L'AvançatPàdel en voladís SiCfor Wafer Processing creat per vet-china proporciona una solució excel·lent per a la fabricació de semiconductors. Aquesta paleta en voladís està feta de material SiC (carbur de silici), i la seva alta duresa i resistència a la calor li permeten mantenir un rendiment excel·lent en ambients d'alta temperatura i corrosius. El disseny del Cantilever Paddle permet suportar de manera fiable l'hòstia durant el processament, reduint el risc de fragmentació i dany.
Pàdel en voladís SiCés un component especialitzat que s'utilitza en equips de fabricació de semiconductors com el forn d'oxidació, el forn de difusió i el forn de recuit, l'ús principal és per a la càrrega i descàrrega d'hòsties, suporta i transporta hòsties durant processos d'alta temperatura.
Estructures comunesdeSiCcantipalancapaddle: una estructura en voladís, fixada en un extrem i lliure a l'altre, normalment té un disseny pla i semblant a una paleta.
VET Energy utilitza materials de carbur de silici recristalitzat d'alta puresa per garantir la qualitat.
| Propietats físiques del carbur de silici recristal·litzat | |
| Propietat | Valor típic |
| Temperatura de treball (°C) | 1600 °C (amb oxigen), 1700 °C (entorn reductor) |
| Contingut de SiC | > 99,96% |
| Contingut Si gratuït | < 0,1% |
| Densitat aparent | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porositat aparent | < 16% |
| Força de compressió | > 600MPa |
| Resistència a la flexió en fred | 80-90 MPa (20 °C) |
| Resistència a la flexió en calent | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Expansió tèrmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Conductivitat tèrmica @1200°C | 23W/m•K |
| Mòdul elàstic | 240 GPa |
| Resistència al xoc tèrmic | Extremadament bo |
Els avantatges de la paleta en voladís de SiC avançada de VET Energy per al processament d'hòsties són:
-Estabilitat a alta temperatura: utilitzable en ambients superiors a 1600 °C;
- Baix coeficient d'expansió tèrmica: manté l'estabilitat dimensional, reduint el risc de deformació de les hòsties;
- Alta puresa: menor risc de contaminació per metalls;
-Inercia química: resistent a la corrosió, adequada per a diversos entorns de gas;
-Alta resistència i duresa: resistent al desgast, llarga vida útil;
- Bona conductivitat tèrmica: ajuda a l'escalfament uniforme de les hòsties.
-
Hòstia SiC tipus N de 6 polzades
-
Recobriment de carbur de tàntal: resistent al desgast, alt...
-
Pila de combustible d'hidrogen 24v Pemfc Stack 1000w Hidrog...
-
Eina elèctrica de subministrament d'energia d'hidrogen, cel·la de combustible de 220 W...
-
Drone de pila de combustible d'hidrogen 2000w Pemfc Stack 25v...
-
Composites C/C de fricció d'alta resistència personalitzats (CFC)