CVD silikonkarbied-bedekte grafietring

Kort beskrywing:

VET Energy silikonkarbied-bedekte grafietring is 'n hoëprestasieproduk wat ontwerp is om konsekwente en betroubare werkverrigting oor 'n lang tydperk te lewer. Dit het super goeie hittebestandheid en termiese eenvormigheid, hoë suiwerheid, erosiebestandheid, wat dit die perfekte oplossing maak vir waferverwerkingstoepassings.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk Tags

Tipiese eienskappe van basis grafiet materiaal:

Skynbare digtheid:	1,85 g/cm3
Elektriese weerstand:	11 μΩm
Buigkrag:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore Hardheid:	58
As:	<5 dpm
Termiese geleidingsvermoë:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Ons verskaf verskeie susceptors en grafietkomponente vir alle huidige epitaksereaktore. Ons produkte sluit in vatopnemers vir LPE-eenhede, pannekoekopnemers vir LPE-, CSD- en Gemini-eenhede, en enkelwafel-opnemers vir toegepaste en ASM-eenhede.

Deur sterk vennootskappe met toonaangewende OEM's, materiaalkundigheid en vervaardigingskennis te kombineer, bied veearts die optimale ontwerp vir jou toepassing.

VET Energie is dieregte vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met CVD-bedekking,kan verskafverskeiepasgemaakte onderdele vir halfgeleier- en fotovoltaïese industrie. Our tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaal oplossings verskafvir jou.

Fkenmerke van ons produkte:

1. Hoë temperatuur oksidasie weerstand tot 1700℃.
2. Hoë suiwerheid entermiese eenvormigheid
3. Uitstekende weerstand teen korrosie: suur, alkali, sout en organiese reagense.
4. Hoë hardheid, kompakte oppervlak, fyn deeltjies.
5. Langer dienslewe en meer duursaam

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCdeklaag
性质 / Eiendom	典型数值 / Tipiese waarde
晶体结构 / Kristalstruktuur	FCC β fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Digtheid	3,21 g/cm³
硬度 / Hardheid	2500 维氏硬度（500g vrag）
晶粒大小 / Graangrootte	2~10μm
纯度 / Chemiese Suiwerheid	99,99995%
热容 / Hittekapasiteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimasie Temperatuur	2700 ℃
抗弯强度 / Buigkrag	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Young se Modulus	430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃
导热系数 / ThermalGeleidingsvermoë	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termiese uitbreiding (CTE)	4,5×10^-6K^-1