Anell de grafit recobert de carbur de silici CVD

Descripció breu:

L'anell de grafit recobert de carbur de silici VET Energy és un producte d'alt rendiment dissenyat per oferir un rendiment constant i fiable durant un període prolongat. Té una molt bona resistència a la calor i uniformitat tèrmica, alta puresa i resistència a l'erosió, cosa que la converteix en la solució perfecta per a aplicacions de processament d'hòsties.

Envieu-nos un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

Propietats típiques del material de grafit base:

Densitat aparent:	1,85 g/cm3
Resistivitat elèctrica:	11 μΩm
Força a la flexió:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Duresa Shore:	58
Ash:	<5 ppm
Conductivitat tèrmica:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Subministrem diversos susceptors i components de grafit per a tots els reactors d'epitaxi actuals. Els nostres productes inclouen susceptors de barril per a unitats LPE, susceptors de pancake per a unitats LPE, CSD i Gemini i susceptors d'hòstia única per a unitats aplicades i ASM.

En combinar sòlides associacions amb OEM líders, experiència en materials i coneixements de fabricació, vet ofereix el disseny òptim per a la vostra aplicació.

L'Energia VET és elfabricant real de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb recobriment CVD,pot subministrardiversospeces personalitzades per a la indústria de semiconductors i fotovoltaica. OEl nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals, pot oferir solucions materials més professionalsper tu.

Fcaracterístiques dels nostres productes:

1. Resistència a l'oxidació a alta temperatura fins a 1700℃.
2. Alta puresa iuniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcid, àlcali, sal i reactius orgànics.
4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més duradora

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propietats físiques bàsiques de CVD SiCrecobriment
性质 / Propietat	典型数值 / Valor típic
晶体结构 / Estructura de cristall	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitat	3,21 g/cm³
硬度 / Duresa	2500 维氏硬度（càrrega de 500 g）
晶粒大小 / Mida del gra	2 ~ 10 μm
纯度 / Puresa química	99,99995%
热容 / Capacitat calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimació	2700 ℃
抗弯强度 / Resistència a la flexió	415 MPa RT de 4 punts
杨氏模量 / Mòdul de joventut	430 Gpa de 4 punts, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivitat	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1