Lang dienslewe silikonkarbiedwafelkasset met SiC-bedekking

Kort beskrywing:

VET Energy Silicon Carbide Wafer Cassette With SiC Coating is 'n hoëprestasieproduk wat ontwerp is om konsekwente en betroubare werkverrigting oor 'n lang tydperk te lewer. Dit het super goeie hittebestandheid en termiese eenvormigheid, hoë suiwerheid, erosiebestandheid, wat dit die perfekte oplossing maak vir waferverwerkingstoepassings.


Produkbesonderhede

Produk Tags

Eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied

Herkristalliseerde silikonkarbied (R-SiC) is 'n hoëprestasiemateriaal met 'n hardheid wat net diamant is, wat by 'n hoë temperatuur bo 2000 ℃ gevorm word. Dit behou baie uitstekende eienskappe van SiC, soos hoë temperatuursterkte, sterk korrosiebestandheid, uitstekende oksidasieweerstand, goeie termiese skokweerstand ensovoorts.

● Uitstekende meganiese eienskappe. Herkristalliseerde silikonkarbied het 'n hoër sterkte en styfheid as koolstofvesel, hoë impakweerstand, kan 'n goeie prestasie in uiterste temperatuur omgewings speel, kan 'n beter teenbalans prestasie speel in 'n verskeidenheid situasies. Boonop het dit ook goeie buigsaamheid en word dit nie maklik beskadig deur strek en buig nie, wat sy werkverrigting aansienlik verbeter.

● Hoë weerstand teen korrosie. Herkristalliseerde silikonkarbied het 'n hoë korrosiebestandheid teen 'n verskeidenheid media, kan die erosie van 'n verskeidenheid korrosiewe media voorkom, kan sy meganiese eienskappe vir 'n lang tyd behou, het 'n sterk adhesie, sodat dit 'n langer lewensduur het. Daarbenewens het dit ook goeie termiese stabiliteit, kan dit aanpas by 'n sekere reeks temperatuurveranderinge, die toepassingseffek daarvan verbeter.

● Sintering krimp nie. Omdat die sinterproses nie krimp nie, sal geen oorblywende spanning vervorming of krake van die produk veroorsaak nie, en dele met komplekse vorms en hoë presisie kan voorberei word.

重结晶碳化硅物理特性

Fisiese eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied

性质 / Eiendom

典型数值 / Tipiese waarde

使用温度/ Werkstemperatuur (°C)

1600°C (met suurstof), 1700°C (verminderende omgewing)

SiC含量/ SiC inhoud

> 99,96%

自由Si含量/ Gratis Si-inhoud

< 0,1%

体积密度/Grootmaat digtheid

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Skynbare porositeit

< 16%

抗压强度/ Kompressiesterkte

> 600MPa

常温抗弯强度/Koue buigsterkte

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Warm buigsterkte

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Termiese uitsetting @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Termiese geleidingsvermoë @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Elastiese modulus

240 GPa

抗热震性/ Termiese skok weerstand

Uiters goed

VET Energie is dieregte vervaardiger van pasgemaakte grafiet- en silikonkarbiedprodukte met CVD-bedekking,kan verskafverskeiepasgemaakte onderdele vir halfgeleier- en fotovoltaïese industrie. Our tegniese span kom van top plaaslike navorsingsinstellings, kan meer professionele materiaal oplossings verskafvir jou.

Ons ontwikkel voortdurend gevorderde prosesse om meer gevorderde materiale te verskaf,enhet 'n eksklusiewe gepatenteerde tegnologie uitgewerk, wat die binding tussen die laag en die substraat stywer en minder geneig tot losmaak kan maak.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basiese fisiese eienskappe van CVD SiCdeklaag

性质 / Eiendom

典型数值 / Tipiese waarde

晶体结构 / Kristalstruktuur

FCC β fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Digtheid

3,21 g/cm³

硬度 / Hardheid

2500 维氏硬度(500g vrag)

晶粒大小 / Graangrootte

2~10μm

纯度 / Chemiese Suiwerheid

99,99995%

热容 / Hittekapasiteit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimasie Temperatuur

2700 ℃

抗弯强度 / Buigkrag

415 MPa RT 4-punt

杨氏模量 / Young se Modulus

430 Gpa 4pt buiging, 1300 ℃

导热系数 / ThermalGeleidingsvermoë

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termiese uitbreiding (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Hartlik welkom om ons fabriek te besoek, laat ons verder bespreek!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Vorige:
  • Volgende:

  • WhatsApp aanlynklets!