Kenmerke:
· Uitstekende termiese skokweerstand
· Uitstekende fisiese skokweerstand
· Uitstekende chemiese weerstand
· Super hoë suiwerheid
· Beskikbaarheid in komplekse vorm
·Bruikbaar onder Oksiderende Atmosfeer
Aansoek:
Produkkenmerke en voordele:
1. Uitstekende termiese weerstand:Met 'n hoë suiwerheidSiC-bedekking, die substraat weerstaan uiterste temperature, wat konsekwente werkverrigting verseker in veeleisende omgewings soos epitaksie en halfgeleiervervaardiging.
2. Verbeterde duursaamheid:Die SiC-bedekte grafietkomponente is ontwerp om chemiese korrosie en oksidasie te weerstaan, wat die substraat se lewensduur verhoog in vergelyking met standaard grafietsubstrate.
3. Vitreous Coated Grafiet:Die unieke glasagtige struktuur van dieSiC-bedekkingbied uitstekende oppervlak hardheid, verminder slytasie tydens hoë-temperatuur verwerking.
4. Hoë suiwerheid SiC Coating:Ons substraat verseker minimale besoedeling in sensitiewe halfgeleierprosesse, wat betroubaarheid bied vir nywerhede wat streng materiaalsuiwerheid vereis.
5. Wye marktoepassing:DieSiC-bedekte grafiet-susceptormark groei steeds namate die vraag na gevorderde SiC-bedekte produkte in halfgeleiervervaardiging toeneem, wat hierdie substraat posisioneer as 'n sleutelspeler in beide die grafietwafeldraermark en die mark vir silikonkarbiedbedekte grafietbakkies.
Tipiese eienskappe van basis grafiet materiaal:
| Skynbare digtheid: | 1,85 g/cm3 |
| Elektriese weerstand: | 11 μΩm |
| Buigkrag: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Shore Hardheid: | 58 |
| As: | <5 dpm |
| Termiese geleidingsvermoë: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCdeklaag | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Tipiese waarde |
| 晶体结构 / Kristalstruktuur | FCC β-fase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Digtheid | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度（500g vrag） |
| 晶粒大小 / Graangrootte | 2~10μm |
| 纯度 / Chemiese suiwerheid | 99,99995% |
| 热容 / Hittekapasiteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimasietemperatuur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Buigkrag | 415 MPa RT 4-punt |
| 杨氏模量 / Young se modulus | 430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃ |
| 导热系数 / Termiese Geleiding | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termiese uitbreiding (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy is die regte vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met verskillende bedekkings soos SiC-bedekking, TaC-bedekking, glasagtige koolstofbedekking, pirolitiese koolstofbedekking, ens., Kan verskeie pasgemaakte onderdele vir halfgeleier- en fotovoltaïese industrie verskaf.
Ons tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaal oplossings vir jou verskaf.
Ons ontwikkel voortdurend gevorderde prosesse om meer gevorderde materiale te verskaf, en het 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie uitgewerk, wat die binding tussen die deklaag en die substraat stywer en minder geneig tot losmaak kan maak.
Hartlik welkom om ons fabriek te besoek, laat ons verder bespreek!
