Susceptor de barril recobert de SiC personalitzat

Descripció breu:

Desenvolupem contínuament processos avançats per proporcionar materials més avançats, i hem elaborat una tecnologia patentada exclusiva, que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més estreta i menys propensa al despreniment.

Envieu-nos un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

Susceptor del barril is a claucomponent utilitzat en diversos processos de fabricació de semiconductors.Utilitzem la nostra tecnologia patentada per fer elsusceptor del barrilambpuresa extremadament alta,borecobrimentuniformitati una excel·lent vida útil, així comalta resistència química i propietats d'estabilitat tèrmica.

L'Energia VET és elfabricant real de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb recobriment CVD,pot subministrardiversospeces personalitzades per a la indústria de semiconductors i fotovoltaica. OEl nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals, pot oferir solucions materials més professionalsper tu.

Desenvolupem contínuament processos avançats per proporcionar materials més avançats,ihan elaborat una tecnologia patentada exclusiva, que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més estreta i menys propensa al despreniment.

Fcaracterístiques dels nostres productes:

1. Resistència a l'oxidació a alta temperatura fins a 1700℃.
2. Alta puresa iuniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcid, àlcali, sal i reactius orgànics.
4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més duradora

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propietats físiques bàsiques de CVD SiCrecobriment
性质 / Propietat	典型数值 / Valor típic
晶体结构 / Estructura de cristall	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitat	3,21 g/cm³
硬度 / Duresa	2500 维氏硬度（càrrega de 500 g）
晶粒大小 / Mida del gra	2 ~ 10 μm
纯度 / Puresa química	99,99995%
热容 / Capacitat calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimació	2700 ℃
抗弯强度 / Resistència a la flexió	415 MPa RT de 4 punts
杨氏模量 / Mòdul de joventut	430 Gpa de 4 punts, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivitat	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1