منتجDوصف
يستخدم قارب ويفر كربيد السيليكون على نطاق واسع كحامل للرقاقة في عملية الانتشار ذات درجة الحرارة العالية.
المزايا:
مقاومة درجات الحرارة العالية:الاستخدام العادي عند 1800 درجة مئوية
الموصلية الحرارية العالية:أي ما يعادل مادة الجرافيت
صلابة عالية:صلابة في المرتبة الثانية بعد الماس، ونيتريد البورون
مقاومة التآكل:الأحماض والقلويات القوية ليس لها أي تآكل، ومقاومة التآكل أفضل من كربيد التنغستن والألومينا
خفيف الوزن:كثافة منخفضة، قريبة من الألومنيوم
لا تشوه: معامل منخفض للتمدد الحراري
مقاومة الصدمات الحرارية:يمكنه تحمل التغيرات الحادة في درجات الحرارة، ومقاومة الصدمات الحرارية، وأداء مستقر
الخصائص الفيزيائية للكربيد
ملكية | قيمة | طريقة |
كثافة | 3.21 جم/سم مكعب | بالوعة تعويم والبعد |
حرارة محددة | 0.66 جول/جم درجة كلفن | فلاش ليزر نابض |
قوة الانحناء | 450 ميجا باسكال 560 ميجا باسكال | انحناء 4 نقاط، انحناء نقطة RT4، 1300 درجة |
صلابة الكسر | 2.94 ميجا باسكال م1/2 | المسافة البادئة الدقيقة |
صلابة | 2800 | فيكرز حمولة 500 جرام |
معامل المرونة معامل يونغ | 450 جيجا باسكال430 جيجا باسكال | انحناء 4 نقاط، انحناء RT4 نقاط، 1300 درجة مئوية |
حجم الحبوب | 2 - 10 ميكرون | سيم |
الخصائص الحرارية لل SiC
الموصلية الحرارية | 250 واط/م°ك | طريقة فلاش الليزر، RT |
التمدد الحراري (CTE) | 4.5 × 10-6 درجة كلفن | درجة حرارة الغرفة إلى 950 درجة مئوية، مقياس توسع السيليكا |