A struttura interna di l'equipaggiu di tubu di furnace hè spiegata in detail

Comu mostra sopra, hè un tipicu

A prima metà:

▪ Elementu riscaldante (bobina riscaldante) :

situatu intornu à u tubu di u furnace, di solitu fattu di fili di resistenza, usatu per scaldà l'internu di u tubu di u furnace.

▪ Tubu di quartz:

U core di un furnace d'ossidazione calda, fattu di quartz d'alta purezza chì pò resiste à alte temperature è ferma inerte chimicamente.

▪ Alimentazione di gas:

Situatu à a cima o à u latu di u tubu di u furnace, hè adupratu per trasportà l'ossigenu o altri gasi à l'internu di u tubu di u furnace.

▪ Flange SS:

cumpunenti chì culliganu i tubi di quartz è e linee di gas, assicurendu a stretta è a stabilità di a cunnessione.

▪ Linee di alimentazione di gas:

Pipe chì cunnette u MFC à u portu di furnimentu di gasu per a trasmissione di gas.

▪ MFC (Mass Flow Controller) :

Un dispositivu chì cuntrolla u flussu di gasu in un tubu di quartz per regulà precisamente a quantità di gas necessariu.

▪ Vent:

Adupratu per scaccià u gasu di scarico da l'internu di u tubu di u fornu à l'esterno di l'equipaggiu.

Parte bassa:

▪ Wafers di Silicon in Holder:

I wafers di silicone sò allughjati in un supportu speciale per assicurà un calore uniforme durante l'ossidazione.

▪ Holder Wafer:

Adupratu per mantene a wafer di silicium è assicurà chì a wafer di silicium resta stabile durante u prucessu.

▪ Pedestal :

Una struttura chì cuntene un supportu di wafer di silicone, generalmente fattu di materiale resistente à alta temperatura.

▪ Ascensore:

Adupratu per elevà i supporti di wafer in e fora di tubi di quartz per carica è scaricamentu automaticu di wafer di silicu.

▪ Robot di trasferimentu di wafer:

situatu nant'à u latu di u dispusitivu tubu furnace, hè usatu à caccià automaticamente u wafer siliciu da a scatula è mette in u tubu furnace, o sguassate dopu à trasfurmazioni.

▪ Carrusel di Storage Cassette:

U carrusel d'almacenamiento di cassette hè adupratu per almacenà una scatula chì cuntene wafers di siliciu è pò esse rotatu per l'accessu di robot.

▪ Cassette Wafer:

cassette wafer hè utilizatu per almacenà è trasferisce i wafers di siliciu per esse processati.