Susceptor recobert de TaC per a equips d'epitaxia

Descripció breu:

VET proporciona recobriments especialitzats de carbur de tàntal (TaC) per a diversos components i suports. El procés de recobriment líder de VET permet que els recobriments de carbur de tàntal (TaC) assoleixin una puresa elevada, una estabilitat a alta temperatura i una alta tolerància química, millorant la qualitat del producte dels cristalls SIC/GAN i les capes EPI i allargant la vida útil dels components clau del reactor. L'ús del recobriment de carbur de tàntal TaC és per resoldre el problema de les vores i millorar la qualitat del creixement del cristall, i VET ha resolt la tecnologia de recobriment de carbur de tàntal (CVD) a un nivell avançat internacional.

Envieu-nos un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

recobert de TaCEl substrat és una pel·lícula fina feta decarbur de tàntalmaterial, que s'aplica a la superfície del substrat de l'equip epitaxial.Recobriment de TaCté moltes propietats excel·lents, per la qual cosa és una opció ideal.

El recobriment TaC és un tipus de recobriment de carbur de tàntal (TaC) preparat mitjançant tecnologia de deposició física de vapor, té les característiques següents:

1. Alta duresa: la duresa del recobriment TaC és alta, normalment pot arribar a 2500-3000HV, és un excel·lent recobriment dur.

2. Resistència al desgast: el recobriment TaC és molt resistent al desgast, cosa que pot reduir eficaçment el desgast i els danys de les peces mecàniques durant l'ús.

3. Bona resistència a les altes temperatures: el recobriment de TaC també pot mantenir el seu excel·lent rendiment en ambients d'alta temperatura.

4. Bona estabilitat química: el recobriment de TaC té una bona estabilitat química i pot resistir moltes reaccions químiques, com àcids i bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propietats físiques de TaC recobriment
密度/ Densitat	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissivitat específica	0,3
热膨胀系数 / Coeficient de dilatació tèrmica	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Duresa (HK)	2000 HK
电阻 / Resistència	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Estabilitat tèrmica	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Canvis de mida del grafit	-10~-20um
涂层厚度 / Gruix del recobriment	≥20um valor típic (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd és una empresa d'alta tecnologia centrada en la producció i venda de materials avançats de gamma alta, els materials i la tecnologia que cobreixen grafit, carbur de silici, ceràmica, tractament de superfícies, etc. Els productes s'utilitzen àmpliament en fotovoltaics, semiconductors, noves energies, metal·lúrgia, etc.

El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals, us pot oferir solucions materials més professionals.

Us donem la benvinguda a visitar la nostra fàbrica, anem a parlar més!