Unsaon paglimpyo sa PECVD graphite boat？| Enerhiya sa VET

1. Pag-ila sa dili pa limpyohan

1) Sa dihang angPECVD graphite nga sakayanAng /carrier gigamit labaw pa sa 100 hangtod 150 ka beses, kinahanglan nga susihon sa operator ang kondisyon sa coating sa oras. Kung adunay dili normal nga sapaw, kini kinahanglan nga limpyohan ug kumpirmahon. Ang normal nga coating color sa silicon wafer sa graphite boat/carrier kay blue. Kung ang wafer adunay dili asul, daghang mga kolor, o ang kalainan sa kolor tali sa mga wafer dako, kini usa ka abnormal nga coating, ug ang hinungdan sa abnormalidad kinahanglan nga makumpirma sa oras.
2) Human sa proseso ang mga personahe nag-analisar sa kondisyon sa coating saPECVD graphite nga sakayan/carrier, ilang determinahon kung kinahanglan bang limpyohan ang graphite boat ug kung kinahanglan bang ilisan ang card point, ug ang graphite boat/carrier nga kinahanglan limpiyohan itugyan sa mga personahe sa kagamitan alang sa paglimpyo.

 

3) Human sagraphite nga sakayan/carrier kay nadaot, ang production personnel kuhaon ang tanang silicon wafers sa graphite boat ug gamiton ang CDA (compressed air) sa paghan-ay sa mga tipik sagraphite nga sakayan. Human makompleto, ang mga personahe sa ekipo mopataas niini ngadto sa acid tank nga giandam uban sa usa ka piho nga proporsiyon sa HF nga solusyon alang sa paglimpyo.

 

2. Paglimpyo sa graphite boat

Kini girekomendar sa paggamit sa usa ka 15-25% hydrofluoric acid solusyon alang sa tulo ka rounds sa pagpanglimpyo, ang matag usa alang sa 4-5 ka oras, ug sa matag karon ug unya bubbling nitroheno sa panahon sa soaking ug paghinlo proseso, sa pagdugang sa mga tunga sa oras sa pagpanglimpyo; nota: dili girekomendar nga gamiton ang hangin direkta isip tinubdan sa gas alang sa pagbuga. Human sa pag-pickling, hugasi sa lunsay nga tubig sulod sa mga 10 ka oras, ug kumpirmahi nga ang sakayan nalimpyohan pag-ayo. Human sa paglimpyo, palihug susiha ang nawong sa sakayan, ang graphite card point ug ang sakayan sheet joint, ug uban pang mga bahin aron masuta kon aduna bay silicon nitride nga nahabilin. Unya uga sumala sa mga kinahanglanon.

3. Mga panagana sa pagpanglimpyo

A) Tungod kay ang HF acid usa ka labi ka makadaot nga substansiya ug adunay usa ka piho nga volatility, delikado kini sa mga operator. Busa, ang mga operator sa limpiyo nga post kinahanglan nga mag-amping sa kaluwasan ug madumala sa usa ka dedikado nga tawo.

B) Girekomenda nga i-disassemble ang sakayan ug limpyohan lamang ang bahin sa graphite sa panahon sa pagpanglimpyo, aron ang matag bahin sa kontak mahimong malimpyohan pag-ayo. Sa pagkakaron, daghang mga domestic nga tiggama ang naggamit sa kinatibuk-ang pagpanglimpyo, nga sayon, apan tungod kay ang HF acid makadaot sa mga seramik nga mga bahin, ang kinatibuk-ang pagpanglimpyo makapamubo sa serbisyo sa kinabuhi sa mga katugbang nga mga bahin.