SiC Wafer Boat/Tower

Detalji o proizvodu

ProizvodDescription

Vaferni čamac od silicijum karbida se široko koristi kao držač vafla u procesu difuzije na visokim temperaturama.

Prednosti:

Otpornost na visoke temperature:normalna upotreba na 1800 ℃

Visoka toplotna provodljivost:ekvivalentno grafitnom materijalu

Visoka tvrdoća:tvrdoća je druga nakon dijamanta, bor nitrida

Otpornost na koroziju:jake kiseline i alkalije nemaju koroziju, otpornost na koroziju je bolja od volfram karbida i glinice

Mala težina:niske gustine, blizu aluminijuma

Nema deformacija: nizak koeficijent toplinske ekspanzije

Otpornost na toplotni udar:može izdržati oštre promjene temperature, otporan na termalni udar i ima stabilne performanse

Fizička svojstva SiC-a

Nekretnina	Vrijednost	Metoda
Gustina	3,21 g/cc	Umivaonik-plovka i dimenzija
Specifična toplota	0,66 J/g °K	Pulsni laserski blic
Čvrstoća na savijanje	450 MPa560 MPa	4 tačke krivine, RT4 tačke krivine, 1300°
Čvrstoća loma	2,94 MPa m1/2	Mikroindentacija
Tvrdoća	2800	Vicker's, opterećenje 500g
Modul elastičnosti Youngov modul	450 GPa430 GPa	4 pt krivina, RT4 pt krivina, 1300 °C
Veličina zrna	2 – 10 µm	SEM