Ang internal nga istruktura sa kagamitan sa tubo sa hurno gipatin-aw sa detalye

Sama sa gipakita sa ibabaw, usa ka tipikal

Ang unang bahin:

▪ Heating Element (heating coil):

nahimutang sa palibot sa hudno nga tubo, kasagarang ginama sa resistensya nga mga alambre, nga gigamit sa pagpainit sa sulod sa hudno nga tubo.

▪ Tube nga Quartz:

Ang kinauyokan sa usa ka mainit nga hudno sa oksihenasyon, nga hinimo sa high-purity nga quartz nga makasugakod sa taas nga temperatura ug magpabilin nga chemically inert.

▪ Gas Feed:

Nahimutang sa ibabaw o kilid sa tubo sa hudno, gigamit kini sa pagdala sa oksiheno o uban pang mga gas sa sulod sa tubo sa hudno.

▪ SS Flange:

mga sangkap nga nagkonektar sa mga tubo sa quartz ug mga linya sa gas, nga nagsiguro sa kahigpit ug kalig-on sa koneksyon.

▪ Gas Feed Lines:

Mga tubo nga nagkonektar sa MFC sa pantalan sa suplay sa gas alang sa pagpasa sa gas.

▪ MFC (Mass Flow Controller) :

Usa ka himan nga nagkontrol sa dagan sa gas sulod sa quartz tube aron tukma nga makontrol ang gidaghanon sa gas nga gikinahanglan.

▪ Pahungaw:

Gigamit sa pagpahungaw sa tambutso nga gas gikan sa sulod sa hudno nga tubo ngadto sa gawas sa kagamitan.

Ubos nga bahin:

▪ Mga Silicon Wafer sa Holder:

Ang mga wafer sa silikon gipahimutang sa usa ka espesyal nga Holder aron masiguro ang parehas nga kainit sa panahon sa oksihenasyon.

▪ Wafer Holder:

Gigamit sa paghawid sa silicon wafer ug pagsiguro nga ang silicon wafer magpabilin nga lig-on sa panahon sa proseso.

▪ Pedestal:

Usa ka estraktura nga nagkupot ug silicon wafer Holder, kasagarang ginama sa taas nga temperatura nga materyal.

▪ Elevator:

Gigamit sa pagbayaw sa mga naghupot sa Wafer ngadto ug gawas sa mga quartz tubes alang sa awtomatik nga pagkarga ug pagdiskarga sa mga silicon nga wafer.

▪ Wafer Transfer Robot:

nahimutang sa kilid sa furnace tube device, kini gigamit sa awtomatikong pagtangtang sa silicon wafer gikan sa kahon ug ibutang kini sa hudno tube, o kuhaa kini human sa pagproseso.

▪ Carousel sa Pagtipig sa Cassette:

Ang carousel sa pagtipig sa cassette gigamit sa pagtipig sa usa ka kahon nga adunay sulud nga mga wafer sa silicon ug mahimong i-rotate alang sa pag-access sa robot.