Kini ọna ṣiṣe eto ti CMP?

Dual-Damascene jẹ imọ-ẹrọ ilana ti a lo lati ṣe iṣelọpọ awọn asopọ irin ni awọn iyika iṣọpọ. O jẹ idagbasoke siwaju sii ti ilana Damasku. Nipa dida nipasẹ awọn iho ati awọn iho ni akoko kanna ni igbesẹ ilana kanna ati kikun wọn pẹlu irin, iṣelọpọ iṣọpọ ti awọn asopọ irin ti wa ni imuse.

Kí nìdí ni a npe ni Damasku?

Ilu Damasku ni olu-ilu Siria, ati pe awọn idà Damasku jẹ olokiki fun didasilẹ wọn ati ohun elo ti o wuyi. Iru ilana inlay kan ni a nilo: akọkọ, apẹrẹ ti o nilo ni a fiwe si oju irin Damasku, ati awọn ohun elo ti a ti pese tẹlẹ ti wa ni wiwọ ni wiwọ sinu awọn grooves ti a fiweranṣẹ. Lẹhin ti inlay ti wa ni ti pari, awọn dada le jẹ kekere kan uneven. Oniṣọnà yoo farabalẹ ṣe didan rẹ lati rii daju didan gbogbogbo. Ati ilana yii jẹ apẹrẹ ti ilana Damasku meji ti ërún. Ni akọkọ, awọn iho tabi awọn iho ti wa ni kikọ sinu Layer dielectric, lẹhinna irin ti kun ninu wọn. Lẹhin kikun, irin ti o pọju yoo yọ kuro nipasẹ cmp.

Awọn igbesẹ akọkọ ti ilana damascene meji pẹlu:

▪ Ifipamọ Layer dielectric:

Fi Layer ti ohun elo dielectric, gẹgẹbi silikoni oloro (SiO2), sori semikondokitowafer.

▪ Aworan aworan lati ṣalaye apẹrẹ:

Lo photolithography lati setumo awọn ilana ti vias ati trenches lori dielectric Layer.

▪Etching:

Gbe awọn ilana ti vias ati trenches si dielectric Layer nipasẹ kan gbẹ tabi tutu etching ilana.

▪ Gbigbe irin:

Irin ohun idogo, gẹgẹ bi awọn Ejò (Cu) tabi aluminiomu (Al), ni vias ati trenches lati dagba irin interconnects.

▪ Ṣiṣan ẹrọ didan kemikali:

Kemikali darí polishing ti awọn irin dada lati yọ excess irin ati ki o flatten awọn dada.

Ti a ṣe afiwe pẹlu ilana iṣelọpọ isọdọkan irin ti aṣa, ilana damascene meji ni awọn anfani wọnyi:

▪ Awọn igbesẹ ilana ti o rọrun:nipa dida vias ati trenches nigbakanna ni ilana ilana kanna, awọn igbesẹ ilana ati akoko iṣelọpọ dinku.

▪Imudara iṣelọpọ iṣelọpọ:nitori idinku awọn igbesẹ ilana, ilana damascene meji le mu ilọsiwaju iṣelọpọ ṣiṣẹ ati dinku awọn idiyele iṣelọpọ.

▪ Ṣe ilọsiwaju iṣẹ awọn asopọ irin:ilana damascene meji le ṣaṣeyọri awọn asopọ asopọ irin dín, nitorinaa imudara iṣọpọ ati iṣẹ ti awọn iyika.

▪Dinku agbara parasitic ati resistance:nipa lilo awọn ohun elo dielectric kekere-k ati jijẹ ọna ti awọn asopọ irin, agbara parasitic ati resistance le dinku, imudarasi iyara ati iṣẹ agbara agbara ti awọn iyika.