Kí nìdí nilo thinning?

Ni awọn pada-opin ilana ipele, awọnwafer (ohun alumọni waferpẹlu awọn iyika ni iwaju) nilo lati wa ni tinrin lori ẹhin ṣaaju dicing ti o tẹle, alurinmorin ati apoti lati dinku iga iṣagbesori package, dinku iwọn didun package chirún, mu iṣẹ ṣiṣe kaakiri igbona ti chirún, iṣẹ itanna, awọn ohun-ini ẹrọ ati dinku iye ti dicing. Pada lilọ ni awọn anfani ti ṣiṣe giga ati iye owo kekere. O ti rọpo awọn ilana etching tutu ti aṣa ati ion etching lati di imọ-ẹrọ tinrin ti o ṣe pataki julọ.

Awọn thinned wafer

Bawo ni lati tinrin?

Ilana akọkọ ti tinrin wafer ni ilana iṣakojọpọ ibile

Awọn kan pato awọn igbesẹ tiwaferthinning ni lati mnu awọn wafer lati wa ni ilọsiwaju si awọn thinning fiimu, ati ki o si lo igbale lati adsorb awọn thinning fiimu ati awọn ërún lori o si awọn la kọja seramiki wafer tabili, satunṣe awọn akojọpọ ki o si lode ipin ọkọ aarin ila ti awọn ṣiṣẹ dada ti awọn kẹkẹ lilọ diamond ti o ni apẹrẹ ago si aarin wafer ohun alumọni, ati wafer ohun alumọni ati kẹkẹ lilọ yiyi ni ayika awọn aake wọn fun gige-ni lilọ. Lilọ pẹlu awọn ipele mẹta: lilọ ti o ni inira, lilọ daradara ati didan.

Wafer ti n jade lati ile-iṣẹ wafer jẹ lilọ-pada si tinrin wafer si sisanra ti o nilo fun iṣakojọpọ. Nigbati o ba n lọ wafer, teepu nilo lati lo si iwaju (Agbegbe Nṣiṣẹ) lati daabobo agbegbe agbegbe, ati pe ẹgbẹ ẹhin ti wa ni ilẹ ni akoko kanna. Lẹhin lilọ, yọ teepu kuro ki o wọn sisanra.
Awọn ilana lilọ ti a ti lo ni aṣeyọri si igbaradi wafer silikoni pẹlu lilọ tabili iyipo,ohun alumọni waferyiyi lilọ, lilọ ni ilọpo meji, bbl Pẹlu ilọsiwaju siwaju ti awọn ibeere didara dada ti awọn ohun alumọni ohun alumọni kan ṣoṣo, awọn imọ-ẹrọ lilọ tuntun ni a dabaa nigbagbogbo, bii lilọ TAIKO, lilọ ẹrọ kemikali kemikali, didan didan ati lilọ disiki aye.

Lilọ tabili Rotari:

Lilọ tabili Rotari (lilọ tabili iyipo) jẹ ilana lilọ ni kutukutu ti a lo ninu igbaradi wafer silikoni ati tinrin sẹhin. Awọn oniwe-opo ti han ni Figure 1. Awọn ohun alumọni wafers ti wa ni ti o wa titi lori afamora agolo ti awọn yiyi tabili, ati n yi synchronously ìṣó nipasẹ awọn yiyi tabili. Awọn ohun alumọni silikoni funrara wọn ko yiyi ni ayika ipo wọn; kẹkẹ lilọ ti wa ni ifunni axially lakoko ti o yiyi ni iyara giga, ati iwọn ila opin ti kẹkẹ lilọ jẹ tobi ju iwọn ila opin ti wafer silikoni. Nibẹ ni o wa meji orisi ti Rotari tabili lilọ: oju plunge lilọ ati oju tangential lilọ. Ni lilọ oju plunge, iwọn kẹkẹ lilọ tobi ju iwọn ila opin ohun alumọni lọ, ati wiwọn kẹkẹ lilọ kiri jẹ ifunni nigbagbogbo pẹlu itọsọna axial rẹ titi ti o fi jẹ ilọsiwaju, ati lẹhinna wafer ohun alumọni ti yiyi labẹ awakọ ti tabili Rotari; ni lilọ tangential oju, awọn kikọ sii kẹkẹ lilọ pẹlu itọsọna axial rẹ, ati wafer silikoni ti n yiyi nigbagbogbo labẹ awakọ ti disiki yiyi, ati lilọ ti pari nipasẹ ifunni atunṣe (atunṣe) tabi ifunni ti nrakò (creepfeed).

