SiC Wafer Boot/Toring

Produkbesonderhede

ProdukDopskrif

Silikonkarbied Wafer Boat word wyd gebruik as 'n wafer houer in hoë temperatuur diffusie proses.

Voordele:

Hoë temperatuur weerstand:normale gebruik by 1800 ℃

Hoë termiese geleidingsvermoë:gelykstaande aan grafietmateriaal

Hoë hardheid:hardheid tweede net na diamant, boornitried

Korrosie weerstand:sterk suur en alkali het geen korrosie daaraan nie, die korrosiebestandheid is beter as wolframkarbied en alumina

Ligte gewig:lae digtheid, naby aan aluminium

Geen vervorming nie: lae koëffisiënt van termiese uitsetting

Termiese skok weerstand:dit kan skerp temperatuurveranderinge weerstaan, termiese skok weerstaan en het stabiele werkverrigting

Fisiese eienskappe van SiC

Eiendom	Waarde	Metode
Digtheid	3,21 g/cc	Sink-float en dimensie
Spesifieke hitte	0,66 J/g °K	Gepulseerde laserflits
Buigsterkte	450 MPa560 MPa	4 punt buiging, RT4 punt buiging, 1300°
Breukhardheid	2,94 MPa m1/2	Mikroinkeping
Hardheid	2800	Vicker's, 500g vrag
Elastiese ModulusYoung se Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt-buiging, RT4 pt-buiging, 1300 °C
Korrelgrootte	2 – 10 µm	SEM