Tantaalkarbied-bedekte susceptor vir wafer

Kort beskrywing:

Semicera is 'n leier in hoë temperatuur materiaal beskerming tegnologie en ons is trots om CVD Tantaal Carbide (TaC) coating produkte bekend te stel om betroubare hoë temperatuur beskerming te bied vir jou grafiet substrate.Grafiet is 'n uitstekende hoë temperatuurbestande materiaal, maar dit is geneig tot oksidasie by hoë temperature, wat selfs in 'n vakuumoond nie heeltemal vermy kan word nie.Ons CVD Tantalum Carbide (TaC) deklaag kan effektief oksidasie van die grafiet substraat voorkom, terwyl sy uitstekende hoë temperatuur prestasie behou word.TaC is ook 'n inerte materiaal wat reaksies met gasse soos argon en waterstof kan weerstaan.Raadpleeg Semicera vandag om meer te wete te kom oor ons Tantaalkarbied CVD-bedekte EPI-susceptors om die stabiliteit en betroubaarheid van jou hoëtemperatuurtoepassings te verseker.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk Tags

TaC-bedekking is 'n soort tantaalkarbied (TaC)-bedekking wat voorberei is deur fisiese dampneerslagtegnologie, dit het die volgende eienskappe:

1. Hoë hardheid: TaC coating hardheid is hoog, kan gewoonlik bereik 2500-3000HV, is 'n uitstekende harde coating.

2. Slytasieweerstand: TaC-bedekking is baie slytbestand, wat die slytasie en skade van meganiese onderdele effektief tydens gebruik kan verminder.

3. Goeie hoë temperatuur weerstand: TaC coating kan ook sy uitstekende werkverrigting onder hoë temperatuur omgewing handhaaf.

4. Goeie chemiese stabiliteit: TaC-bedekking het goeie chemiese stabiliteit en kan baie chemiese reaksies, soos sure en basisse, weerstaan.

Tantaalkarbied CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Fisiese eienskappe van TaC deklaag
密度/ Digtheid	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Spesifieke emissievermoë	0.3
热膨胀系数 / Termiese uitsettingskoëffisiënt	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Hardheid (HK)	2000 HK
电阻 / Weerstand	1×10^-5 Ohm* cm
热稳定性 / Termiese stabiliteit	<2500℃
石墨尺寸变化 / Grafietgrootte verander	-10~-20um
涂层厚度 / Coating dikte	≥20um tipiese waarde (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is 'n hoë-tegnologie onderneming wat fokus op die produksie en verkope van hoë-end gevorderde materiale, die materiaal en tegnologie wat grafiet, silikonkarbied, keramiek, oppervlakbehandeling en so meer dek.Die produkte word wyd gebruik in fotovoltaïese, halfgeleiers, nuwe energie, metallurgie, ens.

Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaal oplossings vir jou verskaf.

Hartlik welkom om ons fabriek te besoek, laat ons verder bespreek!