Recobriment de SiC / recobert de substrat de grafit per a semiconductors,Safates de grafit，Sic Grafitsusceptors de l'epitaxia,
El carboni subministra susceptors, EPITAXI I MOCVD, susceptors de l'epitaxia, Safates de grafit, Susceptors d'hòsties,

El recobriment CVD-SiC té les característiques d'estructura uniforme, material compacte, resistència a alta temperatura, resistència a l'oxidació, alta puresa, resistència àcid i àlcali i reactiu orgànic, amb propietats físiques i químiques estables.

En comparació amb els materials de grafit d'alta puresa, el grafit comença a oxidar-se a 400ºC, la qual cosa provocarà una pèrdua de pols a causa de l'oxidació, provocant la contaminació ambiental dels dispositius perifèrics i les cambres de buit i augmentarà les impureses de l'entorn d'alta puresa.

Tanmateix, el recobriment de SiC pot mantenir l'estabilitat física i química a 1600 graus, s'utilitza àmpliament a la indústria moderna, especialment a la indústria de semiconductors.

La nostra empresa ofereix serveis de procés de recobriment de SiC mitjançant el mètode CVD a la superfície de grafit, ceràmica i altres materials, de manera que els gasos especials que contenen carboni i silici reaccionin a alta temperatura per obtenir molècules de SiC d'alta puresa, molècules dipositades a la superfície dels materials recoberts, formant una capa protectora SIC. El SIC format està fermament unit a la base de grafit, donant propietats especials a la base de grafit, fent que la superfície del grafit sigui compacta, lliure de porositat, resistència a altes temperatures, resistència a la corrosió i resistència a l'oxidació.

Característiques principals:

1. Resistència a l'oxidació a alta temperatura:

la resistència a l'oxidació encara és molt bona quan la temperatura és tan alta com 1700 C.

2. Alta puresa: fet per deposició química de vapor en condicions de cloració a alta temperatura.

3. Resistència a l'erosió: alta duresa, superfície compacta, partícules fines.

4. Resistència a la corrosió: àcid, àlcali, sal i reactius orgànics.

Especificacions principals dels recobriments CVD-SIC:

Capacitat de subministrament:

10000 peces/peces al mes
Embalatge i lliurament:
Embalatge: embalatge estàndard i fort
Bossa de polièster + Caixa + Cartró + Palet
Port:
Ningbo/Shenzhen/Xangai
Temps de lliurament: