Revestiment de SiC recobert deSubstrat de grafit per a semiconductors,Revestiment de carbur de silici,Susceptor MOCVD,
Substrat de grafit, Substrat de grafit per a semiconductors, Susceptor MOCVD, Recobriment de carbur de silici,
Els avantatges especials dels nostres susceptors de grafit recoberts de SiC inclouen una puresa extremadament alta, un recobriment homogeni i una vida útil excel·lent. També tenen una alta resistència química i propietats d'estabilitat tèrmica.
Recobriment de SiCSubstrat de grafit per a semiconductorsaplicacions produeix una peça amb una puresa superior i resistència a l'atmosfera oxidant.
CVD SiC o CVI SiC s'aplica al grafit de peces de disseny simples o complexes. El recobriment es pot aplicar en diferents gruixos i a peces molt grans.
Característiques:
· Excel·lent resistència al xoc tèrmic
· Excel·lent resistència als cops físics
· Excel·lent resistència química
· Puresa súper alta
· Disponibilitat en forma complexa
· Utilitzable en atmosfera comburent
Propietats típiques del material de grafit base:
Densitat aparent: | 1,85 g/cm3 |
Resistivitat elèctrica: | 11 μΩm |
Força a la flexió: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
Duresa Shore: | 58 |
Ash: | <5 ppm |
Conductivitat tèrmica: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
El carboni subministra susceptors i components de grafit per a tots els reactors d'epitaxi actuals. La nostra cartera inclou susceptors de barril per a unitats aplicades i LPE, susceptors de creps per a unitats LPE, CSD i Gemini i susceptors d'hòstia única per a unitats aplicades i ASM. En combinar sòlides associacions amb OEM líders, experiència en materials i coneixements de fabricació, SGL ofereix el disseny òptim per a la seva aplicació.
Més Productes