الفوقي Epitaxial Graphite Barrel Susceptor

وصف قصير:

VET Energy هي شركة مصنعة وموردة ومصدرة محترفة لمستقبل برميل الجرافيت epi الفوقي. لدينا فريق بحث وتطوير قوي وتقنيات خاصة حاصلة على براءة اختراع لتزويد العملاء بجودة عالية ومواد متقدمة، ونحن نرحب بكم لزيارة مصنعنا لمزيد من المناقشة.

إرسال البريد الإلكتروني لنا تحميل بصيغة PDF

تفاصيل المنتج

علامات المنتج

الفوقي Epitaxial Graphite Barrel Susceptor

الفوقي Epitaxial Graphite Barrel Susceptorعبارة عن جهاز دعم وتسخين مصمم خصيصًا يستخدم لتثبيت وتسخين ركائز أشباه الموصلات أثناء عمليات التصنيع مثل عمليات الترسيب أو Epitaxy.

يشتمل هيكلها عادةً على شكل أسطواني أو برميلي قليلاً، ويتميز السطح بجيوب أو منصات متعددة لوضع الرقاقات، ويمكن أن يكون تصميمًا صلبًا أو مجوفًا، اعتمادًا على طريقة التسخين.

الوظائف الرئيسية للمستقبل البرميلي الفوقي:

-دعم الركيزة: يحمل بشكل آمن رقائق أشباه الموصلات المتعددة؛
- مصدر الحرارة: يوفر درجات الحرارة العالية اللازمة للنمو من خلال التدفئة.
- توحيد درجة الحرارة: يضمن التسخين الموحد للركائز.
-الدوران: يدور عادة أثناء النمو لتحسين درجة الحرارة وانتظام توزيع الغاز.

مبدأ العمل لمستقبل برميل الجرافيت Epi:
- في المفاعل الفوقي، يتم تسخين المستقبِل البرميلي إلى درجة الحرارة المطلوبة (عادةً 1000 درجة مئوية - 1200 درجة مئوية لفوق السيليكون)؛
- يدور المستقبِل البرميلي لضمان التوزيع الموحد لدرجة الحرارة وتدفق الغاز؛
- تتحلل غازات التفاعل عند درجات حرارة عالية لتشكل طبقات فوقية على سطح الركيزة.

التطبيقات:
- يستخدم في المقام الأول للنمو الفوقي السيليكون
- ينطبق أيضًا على المواد شبه الموصلة الأخرى مثل GaAs وInP وما إلى ذلك.

تستخدم VET Energy جرافيت عالي النقاء مع طلاء CVD-SiC لتعزيز الاستقرار الكيميائي:

مزايا VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:

-ثبات درجة الحرارة العالية.
- التوحيد الحراري الجيد.
-يمكن معالجة ركائز متعددة في وقت واحد، وتحسين كفاءة الإنتاج؛
- خامل كيميائيا، ويحافظ على بيئة نمو عالية النقاء.

معلومات الشركة

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd هي مؤسسة ذات تقنية عالية تركز على إنتاج وبيع المواد المتقدمة المتطورة والمواد والتكنولوجيا بما في ذلك الجرافيت وكربيد السيليكون والسيراميك والمعالجة السطحية مثل طلاء SiC وطلاء TaC والكربون الزجاجي الطلاء، طلاء الكربون الحراري، وما إلى ذلك، تستخدم هذه المنتجات على نطاق واسع في الخلايا الكهروضوئية، وأشباه الموصلات، والطاقة الجديدة، والمعادن، وما إلى ذلك.

يأتي فريقنا الفني من أفضل المؤسسات البحثية المحلية، وقد قام بتطوير العديد من التقنيات الحاصلة على براءة اختراع لضمان أداء المنتج وجودته، ويمكنه أيضًا تزويد العملاء بحلول المواد الاحترافية.

نرحب بكم ترحيبا حارا لزيارة مختبرنا ومصنعنا للمناقشة الفنية والتعاون!