Характеристики на продукта
· Отлично високотемпературен изпълнение
PyC покритието има характеристики на плътна структура, отлична устойчивост на топлина, добра топлопроводимост и устойчивост на износване. Тъй като и двата са въглеродни елементи, той има силна адхезия към графита и може да запечата остатъчните летливи вещества вътре в графита, за да предотврати замърсяване от въглеродни частици.
· Контролируеми чистота
Чистотата на PyC покритието може да достигне ниво от 5ppm, отговаряйки на изискванията за чистота на нанасяния с висока чистота.
· Разширено обслужване живот и подобрена продукт quality
PyC покритието може ефективно да удължи експлоатационния живот на графитните компоненти и да подобри качеството на продукта, като по този начин ефективно намалява производствените разходи на клиента.
·Широка диапазон of приложения
PyC покритието се използва главно във високотемпературни полета като растеж на полупроводникови кристали Si/SiC, имплантиране на йони, топене на метал за полупроводници и анализ на инструменти.
Продукт Спецификации
Типична производителност | единица | Спецификация |
Кристална структура | Шестоъгълна | |
Подравняване | Ориентирани или неориентирани по посока 0001 | |
Обемна плътност | g/cm³ | -2,24 |
Микроструктура | Поликристален/многослоен графен | |
твърдост | GPa | 1.1 |
Модул на еластичност | GPa | 10 |
Типична дебелина | μm | 30-100 |
Грапавост на повърхността | μm | 1.5 |
Чистота на продукта | ppm | ≤5ppm |