CVD grafitni prsten obložen silicijum karbidom

Kratak opis:

VET Energy grafitni prsten obložen silicijum karbidom je proizvod visokih performansi dizajniran da obezbedi konzistentne i pouzdane performanse tokom dužeg perioda. Ima super dobru otpornost na toplinu i termičku uniformnost, visoku čistoću, otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjenu u preradi vafla.

Pošaljite nam email Preuzmite kao PDF

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Tipična svojstva osnovnog grafitnog materijala:

Prividna gustina:	1,85 g/cm3
Električna otpornost:	11 μΩm
Savojna snaga:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdoća po Shoreu:	58
pepeo:	<5ppm
Toplotna provodljivost:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Mi isporučujemo različite prijemnike i grafitne komponente za sve aktuelne epitaksijske reaktore. Naši proizvodi uključuju bačvaste prihvatnike za LPE jedinice, palačinke za LPE, CSD i Gemini jedinice, te jednostruke nosače za primijenjene i ASM jedinice.

Kombinacijom snažnog partnerstva s vodećim OEM-ima, stručnosti o materijalima i proizvodnog znanja, vet nudi optimalan dizajn za vašu primjenu.

VET Energy je thepravi proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijum karbida sa CVD premazom,može snabdjetirazneprilagođeni dijelovi za poluvodičku i fotonaponsku industriju. OVaš tehnički tim dolazi iz vrhunskih domaćih istraživačkih institucija, može pružiti profesionalnija materijalna rješenjaza tebe.

Fjelo naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju pri visokim temperaturama do 1700℃.
2. Visoka čistoća itermička uniformnost
3. Odlična otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji

CVD SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizička svojstva CVD SiCpremazivanje
性质 / Nekretnina	典型数值 / Tipična vrijednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶,主要为（111）取向
密度 / Gustina	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdoća	2500 维氏硬度 (500g opterećenje)
晶粒大小 / Veličina zrna	2~10μm
纯度 / Hemijska čistoća	99,99995%
热容 / Toplotni kapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700℃
抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje	415 MPa RT 4 tačke
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4pt krivina, 1300℃
导热系数 / ThermalProvodljivost	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / termička ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1