Safata de fulla epitaxial de carbur de silici per a forn epitaxial de semiconductors

Descripció breu:

La safata de fulla epitaxial de carbur de silici VET Energy és un producte d'alt rendiment dissenyat per oferir un rendiment constant i fiable durant un període prolongat. Té una molt bona resistència a la calor i uniformitat tèrmica, alta puresa i resistència a l'erosió, cosa que la converteix en la solució perfecta per a aplicacions de processament d'hòsties.


Detall del producte

Etiquetes de producte

Inductors de SiC 1
Inductors de SiC 2

La safata de làmines de carbur de silici és un component clau que s'utilitza en diversos processos de fabricació de semiconductors. Utilitzem la nostra tecnologia patentada per fer que la safata de carbur de silici tingui una puresa extremadament alta, una bona uniformitat de recobriment i una excel·lent vida útil, així com una alta resistència química i propietats d'estabilitat tèrmica.

VET Energy és el veritable fabricant de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb diferents recobriments com SiC, Tac, carboni pirolític, carboni vidre, etc., pot subministrar diverses peces personalitzades per a la indústria de semiconductors i fotovoltaica. El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals, us pot oferir solucions materials més professionals.

Desenvolupem contínuament processos avançats per proporcionar materials més avançats, i hem elaborat una tecnologia patentada exclusiva, que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més estreta i menys propensa al despreniment.

Característiques dels nostres productes:

1. Resistència a l'oxidació a alta temperatura fins a 1700 ℃.
2. Alta puresa i uniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcid, àlcali, sal i reactius orgànics.

4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més duradora

CVD SiC薄膜基本物理性能

Propietats físiques bàsiques de CVD SiCrecobriment

性质 / Propietat

典型数值 / Valor típic

晶体结构 / Estructura de cristall

Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitat

3,21 g/cm³

硬度 / Duresa

2500 维氏硬度(càrrega de 500 g)

晶粒大小 / Mida del gra

2 ~ 10 μm

纯度 / Puresa química

99,99995%

热容 / Capacitat calorífica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura de sublimació

2700 ℃

抗弯强度 / Resistència a la flexió

415 MPa RT de 4 punts

杨氏模量 / Mòdul de joventut

430 Gpa de 4 punts, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductivitat

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Us donem la benvinguda a visitar la nostra fàbrica, anem a parlar més!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Anterior:
  • Següent:

  • Xat en línia de WhatsApp!