SiC пакрыццё/графітавая падкладка з пакрыццём/паддон для паўправаднікоў

Пакрыццё SiC/Графітавая падкладка з пакрыццём/Падстаўка для паўправаднікоў Рэкамендаваны відарыс

Кароткае апісанне:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth - гэта высокаэфектыўны прадукт, прызначаны для забеспячэння стабільнай і надзейнай працы на працягу доўгага перыяду.Ён мае вельмі добрую цеплаўстойлівасць і цеплавую аднастайнасць, высокую чысціню, устойлівасць да эрозіі, што робіць яго ідэальным рашэннем для апрацоўкі пласцін.

Дашліце нам ліст Спампаваць як PDF

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Пакрыццё SiC/пакрыццё з графітавага токапрымача для паўправаднікоў

Графітавы токоприемник з пакрыццём SiC з'яўляецца ключавым кампанентам, які выкарыстоўваецца ў розных працэсах вытворчасці паўправаднікоў.Мы выкарыстоўваем нашу запатэнтаваную тэхналогію для вырабу носьбіта з карбіду крэмнію з надзвычай высокай чысцінёй, добрай аднастайнасцю пакрыцця і выдатным тэрмінам службы, а таксама высокай хімічнай устойлівасцю і тэрмічнай стабільнасцю.

Асаблівасці:
· Выдатная ўстойлівасць да цеплавога ўдару
· Выдатная ўстойлівасць да фізічнага ўдару
· Выдатная хімічная ўстойлівасць
· Супер высокай чысціні
· Наяўнасць у складанай форме
· Можна выкарыстоўваць у акісляльнай атмасферы

Ужыванне:

Тыповыя ўласцівасці базавага графітавага матэрыялу:

Бачная шчыльнасць:	1,85 г/см3
Электрычнае супраціўленне:	11 мкОм
Трываласць на выгіб:	49 Мпа (500 кгс/см2)
Цвёрдасць па Шору:	58
попел:	<5 праміле
Цеплаправоднасць:	116 Вт/мК (100 ккал/мг-℃)

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Асноўныя фізічныя ўласцівасці CVD SiCпакрыццё
性质 / Уласн	典型数值 / Тыповае значэнне
晶体结构 / Крышталічная структура	FCC β фаза 多晶，主要为（111）取向
密度 / Шчыльнасць	3,21 г/см³
硬度 / Цвёрдасць	2500 维氏硬度（загрузка 500 г）
晶粒大小 / Памер збожжа	2~10 мкм
纯度 / Хімічная чысціня	99,99995%
热容 / Цеплаёмістасць	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Тэмпература сублімацыі	2700 ℃
抗弯强度 / Трываласць на выгіб	415 Мпа RT 4-кропкавы
杨氏模量 / Модуль Янга	430 Гпа, выгіб 4 кропкі, 1300 ℃
导热系数 / Цеплаправоднасць	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / цеплавое пашырэнне (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy з'яўляецца сапраўдным вытворцам індывідуальных вырабаў з графіту і карбіду крэмнію з рознымі пакрыццямі, такімі як пакрыццё SiC, пакрыццё TaC, шкловугляроднае пакрыццё, піралітычнае вугляроднае пакрыццё і г.д., можа пастаўляць розныя індывідуальныя дэталі для паўправадніковай і фотаэлектрычнай прамысловасці.

Наша тэхнічная каманда з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў можа забяспечыць для вас больш прафесійныя матэрыяльныя рашэнні.

Мы пастаянна распрацоўваем перадавыя працэсы для атрымання больш дасканалых матэрыялаў і распрацавалі эксклюзіўную запатэнтаваную тэхналогію, якая можа зрабіць сувязь паміж пакрыццём і падкладкай больш шчыльнай і менш схільнай да адлучэння.

Шчыра вітаем вас наведаць наш завод, давайце далей абмяркуем!