Sa diha nga kini semilya sabalita sa negosyo, Ang pagsabut sa pagka-elaborate sa semiconductor fabrication gikinahanglan. Ang semiconductor wafer hinungdanon nga sangkap sa kini nga industriya, apan kanunay silang nag-atubang sa kontaminasyon gikan sa lainlaing mga kahugawan. Kini nga mga kontaminado, naglakip sa atom, organikong butang, metal nga elemento nga ion, ug oxide, mahimong makaapekto sa pamaagi sa paggama.
Mga partikulosama sa polymer ug etching impurity pagsalig sa intermolecular force sa adsorb sa ibabaw sa wafer ni, makaapekto sa device photolithography.organikong mga hugawsama sa homo skin oil ug machine oil nga porma nga salida sa wafer, makababag sa paglimpyo.metal nga mga ion nga elementosama sa puthaw ug aluminum sagad nga tangtangon pinaagi sa pagporma sa metallic elemento ion complex.Mga oxidemakababag sa proseso sa paghimo ug kasagarang kuhaon pinaagi sa paghumol sa dilute nga hydrofluoric acid.
kemikal nga mga pamaagikasagarang gigamit sa paglimpyo ug pag-jerk sa semiconductor wafer. Ang moisture chemical cleaning technique sama sa solution submergence ug mechanical scrub ang nagpatigbabaw. Ang supersonic ug megasonic nga pamaagi sa pagpanglimpyo nagtanyag og episyente nga mga paagi sa pagtangtang sa kahugawan. uga nga kemikal nga pagpanglimpyo, naglakip sa plasma ug gas phase teknolohiya, usab play sa usa ka function sa semiconductor wafer proseso sa pagpanglimpyo.
Oras sa pag-post: Okt-29-2024