Nọmba 1, aworan atọka ti lilọ tabili iyipo (oju tangential) opo

Ti a ṣe afiwe pẹlu ọna lilọ, lilọ tabili iyipo ni awọn anfani ti oṣuwọn yiyọ kuro, ibajẹ oju kekere, ati adaṣe irọrun. Sibẹsibẹ, agbegbe lilọ kiri gangan (lilọ ti nṣiṣe lọwọ) B ati igun-gige θ (igun ti o wa laarin agbegbe ita ti kẹkẹ wiwọn ati iyipo ita ti ohun alumọni ohun alumọni) ni iyipada ilana iyipada pẹlu iyipada ipo gige. ti kẹkẹ lilọ, Abajade ni agbara lilọ riru, ti o jẹ ki o ṣoro lati gba deede dada ti o dara julọ (iye TTV giga), ati irọrun nfa awọn abawọn bii isubu eti ati iparun eti. Imọ-ẹrọ lilọ tabili iyipo jẹ lilo nipataki fun sisẹ ti awọn wafers ohun alumọni-orin kirisita ni isalẹ 200mm. Ilọsoke ni iwọn ti awọn ohun alumọni ohun alumọni ẹyọkan ti fi awọn ibeere ti o ga julọ siwaju sii fun išedede dada ati išedede iṣipopada ti ibi-iṣẹ ohun elo, nitorinaa lilọ tabili iyipo ko dara fun lilọ ti awọn ohun alumọni ohun alumọni ẹyọkan ti o ga ju 300mm.
Lati le ni ilọsiwaju iṣẹ ṣiṣe lilọ, awọn ohun elo lilọ tangential ọkọ ofurufu ti iṣowo nigbagbogbo gba eto kẹkẹ-lilọ pupọ kan. Fun apẹẹrẹ, ṣeto ti awọn kẹkẹ lilọ ti o ni inira ati ṣeto awọn kẹkẹ wiwun daradara ti wa ni ipese lori awọn ohun elo, ati tabili Rotari n yi iyika kan lati pari lilọ ti o ni inira ati lilọ daradara ni titan. Iru ohun elo yii pẹlu G-500DS ti Ile-iṣẹ GTI Amẹrika (Figure 2).

olusin 2, G-500DS Rotari tabili lilọ ohun elo ti GTI Company ni United States

Silikoni wafer lilọ lilọ:

Lati le pade awọn iwulo igbaradi wafer ohun alumọni titobi nla ati sisẹ tinrin sẹhin, ati gba deede dada pẹlu iye TTV to dara. Ni ọdun 1988, ọmọwe ara ilu Japanese Matsui dabaa ọna lilọ yiyi wafer silikoni kan (ninu ifunni). Awọn oniwe-opo ti han ni Figure 3. Awọn nikan gara ohun alumọni wafer ati ife-sókè Diamond lilọ kẹkẹ adsorbed lori workbench n yi ni ayika awọn oniwun wọn ãke, ati awọn lilọ kẹkẹ ti wa ni continuously je pẹlú awọn axial itọsọna ni akoko kanna. Lara wọn, iwọn ila opin ti kẹkẹ lilọ jẹ tobi ju iwọn ila opin ti wafer silikoni ti a ṣe ilana, ati iyipo rẹ kọja laarin aarin wafer silikoni. Lati le dinku agbara lilọ ati dinku ooru lilọ, ago igbale igbale ni a maa n ge sinu convex tabi apẹrẹ concave tabi igun ti o wa laarin ọpa kẹkẹ lilọ ati pe afamora ago spindle axis ti wa ni titunse lati rii daju lilọ ologbele-olubasọrọ laarin awọn lilọ kẹkẹ ati ohun alumọni wafer.

Aworan 3, Aworan atọka ti ohun alumọni wafer rotari lilọ opo

Ti a ṣe afiwe pẹlu lilọ tabili iyipo, ohun alumọni wafer rotary lilọ ni awọn anfani wọnyi: ① Lilọ-wafer kan-akoko kan le ṣe ilana awọn wafers silikoni ti o tobi ju 300mm; ② Agbegbe lilọ gangan B ati igun gige θ jẹ igbagbogbo, ati agbara lilọ jẹ iduroṣinṣin; ③ Nipa Siṣàtúnṣe iwọn ti tẹri laarin awọn kẹkẹ lilọ ati awọn ohun alumọni wafer axis, awọn dada apẹrẹ ti awọn nikan gara ohun alumọni wafer le ti wa ni actively dari lati gba dara dada apẹrẹ išedede. Ni afikun, agbegbe lilọ ati igun gige θ ti ohun alumọni wafer rotari lilọ tun ni awọn anfani ti lilọ ala nla, sisanra ori ayelujara ti o rọrun ati wiwa didara dada ati iṣakoso, eto ohun elo iwapọ, irọrun iṣọpọ ọpọlọpọ-ibudo, ati ṣiṣe lilọ giga.
Lati le ni ilọsiwaju iṣelọpọ iṣelọpọ ati pade awọn iwulo ti awọn laini iṣelọpọ semikondokito, ohun elo lilọ ti iṣowo ti o da lori ipilẹ ti ohun alumọni wafer rotari lilọ gba ọna ipilẹ-ọpọ-spindle olona-pupọ, eyiti o le pari lilọ ti o ni inira ati lilọ daradara ni ikojọpọ kan ati ikojọpọ. . Ni idapọ pẹlu awọn ohun elo oluranlọwọ miiran, o le mọ lilọ ni kikun laifọwọyi ti awọn wafers ohun alumọni gara kan “gbẹ-ni/gbẹ-jade” ati “kasẹti si kasẹti”.

