VET EnergiaEl portador de grafit de procés PECVD és un consumible d'alta qualitat adaptat al procés PECVD (deposició de vapor químic millorat per plasma). Aquest portador de grafit està fet de material de grafit d'alta puresa i alta densitat, amb una excel·lent resistència a les altes temperatures, resistència a la corrosió, estabilitat dimensional i altres característiques, pot proporcionar una plataforma de suport estable per al procés PECVD, per garantir la uniformitat i la planitud de la pel·lícula fina. deposició.
Els suports de grafit per al procés PECVD tenen les característiques següents:
▪ Alta puresa: contingut d'impureses extremadament baix, evitant la contaminació de la pel·lícula i assegurant la qualitat de la pel·lícula.
▪ Alta densitat: alta densitat, alta resistència mecànica, capaç de suportar l'entorn PECVD d'alta temperatura i alta pressió.
▪ Bona estabilitat dimensional: petit canvi dimensional a alta temperatura, assegurant l'estabilitat del procés.
▪ Excel·lent conductivitat tèrmica: transfereix eficaçment la calor per evitar el sobreescalfament de les hòsties.
▪ Forta resistència a la corrosió: capaç de resistir l'erosió per diversos gasos corrosius i plasma.
▪ Servei personalitzat: els suports de grafit de diferents mides i formes es poden personalitzar segons les necessitats del client.
Material de grafit de SGL:
Paràmetre típic: R6510 | |||
Índex | Estàndard de prova | Valor | Unitat |
Mida mitjana del gra | ISO 13320 | 10 | μm |
Densitat aparent | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Porositat oberta | DIN66133 | 10 | % |
Mida mitjana dels porus | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeabilitat | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Duresa Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Resistivitat elèctrica específica | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Resistència a la flexió | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Resistència a la compressió | DIN 51910 | 130 | MPa |
Mòdul de Young | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
Expansió tèrmica (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Conductivitat tèrmica (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Està dissenyat específicament per a la fabricació de cèl·lules solars d'alta eficiència, donant suport al processament d'hòsties de gran mida G12. El disseny de transport optimitzat augmenta significativament el rendiment, permetent majors taxes de rendiment i menors costos de producció.
Item | Tipus | Portador d'hòsties de nombre |
Barca PEVCD Grephite - La sèrie 156 | 156-13 vaixell de grefita | 144 |
156-19 vaixell de grefit | 216 | |
156-21 vaixell de grefit | 240 | |
156-23 vaixell de grafit | 308 | |
Barca PEVCD Grephite - La sèrie 125 | 125-15 vaixell de grefit | 196 |
125-19 vaixell de grefit | 252 | |
Vaixell de grafit 125-21 | 280 |