Awọn ọkọ oju omi ayaworan, ti a tun mọ si awọn ọkọ oju omi graphite, ṣe ipa pataki ninu awọn ilana inira ti iṣelọpọ awọn ohun elo amọ semikondokito. Awọn ọkọ oju-omi amọja wọnyi ṣiṣẹ bi awọn gbigbe ti o ni igbẹkẹle fun awọn wafers semikondokito lakoko awọn itọju iwọn otutu giga, ni idaniloju sisẹ deede ati iṣakoso. Pẹlu awọn abuda alailẹgbẹ wọn ati awọn ohun elo wapọ,Awọn ọkọ oju omi ayaworanti di awọn irinṣẹ pataki ni ile-iṣẹ semikondokito. Jẹ ki a ṣawari awọn ẹya pataki ti o ṣeAwọn ọkọ oju omi ayaworanAwọn paati pataki ni iṣelọpọ awọn ohun elo amọ semikondokito.
1. Ifarada Ooru-giga:
Awọn ọkọ oju omi ayaworanti wa ni tiase lati ga-didara graphite ohun elo olokiki fun won exceptional ooru resistance. Iwa yii ngbanilaaye awọn ọkọ oju-omi Graphite lati koju awọn iwọn otutu to gaju ti o pade lakoko awọn ilana iṣelọpọ semikondokito, gẹgẹ bi ifisilẹ eeru kẹmika (CVD) ati ibora silikoni carbide. Agbara lati ṣetọju iduroṣinṣin igbekalẹ ati iduroṣinṣin onisẹpo labẹ awọn ipo igbona lile jẹ pataki fun aridaju deede ati iṣelọpọ semikondokito igbẹkẹle.
2. Kemikali ailagbara:
Graphite, ohun elo akọkọ ti a lo ninuAwọn ọkọ oju omi ayaworan, ṣe afihan ailagbara kemikali ti o lapẹẹrẹ, ti o jẹ ki o tako si ipata ati awọn aati kemikali. Iwa yii jẹ anfani ni pataki ni iṣelọpọ awọn ohun elo amọ semikondokito, nibiti awọn kẹmika lile ati awọn gaasi ifaseyin ti wa ni igbagbogbo lo. Awọn ọkọ oju omi ayaworan n pese agbegbe aabo fun awọn wafers semikondokito, idilọwọ ibajẹ ati aridaju mimọ ti ọja ikẹhin.
3. Iṣakoso Onisẹpo pato:
Awọn ọkọ oju omi ayaworanti wa ni atunse pẹlu konge lati gba semikondokito wafers ti o yatọ si titobi ati ni nitobi. Awọn aṣa isọdi wọn gba laaye fun iṣakoso iwọn to peye, ni idaniloju ibamu snug fun awọn wafers ati idinku eewu ti ibajẹ lakoko mimu ati sisẹ. Ipele ti konge yii jẹ pataki fun iyọrisi sisanra ti a bo aṣọ aṣọ ati deede idalẹnu ni awọn ilana iṣelọpọ semikondokito.
4. Iwapọ ni Awọn ohun elo:
Awọn ọkọ oju omi ayaworanwa lilo ni ibigbogbo ni ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ semikondokito, pẹlu epitaxy, itankale, annealing, ati ifisilẹ fiimu tinrin. Boya o n ṣe atilẹyin awọn wafers ohun alumọni lakoko ṣiṣe igbona tabi irọrun idagba ti awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial, Awọn ọkọ oju omi Graphite nfunni ni iwọn ati igbẹkẹle kọja awọn ohun elo oniruuru. Agbara wọn lati koju ifihan gigun si awọn iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ibajẹ jẹ ki wọn ṣe awọn irinṣẹ pataki ni iṣelọpọ awọn ohun elo amọ semikondokito.
5. Ibamu Ibamu Silicon Carbide:
Awọn ọkọ oju omi graphite jẹ ibamu daradara fun awọn ohun elo ti o kan awọn ohun elo silikoni carbide (SiC), paati pataki ninu awọn ẹrọ semikondokito to ti ni ilọsiwaju. Ibamu ti lẹẹdi pẹlu ohun alumọni carbide jẹ ki imudara ati ifisilẹ aṣọ ti awọn fẹlẹfẹlẹ SiC lori awọn sobusitireti semikondokito, imudara iṣẹ ẹrọ ati igbẹkẹle. Awọn ọkọ oju omi graphite ṣe ipa pataki ni irọrun ilana fifisilẹ, aridaju agbegbe aṣọ ati iṣakoso deede lori sisanra ti a bo.
Ni ipari, Awọn ọkọ oju omi Graphite ṣiṣẹ bi awọn paati pataki ni iṣelọpọ awọn ohun elo amọ semikondokito, nfunni ni akojọpọ alailẹgbẹ ti ifarada iwọn otutu giga, ailagbara kemikali, iṣakoso iwọn deede, ati ibamu pẹlu awọn ohun elo ohun alumọni carbide. Iwapọ ati igbẹkẹle wọn jẹ ki wọn ṣe awọn irinṣẹ pataki fun awọn ilana iṣelọpọ semikondokito, ti o mu ki iṣelọpọ ti awọn ohun elo semikondokito to gaju ati iṣẹ ṣiṣe giga. Bi imọ-ẹrọ semikondokito ti tẹsiwaju lati ni ilọsiwaju, awọn ọkọ oju omi Graphite yoo wa ni awọn ohun-ini ti ko ṣe pataki, imotuntun awakọ ati ilọsiwaju ninu ile-iṣẹ semikondokito.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 22-2024