Lilọ-apa meji:

Nigbati ohun alumọni wafer rotari lilọ ṣe ilana awọn ipele oke ati isalẹ ti wafer ohun alumọni, iṣẹ-ṣiṣe nilo lati tan-an ati ṣe ni awọn igbesẹ, eyiti o ṣe idiwọn ṣiṣe. Ni akoko kanna, ohun alumọni wafer rotari lilọ ni didaakọ aṣiṣe dada (daakọ) ati awọn ami lilọ (ami lilọ), ati pe ko ṣee ṣe lati mu awọn abawọn kuro ni imunadoko gẹgẹbi waviness ati taper lori dada ti ohun alumọni ohun alumọni mọto kan lẹhin gige okun waya. (olona-ri), bi o han ni Figure 4. Lati bori awọn loke abawọn, ni ilopo-apa lilọ ọna ẹrọ (doublesidegrinding) han ninu awọn 1990s, ati awọn oniwe-ipilẹ ti han ni Figure. 5. Awọn clamps symmetrically pin lori mejeji dimole awọn nikan gara ohun alumọni wafer ni idaduro iwọn ati ki o n yi laiyara ìṣó nipasẹ awọn rola. A bata ti ife-sókè Diamond lilọ wili ti wa ni jo be lori mejeji ti awọn nikan gara ohun alumọni wafer. Ṣiṣe nipasẹ ọpa ina mọnamọna ti o ni afẹfẹ, wọn yiyi ni awọn itọnisọna idakeji ati ifunni axially lati ṣaṣeyọri lilọ-apa-meji ti wafer ohun alumọni gara kan ṣoṣo. Gẹgẹbi a ti le rii lati inu eeya naa, lilọ-apa-meji le ṣe imunadoko ni yọkuro waviness ati taper lori dada ti ohun alumọni ohun alumọni mọto kan lẹhin gige gige. Ni ibamu si itọsọna iṣeto ti ipo kẹkẹ lilọ, lilọ ni apa meji le jẹ petele ati inaro. Lara wọn, lilọ ni apa meji petele le dinku ipa ti abuku wafer ohun alumọni ti o fa nipasẹ iwuwo ti o ku ti wafer ohun alumọni lori didara lilọ, ati pe o rọrun lati rii daju pe awọn ipo ilana lilọ ni ẹgbẹ mejeeji ti ohun alumọni okuta kan ṣoṣo. wafer jẹ kanna, ati awọn patikulu abrasive ati awọn eerun igi lilọ ko rọrun lati duro lori dada ti wafer ohun alumọni gara ẹyọkan. O ti wa ni a jo bojumu lilọ ọna.

Ṣe nọmba 4, "Ẹda aṣiṣe" ati wọ awọn abawọn ami ni lilọ yiyi wafer silikoni

Nọmba 5, aworan atọka ti ilana lilọ-apa meji

Table 1 fihan lafiwe laarin awọn lilọ ati ni ilopo-apa lilọ ti awọn loke mẹta orisi ti nikan gara ohun alumọni wafers. Lilọ-apa-meji jẹ lilo ni akọkọ fun sisẹ wafer silikoni ni isalẹ 200mm, ati pe o ni ikore wafer giga. Nitori lilo awọn wili lilọ abrasive ti o wa titi, lilọ ti awọn ohun alumọni silikoni ẹyọkan le gba didara dada ti o ga julọ ju ti lilọ-apa meji. Nitorinaa, mejeeji ohun alumọni wafer rotari lilọ ati lilọ ni ilọpo meji le pade awọn ibeere didara sisẹ ti awọn ohun alumọni ohun alumọni 300mm akọkọ, ati pe lọwọlọwọ jẹ awọn ọna ṣiṣe fifẹ pataki julọ. Nigbati o ba yan ọna ṣiṣe fifẹ ohun alumọni, o jẹ dandan lati ro ni kikun awọn ibeere ti iwọn ila opin, didara dada, ati imọ-ẹrọ sisẹ wafer didan ti ohun alumọni ohun alumọni ẹyọkan. Tinrin ẹhin ti wafer le yan ọna sisẹ-apa kan nikan, gẹgẹbi ọna lilọ ohun alumọni wafer rotari.

Ni afikun si yiyan ọna lilọ ni lilọ ohun alumọni ohun alumọni, o tun jẹ dandan lati pinnu yiyan ti awọn ilana ilana ọgbọn gẹgẹbi titẹ to dara, iwọn ọkà kẹkẹ, wiwọ kẹkẹ lilọ, iyara kẹkẹ lilọ, iyara wafer ohun alumọni, iki omi lilọ ati sisan oṣuwọn, ati be be lo, ki o si pinnu a reasonable ilana ipa ọna. Nigbagbogbo, ilana lilọ ti apakan pẹlu lilọ ti o ni inira, lilọ ologbele-ipari, lilọ ipari, lilọ-ọfẹ sipaki ati ẹhin ti o lọra ni a lo lati gba awọn wafers ohun alumọni gara ẹyọkan pẹlu ṣiṣe iṣelọpọ giga, fifẹ dada giga ati ibajẹ dada kekere.