MOCVD Графітавы носьбіт з CVD SiC пакрыццём

Кароткае апісанне:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor - гэта высокаэфектыўны прадукт, прызначаны для забеспячэння стабільнай і надзейнай працы на працягу доўгага перыяду часу. Ён мае вельмі добрую цеплаўстойлівасць і цеплавую аднастайнасць, высокую чысціню, устойлівасць да эрозіі, што робіць яго ідэальным рашэннем для апрацоўкі пласцін.

Дашліце нам ліст Спампаваць як PDF

Дэталь прадукту

Тэгі прадукту

Графітавы токапрымач з пакрыццём SiC з'яўляецца ключавым кампанентам, які выкарыстоўваецца ў розных працэсах вытворчасці паўправаднікоў. мы выкарыстоўваем нашу запатэнтаваную тэхналогію, каб вырабіць прымач з надзвычай высокай чысцінёй, добрай аднастайнасцю пакрыцця і выдатным тэрмінам службы, а таксама высокай хімічнай устойлівасцю і тэрмічнай стабільнасцю.

Асаблівасці нашай прадукцыі:

1. Устойлівасць да акіслення пры высокай тэмпературы да 1700 ℃.
2. Высокая чысціня і цеплавая аднастайнасць
3. Выдатная ўстойлівасць да карозіі: кіслоты, шчолачы, солі і арганічныя рэагенты.
4. Высокая цвёрдасць, кампактная паверхня, дробныя часціцы.
5. Больш працяглы тэрмін службы і больш трывалы

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Асноўныя фізічныя ўласцівасці CVD SiCпакрыццё
性质 / Уласцівасць	典型数值 / Тыповае значэнне
晶体结构 / Крышталічная структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Шчыльнасць	3,21 г/см³
硬度 / Цвёрдасць	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Памер збожжа	2~10 мкм
纯度 / Хімічная чысціня	99,99995%
热容 / Цеплаёмістасць	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Тэмпература сублімацыі	2700 ℃
抗弯强度 / Трываласць на выгіб	415 Мпа RT 4-кропкавы
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 Гпа, выгіб 4 кропкі, 1300 ℃
导热系数 / ТэрмалПраводнасць	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Цеплавое пашырэнне (КТР)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy з'яўляецца сапраўдным вытворцам індывідуальных вырабаў з графіту і карбіду крэмнію з рознымі пакрыццямі, такімі як пакрыццё SiC, пакрыццё TaC, шкловугляроднае пакрыццё, піралітычнае вугляроднае пакрыццё і г.д., можа пастаўляць розныя індывідуальныя дэталі для паўправадніковай і фотаэлектрычнай прамысловасці.

Наша тэхнічная каманда з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў можа даць вам больш прафесійныя матэрыяльныя рашэнні.

Мы пастаянна распрацоўваем перадавыя працэсы для атрымання больш дасканалых матэрыялаў і распрацавалі эксклюзіўную запатэнтаваную тэхналогію, якая можа зрабіць сувязь паміж пакрыццём і падкладкай больш шчыльнай і менш схільнай да адлучэння.

Шчыра вітаем вас наведаць наш завод, давайце далей абмяркуем!