Non-uniformity ti ion bombardment
Gbẹetchingnigbagbogbo jẹ ilana ti o dapọ awọn ipa ti ara ati kemikali, ninu eyiti bombardment ion jẹ ọna etching ti ara pataki. Nigba tiilana etching, igun iṣẹlẹ ati pinpin agbara ti awọn ions le jẹ aiṣedeede.
Ti igun iṣẹlẹ ion ba yatọ si ni awọn ipo oriṣiriṣi lori odi ẹgbẹ, ipa etching ti awọn ions lori odi ẹgbẹ yoo tun yatọ. Ni awọn agbegbe ti o ni awọn igun iṣẹlẹ ion ti o tobi ju, ipa ipa ti awọn ions lori ogiri ẹgbẹ jẹ okun sii, eyi ti yoo jẹ ki ogiri ẹgbẹ ti o wa ni agbegbe yii jẹ diẹ sii, ti o nfa ki odi ti o tẹ. Ni afikun, pinpin aiṣedeede ti agbara ion yoo tun ṣe awọn ipa ti o jọra. Awọn ions pẹlu agbara ti o ga julọ le yọ awọn ohun elo kuro ni imunadoko, ti o mu ki o wa ni aisededeetchingawọn iwọn ti awọn sidewall ni orisirisi awọn ipo, eyi ti o ni Tan fa awọn sidewall lati tẹ.
Awọn ipa ti photoresist
Photoresist ṣe ipa ti boju-boju ni etching gbigbẹ, aabo awọn agbegbe ti ko nilo lati ṣe etched. Sibẹsibẹ, photoresist tun ni ipa nipasẹ pilasima bombardment ati awọn aati kemikali lakoko ilana etching, ati pe iṣẹ rẹ le yipada.
Ti sisanra ti photoresist jẹ aidọgba, iwọn lilo lakoko ilana etching jẹ aisedede, tabi ifaramọ laarin photoresist ati sobusitireti yatọ ni awọn ipo oriṣiriṣi, o le ja si aabo aiṣedeede ti awọn odi ẹgbẹ lakoko ilana etching. Fun apẹẹrẹ, awọn agbegbe pẹlu photoresist tinrin tabi adhesion alailagbara le jẹ ki ohun elo ti o wa ni isalẹ wa ni irọrun diẹ sii, ti o fa ki awọn odi ẹgbẹ tẹ ni awọn ipo wọnyi.
Awọn iyatọ ninu awọn ohun-ini ohun elo sobusitireti
Ohun elo sobusitireti ti ara rẹ le ni awọn ohun-ini oriṣiriṣi, gẹgẹbi awọn iṣalaye gara oriṣiriṣi ati awọn ifọkansi doping ni awọn agbegbe oriṣiriṣi. Awọn iyatọ wọnyi yoo ni ipa lori oṣuwọn etching ati yiyan yiyan.
Fun apẹẹrẹ, ni ohun alumọni kirisita, iṣeto ti awọn ọta ohun alumọni ni oriṣiriṣi awọn iṣalaye gara yatọ, ati pe ifaseyin wọn ati oṣuwọn etching pẹlu gaasi etching yoo tun yatọ. Lakoko ilana etching, awọn oṣuwọn etching ti o yatọ ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn iyatọ ninu awọn ohun-ini ohun elo yoo jẹ ki ijinle etching ti awọn odi ẹgbẹ ni awọn oriṣiriṣi awọn ipo aisedede, nikẹhin ti o yori si atunse odi ẹgbẹ.
Ohun elo-jẹmọ ifosiwewe
Iṣẹ ati ipo ti ohun elo etching tun ni ipa pataki lori awọn abajade etching. Fun apẹẹrẹ, awọn iṣoro bii pinpin pilasima aiṣedeede ninu iyẹwu ifaseyin ati wiwọ elekiturodu aiṣedeede le ja si pinpin aiṣedeede ti awọn aye bii iwuwo ion ati agbara lori oju wafer lakoko etching.
Ni afikun, iṣakoso iwọn otutu aiṣedeede ti ohun elo ati awọn iyipada diẹ ninu ṣiṣan gaasi le tun kan isomọ ti etching, ti o yori si atunse odi ẹgbẹ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-03-2024