Revestiment de SiC grafit MOCVD Wafer Carriers, Susceptors de grafit perEpitaxia SiC,
El carboni subministra susceptors, Susceptors d'epitaxia de grafit, Substrats de suport de grafit, Susceptor MOCVD, Epitaxia SiC, Susceptors d'hòsties,

Els avantatges especials dels nostres susceptors de grafit recoberts de SiC inclouen una puresa extremadament alta, un recobriment homogeni i una vida útil excel·lent. També tenen una alta resistència química i propietats d'estabilitat tèrmica.

El recobriment de SiC del substrat de grafit per a aplicacions de semiconductors produeix una peça amb una puresa i resistència superiors a l'atmosfera oxidant.
CVD SiC o CVI SiC s'aplica al grafit de peces de disseny simples o complexes. El recobriment es pot aplicar en diferents gruixos i a peces molt grans.

Característiques:
· Excel·lent resistència al xoc tèrmic
· Excel·lent resistència als cops físics
· Excel·lent resistència química
· Puresa súper alta
· Disponibilitat en forma complexa
· Utilitzable en atmosfera comburent

Aplicació:

Propietats típiques del material de grafit base:

El carboni subministra susceptorsi components de grafit per a tots els reactors d'epitaxi actuals. La nostra cartera inclou susceptors de barril per a unitats aplicades i LPE, susceptors de creps per a unitats LPE, CSD i Gemini i susceptors d'hòstia única per a unitats aplicades i ASM. En combinar sòlides associacions amb OEM líders, experiència en materials i coneixements de fabricació, SGL ofereix el disseny òptim per a la seva aplicació.