Wafer susceptor met TaC coating vir G5 G10

Kort beskrywing:

VET Energy Wafer susceptor met TaC coating vir G5 G10 is 'n hoëprestasie produk wat ontwerp is om konsekwente en betroubare werkverrigting oor 'n lang tydperk te lewer. Dit het super goeie hittebestandheid en termiese eenvormigheid, hoë suiwerheid, erosiebestandheid, wat dit die perfekte oplossing maak vir waferverwerkingstoepassings.


Produkbesonderhede

Produk Tags

TaC-bedekking is 'n soort tantaalkarbied (TaC)-bedekking wat voorberei is deur fisiese dampneerslagtegnologie, dit het die volgende eienskappe:

1. Hoë hardheid: TaC coating hardheid is hoog, kan gewoonlik bereik 2500-3000HV, is 'n uitstekende harde coating.

2. Slytasieweerstand: TaC-bedekking is baie slytbestand, wat die slytasie en skade van meganiese onderdele effektief tydens gebruik kan verminder.

3. Goeie hoë temperatuur weerstand: TaC coating kan ook sy uitstekende werkverrigting onder hoë temperatuur omgewing handhaaf.

4. Goeie chemiese stabiliteit: TaC-bedekking het goeie chemiese stabiliteit en kan baie chemiese reaksies, soos sure en basisse, weerstaan.

TaC Coating16
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fisiese eienskappe van TaC deklaag

密度/ Digtheid

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Spesifieke emissievermoë

0.3

热膨胀系数 / Termiese uitsettingskoëffisiënt

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Hardheid (HK)

2000 HK

电阻 / Weerstand

1×10-5 Ohm* cm

热稳定性 / Termiese stabiliteit

<2500℃

石墨尺寸变化 / Grafietgrootte verander

-10~-20um

涂层厚度 / Coating dikte

≥20um tipiese waarde (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is 'n hoë-tegnologie onderneming wat fokus op die produksie en verkope van hoë-end gevorderde materiale, die materiaal en tegnologie wat grafiet, silikonkarbied, keramiek, oppervlakbehandeling en so meer dek. Die produkte word wyd gebruik in fotovoltaïese, halfgeleiers, nuwe energie, metallurgie, ens.

Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaal oplossings vir jou verskaf.

Hartlik welkom om ons fabriek te besoek, laat ons verder bespreek!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Vorige:
  • Volgende:

  • WhatsApp aanlynklets!