Mass Flow Controller) : Un dispositivu chì cuntrolla u flussu di gasu in un tubu di quartz per regulà precisamente a quantità di gas necessariu.
Vent: Adupratu per scaccià u gasu di scarico da l'internu di u tubu di u fornu à l'esterno di l'equipaggiu.

Parte bassa
Wafers di Silicon in Holder: I wafers di Silicon sò allughjati in un Holder speciale per assicurà un calore uniforme durante l'ossidazione.
Holder Wafer: Adupratu per mantene a wafer di siliciu è assicura chì a wafer di silicium resta stabile durante u prucessu.
Pedestal: Una struttura chì cuntene un supportu di wafer di silicone, generalmente fattu di un materiale resistente à alta temperatura.
Ascensore: Adupratu per elevà i supporti di wafer in e fora di i tubi di quartz per a carica è scaricamentu automaticu di wafers di silicone.
Wafer Transfer Robot: situatu à u latu di u dispusitivu di u tubu di u furnace, hè utilizatu per caccià automaticamente l'ostia di siliciu da a scatula è mette in u tubu di u fornu, o sguassate dopu a trasfurmazioni.
Cassette Storage Carousel: Carousel Storage Cassette hè utilizatu per almacenà una scatula chì cuntene wafers di silicone è pò esse rotatu per l'accessu à u robot.
Wafer Cassette: a cassetta di wafer hè aduprata per almacenà è trasferisce i wafers di siliciu per esse processati.