A nikan gara ileru ni a ẹrọ ti o nlo aigbona lẹẹdilati yo awọn ohun elo silikoni polycrystalline ni agbegbe gaasi inert (argon) ati lilo ọna Czochralski lati dagba awọn kirisita ẹyọkan ti kii ṣe dislocated. O jẹ akọkọ ti awọn eto wọnyi:
Darí gbigbe eto
Eto gbigbe ẹrọ jẹ ẹrọ ṣiṣe ipilẹ ti ileru gara-ẹyọ kan, eyiti o jẹ iduro pataki fun ṣiṣakoso gbigbe ti awọn kirisita aticrucibles, pẹlu gbigbe ati yiyi ti awọn kirisita irugbin ati gbigbe ati yiyi ticrucibles. O le ṣatunṣe deede awọn aye bi ipo, iyara ati igun yiyi ti awọn kirisita ati awọn crucibles lati rii daju ilọsiwaju didan ti ilana idagbasoke gara. Fun apẹẹrẹ, ni oriṣiriṣi awọn ipele idagbasoke gara bi irugbin, ọrùn, ejika, idagba iwọn ila opin deede ati iru, gbigbe ti awọn kirisita irugbin ati awọn crucibles nilo lati ni iṣakoso ni deede nipasẹ eto yii lati pade awọn ibeere ilana ti idagbasoke gara.
Alapapo otutu iṣakoso eto
Eyi jẹ ọkan ninu awọn eto ipilẹ ti ileru gara kan ṣoṣo, eyiti o lo lati ṣe ina ooru ati ni deede ṣakoso iwọn otutu ninu ileru. O jẹ akọkọ ti awọn paati gẹgẹbi awọn igbona, awọn sensọ iwọn otutu, ati awọn olutona iwọn otutu. Awọn ti ngbona ti wa ni maa ṣe ti awọn ohun elo bi ga-mimọ lẹẹdi. Lẹhin ti awọn alternating ti isiyi ti wa ni yipada ati ki o dinku lati mu awọn ti isiyi, awọn ti ngbona gbogbo ooru lati yo polycrystalline ohun elo bi polysilicon ninu awọn crucible. Sensọ iwọn otutu ṣe abojuto awọn iyipada iwọn otutu ninu ileru ni akoko gidi ati gbe ifihan agbara iwọn otutu si oluṣakoso iwọn otutu. Olutọju iwọn otutu ni deede n ṣakoso agbara alapapo ni ibamu si awọn iwọn iwọn otutu ti a ṣeto ati ifihan iwọn otutu esi, nitorinaa mimu iduroṣinṣin ti iwọn otutu ninu ileru ati pese agbegbe iwọn otutu to dara fun idagbasoke gara.
Igbale eto
Iṣẹ akọkọ ti eto igbale ni lati ṣẹda ati ṣetọju agbegbe igbale ninu ileru lakoko ilana idagbasoke gara. Afẹfẹ ati awọn gaasi aimọ ninu ileru ni a fa jade nipasẹ awọn ifasoke igbale ati awọn ohun elo miiran lati jẹ ki titẹ gaasi ninu ileru de ipele kekere ti o kere pupọ, ni gbogbogbo labẹ 5TOR (torr). Eyi le ṣe idiwọ ohun elo ohun alumọni lati jẹ oxidized ni awọn iwọn otutu giga ati rii daju mimọ ati didara idagbasoke gara. Ni akoko kanna, agbegbe igbale tun jẹ itara lati yọkuro awọn idoti iyipada ti ipilẹṣẹ lakoko ilana idagbasoke gara ati imudarasi didara gara.
Argon eto
Eto argon ṣe ipa kan ni aabo ati ṣiṣakoso titẹ ninu ileru ninu ileru gara nikan. Lẹhin igbale, gaasi argon giga-mimọ (mimọ gbọdọ wa ni oke 6 9) ti kun sinu ileru. Ni ọna kan, o le ṣe idiwọ afẹfẹ ita lati wọ inu ileru ati ki o ṣe idiwọ awọn ohun elo silikoni lati jẹ oxidized; ni apa keji, kikun ti gaasi argon le ṣetọju titẹ ni iduroṣinṣin ileru ati pese agbegbe titẹ to dara fun idagbasoke gara. Ni afikun, ṣiṣan ti gaasi argon tun le mu ooru ti o waye lakoko ilana idagbasoke gara, ti nṣire ipa itutu agbaiye kan.
Omi itutu eto
Iṣẹ ti eto itutu agba omi ni lati tutu awọn oriṣiriṣi awọn ẹya iwọn otutu giga ti ileru garawa kan lati rii daju iṣẹ deede ati igbesi aye iṣẹ ti ẹrọ naa. Lakoko iṣẹ ti ileru garawa kan, ẹrọ ti ngbona,crucible, elekiturodu ati awọn miiran irinše yoo se ina kan pupo ti ooru. Ti wọn ko ba tutu ni akoko, ohun elo naa yoo gbona, dibajẹ tabi paapaa bajẹ. Eto omi itutu agbaiye gba ooru ti awọn paati wọnyi kuro nipasẹ gbigbe omi itutu agbaiye lati tọju iwọn otutu ohun elo laarin ibiti o ni aabo. Ni akoko kanna, eto itutu agba omi tun le ṣe iranlọwọ ni ṣatunṣe iwọn otutu ninu ileru lati mu iṣedede iṣakoso iwọn otutu dara.
Itanna Iṣakoso eto
Eto iṣakoso itanna jẹ “ọpọlọ” ti ileru garawa kan ṣoṣo, lodidi fun ibojuwo ati iṣakoso iṣẹ ti gbogbo ohun elo. O le gba awọn ifihan agbara lati oriṣiriṣi awọn sensọ, gẹgẹbi awọn sensọ iwọn otutu, awọn sensọ titẹ, awọn sensọ ipo, ati bẹbẹ lọ, ati ipoidojuko ati iṣakoso eto gbigbe ẹrọ, eto iṣakoso iwọn otutu alapapo, eto igbale, eto argon ati eto itutu omi ti o da lori awọn ifihan agbara wọnyi. Fun apẹẹrẹ, lakoko ilana idagbasoke gara, eto iṣakoso itanna le ṣatunṣe laifọwọyi agbara alapapo ni ibamu si ifihan iwọn otutu ti a jẹ pada nipasẹ sensọ iwọn otutu; ni ibamu si awọn idagba ti awọn gara, o le šakoso awọn ronu iyara ati yiyi igun ti awọn irugbin gara ati crucible. Ni akoko kanna, eto iṣakoso itanna tun ni ayẹwo aṣiṣe ati awọn iṣẹ itaniji, eyiti o le rii awọn ipo ajeji ti ohun elo ni akoko ati rii daju iṣẹ ailewu ti ẹrọ naa.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹsan-23-2024