China Manufacturer SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

Mubo nga Deskripsyon:

Kaputli <5ppm
‣ Maayong doping uniformity
‣ Taas nga densidad ug adhesion
‣ Maayong anti-corrosive ug carbon pagsukol

‣ Propesyonal nga pagpahiangay
‣ Mubo nga lead time
‣ Lig-on nga suplay
‣ Pagkontrol sa kalidad ug padayon nga pag-uswag

Epitaxy sa GaN sa Sapphire(RGB/Mini/Micro LED);
Epitaxy sa GaN sa Si Substrate(UVC);
Epitaxy sa GaN sa Si Substrate(Electronical Device);
Epitaxy sa Si sa Si Substrate(Integrated nga sirkito);
Epitaxy sa SiC sa SiC Substrate(substrate);
Epitaxy sa InP sa InP

Ipadala ang email kanamo I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Taas nga kalidad nga MOCVD Susceptor Pagpalit online sa China

Ang usa ka wafer kinahanglan nga moagi sa daghang mga lakang sa dili pa kini magamit sa mga elektronik nga aparato. Usa ka importante nga proseso mao ang silicon epitaxy, diin ang mga wafer gidala sa graphite susceptors. Ang mga kabtangan ug kalidad sa mga susceptor adunay hinungdanon nga epekto sa kalidad sa epitaxial layer sa wafer.

Para sa manipis nga film deposition phases sama sa epitaxy o MOCVD, ang VET naghatag ug ultra-pure graphiteequipment nga gigamit sa pagsuporta sa mga substrate o "wafers". Sa kinauyokan sa proseso, kini nga kagamitan, epitaxy susceptors o satellite platform para sa MOCVD, una nga gipailalom sa deposition environment:

Taas nga temperatura.
Taas nga vacuum.
Paggamit sa mga agresibo nga gas precursors.
Zero kontaminasyon, pagkawala sa pagpanit.
Pagbatok sa lig-on nga mga asido sa panahon sa pagpanglimpyo

Ang VET Energy mao ang tinuod nga tiggama sa customized nga graphite ug silicon carbide nga mga produkto nga adunay coating alang sa semiconductor ug photovoltaic nga industriya. Ang among technical team gikan sa mga top domestic research institutions, makahatag ug mas propesyonal nga materyal nga mga solusyon para nimo.

Kami padayon nga nagpalambo sa mga advanced nga proseso aron mahatagan ang labi ka abante nga mga materyales, ug nagtrabaho sa usa ka eksklusibo nga patente nga teknolohiya, nga makahimo sa pagbugkos tali sa coating ug substrate nga labi ka hugot ug dili kaayo dali nga mahurot.

Mga bahin sa among mga produkto:

1. Taas nga temperatura nga pagsukol sa oksihenasyon hangtod sa 1700 ℃.
2. Taas nga kaputli ug thermal uniformity
3. Maayo kaayo nga pagsukol sa kaagnasan: acid, alkali, asin ug mga organikong reagents.
4. Taas nga katig-a, compact nga nawong, maayong mga partikulo.
5. Mas taas nga serbisyo sa kinabuhi ug mas lig-on

CVD SiC薄膜基本物理性能 Panguna nga pisikal nga mga kabtangan sa CVD SiCsapaw
性质 / Property	典型数值 / Kinaandan nga Bili
晶体结构 / Kristal nga Istruktura	FCC β nga hugna多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3.21 g/cm³
硬度 / Katig-a	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Grain Laki	2~10μm
纯度 / Pagkaputli sa Kemikal	99.99995%
热容 / Kapasidad sa Kainit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimation Temperatura	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural nga Kusog	415 MPa RT 4-puntos
杨氏模量 / Modulus sa Batan-on	430 Gpa 4pt bend, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)	4.5×10^-6K^-1