Kini idi ti a lo teepu UV fun dicing wafer? | Agbara VET

Lẹhin tiwaferti lọ nipasẹ awọn ti tẹlẹ ilana, ni ërún igbaradi ti wa ni ti pari, ati awọn ti o nilo lati ge lati ya awọn eerun lori wafer, ati nipari dipo. Awọnwaferilana gige ti a yan fun awọn wafers ti awọn sisanra oriṣiriṣi tun yatọ:

▪Waferspẹlu sisanra ti diẹ ẹ sii ju 100um ti wa ni gbogbo ge pẹlu awọn abẹfẹlẹ;

▪Waferspẹlu sisanra ti o kere ju 100um ni gbogbo igba ge pẹlu awọn lasers. Ige laser le dinku awọn iṣoro ti peeling ati fifẹ, ṣugbọn nigbati o ba wa loke 100um, ṣiṣe iṣelọpọ yoo dinku pupọ;

▪Waferspẹlu sisanra ti o kere ju 30um ti ge pẹlu pilasima. Ige pilasima yarayara ati pe kii yoo ba oju ti wafer jẹ, nitorinaa imudara ikore, ṣugbọn ilana rẹ jẹ idiju diẹ sii;

Lakoko ilana gige wafer, fiimu kan yoo lo si wafer ni ilosiwaju lati rii daju “singling” ailewu. Awọn iṣẹ akọkọ rẹ jẹ bi atẹle.

Fix ati aabo wafer

Lakoko iṣẹ dicing, wafer nilo lati ge ni deede.Wafersni o wa maa tinrin ati brittle. Teepu UV le duro ṣinṣin wafer si fireemu tabi ipele wafer lati ṣe idiwọ wafer lati yiyi ati gbigbọn lakoko ilana gige, ni idaniloju pipe ati deede ti gige.
O le pese ti o dara ti ara Idaabobo fun wafer, yago fun ibaje si awọnwaferti o ṣẹlẹ nipasẹ ipa ipa ita ati ikọlu ti o le waye lakoko ilana gige, gẹgẹbi awọn dojuijako, iṣubu eti ati awọn abawọn miiran, ati daabobo eto chirún ati iyika lori oju ti wafer.

Rọrun Ige isẹ

Teepu UV ni rirọ ati irọrun ti o yẹ, ati pe o le ṣe idibajẹ niwọntunwọnsi nigbati abẹfẹlẹ gige ba ge, ṣiṣe ilana gige ni irọrun, idinku awọn ipa buburu ti gige gige lori abẹfẹlẹ ati wafer, ati iranlọwọ lati mu didara gige ati igbesi aye iṣẹ ti. abẹfẹlẹ. Awọn abuda dada rẹ jẹ ki idoti ti ipilẹṣẹ nipasẹ gige lati faramọ teepu dara julọ laisi fifọ ni ayika, eyiti o rọrun fun mimọ atẹle ti agbegbe gige, titọju agbegbe iṣẹ ni mimọ, ati yago fun idoti lati idoti tabi kikọlu pẹlu wafer ati ohun elo miiran. .

Rọrun lati mu nigbamii

Lẹhin ti a ti ge wafer, teepu UV le dinku ni kiakia ni iki tabi paapaa sọnu patapata nipa sisọnu rẹ pẹlu ina ultraviolet ti iwọn gigun kan pato ati kikankikan, ki gige gige naa le ni rọọrun yapa kuro ninu teepu, eyiti o rọrun fun atẹle. ërún apoti, igbeyewo ati awọn miiran ilana óę, ki o si yi Iyapa ilana ni o ni awọn kan gan kekere ewu ti ba awọn ërún.