Графитен ток с покритие от силициев карбид за ецване на LED

Графитен токоприемник с покритие от силициев карбид за ецване на LED Показано изображение

Кратко описание:

Силициевокарбиден фиксатор за LED ецване (SiC тава) е специален аксесоар за дълбоко силициево ецване (ICP машина за ецване). носител за пластини, известен също като носител за пластини, носител за силициеви пластини, известен също като джобна пластина. Широко използван в полупроводникови CVD и вакуумно разпръскване.

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Токоприемникът с покритие от силициев карбид еa ключкомпонент, използван в различни процеси за производство на полупроводници.Ние използваме нашата патентована технология, за да направим фиксатора с покритие от силициев карбидизключително висока чистота,добрепокритиееднаквости отличен експлоатационен живот, както ивисока химическа устойчивост и термична стабилност.

ПОО Енергия е наистински производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с CVD покритие,може да доставиразличниперсонализирани части за полупроводникова и фотоволтаична индустрия. OВашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решенияза вас.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-модерни материали,иса разработили изключителна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и субстрата по-плътна и по-малко податлива на отделяне.

Fхарактеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисление при висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота итоплинна еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселина, основи, сол и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 g/cm³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700 ℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt завой, 1300 ℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1