Ileru idagbasoke gara ni ohun elo mojuto funohun alumọni carbideidagbasoke gara. O jẹ iru si ileru idagbasoke kristali ohun alumọni ti aṣa. Ilana ileru ko ni idiju pupọ. O jẹ akọkọ ti ara ileru, eto alapapo, ẹrọ gbigbe okun, gbigba igbale ati eto wiwọn, eto ọna gaasi, eto itutu agbaiye, eto iṣakoso, bbl Aaye igbona ati awọn ipo ilana pinnu awọn itọkasi bọtini tiohun alumọni carbide garabi didara, iwọn, elekitiriki ati be be lo.
Lori awọn ọkan ọwọ, awọn iwọn otutu nigba ti idagba tiohun alumọni carbide garaga pupọ ati pe ko le ṣe abojuto. Nitorinaa, iṣoro akọkọ wa ninu ilana funrararẹ. Awọn iṣoro akọkọ jẹ bi atẹle:
(1) Iṣoro ni iṣakoso aaye igbona:
Abojuto ti iho-iwọn otutu ti o ni pipade jẹ nira ati ko ni iṣakoso. Yatọ si ojutu ti o da lori ohun alumọni ti aṣa taara-fa ohun elo idagbasoke gara pẹlu alefa giga ti adaṣe ati akiyesi ati ilana idagbasoke kristali, awọn kirisita carbide silikoni dagba ni aaye pipade ni agbegbe iwọn otutu giga ju 2,000 ℃, ati iwọn otutu idagbasoke. nilo lati ṣakoso ni deede lakoko iṣelọpọ, eyiti o jẹ ki iṣakoso iwọn otutu nira;
(2) Iṣoro ni iṣakoso fọọmu gara:
Micropipes, polymorphic inclusions, dislocations ati awọn miiran abawọn jẹ prone lati waye nigba ti idagba ilana, ati awọn ti wọn ni ipa ati ki o da ara wọn. Micropipes (MP) jẹ awọn abawọn nipasẹ-iru pẹlu iwọn ti ọpọlọpọ awọn microns si mewa ti microns, eyiti o jẹ abawọn apaniyan ti awọn ẹrọ. Awọn kirisita ẹyọkan silikoni pẹlu diẹ ẹ sii ju 200 oriṣiriṣi awọn fọọmu gara, ṣugbọn awọn ẹya gara diẹ nikan (iru 4H) jẹ awọn ohun elo semikondokito ti o nilo fun iṣelọpọ. Iyipada fọọmu Crystal jẹ rọrun lati waye lakoko ilana idagbasoke, ti o fa awọn abawọn ifisi polymorphic. Nitorinaa, o jẹ dandan lati ṣakoso awọn iwọn deede gẹgẹbi ohun alumọni-erogba ratio, iwọn otutu idagba, oṣuwọn idagbasoke gara, ati titẹ ṣiṣan afẹfẹ. Ni afikun, iwọn otutu kan wa ni aaye igbona ti ohun alumọni carbide nikan idagbasoke gara, eyiti o yori si aapọn inu inu abinibi ati awọn iyọkuro ti o waye (basal ofurufu dislocation BPD, skru dislocation TSD, eti dislocation TED) lakoko ilana idagbasoke gara, nitorinaa ti o ni ipa lori didara ati iṣẹ ti epitaxy ti o tẹle ati awọn ẹrọ.
(3) Iṣakoso doping ti o nira:
Ifilọlẹ ti awọn idoti ita gbọdọ wa ni iṣakoso ti o muna lati gba kirisita conductive kan pẹlu doping itọnisọna;
(4) Iwọn idagbasoke ti o lọra:
Iwọn idagba ti ohun alumọni carbide jẹ o lọra pupọ. Awọn ohun elo ohun alumọni ti aṣa nilo awọn ọjọ 3 nikan lati dagba sinu ọpá gara, lakoko ti awọn ọpá okuta ohun alumọni carbide nilo awọn ọjọ 7. Eyi nyorisi ṣiṣe iṣelọpọ kekere nipa ti ara ti ohun alumọni carbide ati iṣelọpọ lopin pupọ.
Ni apa keji, awọn aye ti ohun alumọni carbide epitaxial idagba jẹ ibeere pupọ, pẹlu wiwọ afẹfẹ ti ohun elo, iduroṣinṣin ti titẹ gaasi ninu iyẹwu ifa, iṣakoso deede ti akoko ifihan gaasi, deede ti gaasi. ipin, ati iṣakoso to muna ti iwọn otutu ifisilẹ. Ni pataki, pẹlu ilọsiwaju ti ipele resistance foliteji ẹrọ, iṣoro ti ṣiṣakoso awọn aye pataki ti wafer epitaxial ti pọ si ni pataki. Ni afikun, pẹlu ilosoke ninu sisanra ti Layer epitaxial, bi o ṣe le ṣakoso iṣọkan iṣọkan ti resistivity ati ki o dinku iwuwo abawọn lakoko ti o rii daju pe sisanra ti di ipenija pataki miiran. Ninu eto iṣakoso itanna, o jẹ dandan lati ṣepọ awọn sensọ pipe-giga ati awọn oṣere lati rii daju pe awọn aye oriṣiriṣi le jẹ deede ati ni iduroṣinṣin. Ni akoko kanna, iṣapeye ti algorithm iṣakoso tun jẹ pataki. O nilo lati ni anfani lati ṣatunṣe ilana iṣakoso ni akoko gidi ni ibamu si ifihan agbara esi lati ṣe deede si ọpọlọpọ awọn ayipada ninu ilana idagbasoke epitaxial silicon carbide.
Awọn iṣoro akọkọ niohun alumọni carbide sobusitiretiiṣelọpọ:
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-07-2024