ለሴሚኮንዳክተር የሲሲ ሽፋን/የተሸፈነ የግራፋይት ንጣፍ/ትሪ

አጭር መግለጫ፡-

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth ለረዥም ጊዜ ተከታታይ እና አስተማማኝ አፈጻጸምን ለማቅረብ የተነደፈ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው ምርት ነው። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቋቋም እና የሙቀት ተመሳሳይነት ፣ ከፍተኛ ንፅህና ፣ የአፈር መሸርሸርን የመቋቋም ችሎታ አለው ፣ ይህም ለ wafer ማቀነባበሪያ መተግበሪያዎች ፍጹም መፍትሄ ያደርገዋል።


የምርት ዝርዝር

የምርት መለያዎች

ለሴሚኮንዳክተር የ Graphite susceptor የሲሲ ሽፋን / የተሸፈነ
 
በሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት ንጣፍየሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ኢንዱስትሪን ጥብቅ ፍላጎቶች ለማሟላት የተነደፈ በጣም ዘላቂ እና ቀልጣፋ መፍትሄ ነው። የከፍተኛ ንፅህና ንብርብርን በማሳየት ላይየሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋን, ይህ substrate ልዩ የሙቀት መረጋጋት, oxidation የመቋቋም, እና ረጅም የአገልግሎት ሕይወት ያቀርባል, MOCVD ሂደቶች, ግራፋይት ዋፈር ተሸካሚዎች, እና ሌሎች ከፍተኛ ሙቀት አካባቢዎች ውስጥ መተግበሪያዎች ተስማሚ ያደርገዋል.

 ባህሪያት፡ 
· እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም
· እጅግ በጣም ጥሩ የአካል ድንጋጤ መቋቋም
· እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል መቋቋም
· ልዕለ ከፍተኛ ንጽሕና
· በተወሳሰበ ቅርጽ መገኘት
· በኦክሳይዲንግ ከባቢ አየር ስር ጥቅም ላይ ሊውል የሚችል

ማመልከቻ፡

3

የምርት ባህሪያት እና ጥቅሞች:

1. የላቀ የሙቀት መቋቋም:ከከፍተኛ ንፅህና ጋርየሲሲ ሽፋንእንደ ኤፒታክሲ እና ሴሚኮንዳክተር ማምረት ባሉ ተፈላጊ አካባቢዎች ውስጥ ወጥነት ያለው አፈጻጸምን ያረጋግጣል።

2. የተሻሻለ ዘላቂነት:የሲሲ ሽፋን ያላቸው ግራፋይት ክፍሎች የኬሚካል ዝገትን እና ኦክሳይድን ለመቋቋም የተነደፉ ናቸው, ከመደበኛ ግራፋይት ንጣፎች ጋር ሲነፃፀሩ የንጥረቱን የህይወት ዘመን ይጨምራሉ.

3. ቫይተር የተሸፈነ ግራፋይት:የ ልዩ vitreous መዋቅርየሲሲ ሽፋንከፍተኛ ሙቀት ባለው ሂደት ወቅት መበላሸት እና መበላሸትን በመቀነስ እጅግ በጣም ጥሩ የገጽታ ጥንካሬን ይሰጣል።

4. ከፍተኛ ንፅህና የሲሲ ሽፋን:የኛ ንፅፅር በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ አነስተኛ ብክለትን ያረጋግጣል ፣ ይህም ጥብቅ የቁስ ንፅህናን ለሚያስፈልጋቸው ኢንዱስትሪዎች አስተማማኝነትን ይሰጣል ።

5. ሰፊ የገበያ መተግበሪያ:በሲሲ የተሸፈነ ግራፋይት ጥርጣሬበሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የላቁ የሲሲ ሽፋን ያላቸው ምርቶች ፍላጎት እየጨመረ በሄደ ቁጥር ገበያው ማደጉን ይቀጥላል፣ይህን ንጥረ ነገር በሁለቱም በግራፋይት ዋፈር ተሸካሚ ገበያ እና በሲሊኮን ካርቦይድ በተሸፈነ ግራፋይት ትሪዎች ገበያ ውስጥ እንደ ቁልፍ ተጫዋች በማስቀመጥ።

የመሠረት ግራፋይት ቁሳቁስ የተለመዱ ባህሪዎች

ግልጽ ጥግግት፡ 1.85 ግ / ሴሜ 3
የኤሌክትሪክ መቋቋም; 11 μΩm
ተለዋዋጭ ጥንካሬ; 49 MPa (500kgf/ሴሜ 2)
የባህር ዳርቻ ጥንካሬ; 58
አመድ፡ <5 ፒፒኤም
የሙቀት መቆጣጠሪያ; 116 ዋ/ኤምኬ (100 kcal/mhr-℃)

 

ሲቪዲ SiC薄膜基本物理性能

የሲቪዲ ሲሲ መሰረታዊ አካላዊ ባህሪያትሽፋን

性质 / ንብረት

典型数值 / የተለመደ እሴት

晶体结构 / ክሪስታል መዋቅር

FCC β ደረጃ 多晶,主要为(111)取向

密度 / ጥግግት

3.21 ግ/ሴሜ³

ግትርነት

2500 ግ (500 ግ ጭነት)

晶粒大小 / የእህል SiZe

2 ~ 10 ማይክሮን

纯度 / የኬሚካል ንፅህና

99.99995%

热容 / የሙቀት አቅም

640 ኪ.ግ-1· ኬ-1

升华温度 / Sublimation የሙቀት

2700 ℃

抗弯强度 / ተለዋዋጭ ጥንካሬ

415 MPa RT 4-ነጥብ

杨氏模量 / የወጣቶች ሞዱለስ

430 ጂፒኤ 4 ፒት መታጠፍ፣ 1300 ℃

导热系数 / Thermal conductivity

300 ዋ · ሜትር-1· ኬ-1

የሙቀት መስፋፋት (ሲቲኢ)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET ኢነርጂ እንደ ሲሲ ሽፋን ፣ ታሲ ሽፋን ፣ ብርጭቆ የካርቦን ሽፋን ፣ ፒሮሊቲክ የካርቦን ሽፋን ፣ ወዘተ ያሉ የተለያዩ ሽፋን ያላቸው ብጁ ግራፋይት እና የሲሊኮን ካርቦዳይድ ምርቶች እውነተኛ አምራች ነው ፣ ለሴሚኮንዳክተር እና ለፎቶቮልታይክ ኢንዱስትሪ የተለያዩ ብጁ ክፍሎችን ማቅረብ ይችላል።

የእኛ የቴክኒክ ቡድን ከከፍተኛ የሀገር ውስጥ የምርምር ተቋማት የመጣ ነው, ለእርስዎ የበለጠ ሙያዊ የቁሳቁስ መፍትሄዎችን ሊያቀርብልዎ ይችላል.

እኛ በቀጣይነት የላቁ ሂደቶችን በማዳበር የላቁ ቁሶችን እናቀርባለን እና ልዩ የፈጠራ ባለቤትነት ያለው ቴክኖሎጂ ሠርተናል፣ይህም በሽፋኑ እና በተቀባዩ መካከል ያለውን ትስስር የበለጠ ጥብቅ እና ለመጥፋት የተጋለጠ ያደርገዋል።

ፋብሪካችንን እንድትጎበኙ በአክብሮት እንኳን ደህና መጣችሁ ፣ የበለጠ እንወያይ!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ቀዳሚ፡
  • ቀጣይ፡-

  • WhatsApp የመስመር ላይ ውይይት!