Gẹgẹbi iru ohun elo semikondokito tuntun, SiC ti di ohun elo semikondokito pataki julọ fun iṣelọpọ awọn ẹrọ optoelectronic gigun kukuru, awọn ẹrọ iwọn otutu ti o ga, awọn ohun elo resistance itankalẹ ati awọn ẹrọ itanna giga / agbara giga nitori awọn ohun-ini ti ara ati kemikali ti o dara julọ ati itanna-ini. Paapa nigbati a lo labẹ awọn ipo lile ati lile, awọn abuda ti awọn ẹrọ SiC ti kọja ti awọn ẹrọ Si ati awọn ẹrọ GaAs. Nitorinaa, awọn ẹrọ SiC ati awọn oriṣiriṣi awọn sensọ ti di ọkan ninu awọn ẹrọ bọtini, ti n ṣe ipa pataki diẹ sii ati siwaju sii.
Awọn ẹrọ SiC ati awọn iyika ti ni idagbasoke ni iyara lati awọn ọdun 1980, paapaa lati ọdun 1989 nigbati wafer sobusitireti SiC akọkọ wọ ọja naa. Ni diẹ ninu awọn aaye, gẹgẹbi awọn diodes ti njade ina, agbara-igbohunsafẹfẹ giga-giga ati awọn ohun elo-giga, awọn ẹrọ SiC ti ni lilo pupọ ni iṣowo. Idagbasoke ni iyara. Lẹhin ti o fẹrẹ to ọdun 10 ti idagbasoke, ilana ẹrọ SiC ti ni anfani lati ṣe awọn ẹrọ iṣowo. Nọmba awọn ile-iṣẹ ti o jẹ aṣoju nipasẹ Cree ti bẹrẹ lati pese awọn ọja iṣowo ti awọn ẹrọ SiC. Awọn ile-ẹkọ iwadii inu ile ati awọn ile-ẹkọ giga ti tun ṣe awọn aṣeyọri itẹriba ninu idagbasoke ohun elo SiC ati imọ-ẹrọ iṣelọpọ ẹrọ. Botilẹjẹpe ohun elo SiC ni awọn ohun-ini ti ara ati kemikali ti o ga julọ, ati pe imọ-ẹrọ ẹrọ SiC tun dagba, ṣugbọn iṣẹ ti awọn ẹrọ SiC ati awọn iyika ko ga julọ. Ni afikun si ohun elo SiC ati ilana ẹrọ nilo lati ni ilọsiwaju nigbagbogbo. Awọn igbiyanju diẹ sii yẹ ki o fi sii lori bi o ṣe le lo anfani awọn ohun elo SiC nipa jijẹ igbekalẹ ẹrọ S5C tabi igbero igbekalẹ ẹrọ tuntun.
Ni asiko yi. Iwadi ti awọn ẹrọ SiC ni akọkọ fojusi lori awọn ẹrọ ọtọtọ. Fun iru ọna ẹrọ kọọkan, iwadii akọkọ ni lati nirọrun gbigbe ni ibamu Si tabi eto ẹrọ GaAs si SiC laisi iṣapeye igbekalẹ ẹrọ naa. Niwọn bi Layer oxide inu inu ti SiC jẹ kanna bii Si, eyiti o jẹ SiO2, o tumọ si pe ọpọlọpọ awọn ẹrọ Si, paapaa awọn ẹrọ m-pa, le ṣe iṣelọpọ lori SiC. Botilẹjẹpe o jẹ asopo ti o rọrun nikan, diẹ ninu awọn ẹrọ ti o gba ti ṣaṣeyọri awọn abajade itelorun, ati diẹ ninu awọn ẹrọ ti wọ ọja ile-iṣẹ tẹlẹ.
Awọn ẹrọ optoelectronic SiC, paapaa awọn diodes ina bulu ti njade (awọn LED BLU-ray), ti wọ ọja ni ibẹrẹ awọn ọdun 1990 ati pe o jẹ awọn ẹrọ SiC ti a ṣejade lọpọlọpọ. Awọn diodes SiC Schottky foliteji giga, awọn transistors agbara SiC RF, SiC MOSFETs ati mesFETs tun wa ni iṣowo. Nitoribẹẹ, iṣẹ ti gbogbo awọn ọja SiC wọnyi jinna lati ṣiṣe awọn abuda nla ti awọn ohun elo SiC, ati iṣẹ ti o lagbara ati iṣẹ ti awọn ẹrọ SiC tun nilo lati ṣe iwadii ati idagbasoke. Iru awọn asopo ti o rọrun nigbagbogbo ko le lo awọn anfani ti awọn ohun elo SiC ni kikun. Paapaa ni agbegbe diẹ ninu awọn anfani ti awọn ẹrọ SiC. Diẹ ninu awọn ẹrọ SiC ti a ṣelọpọ lakoko ko le baramu iṣẹ ti awọn ẹrọ Si tabi CaAs ti o baamu.
Lati le dara julọ awọn anfani ti awọn abuda ohun elo SiC sinu awọn anfani ti awọn ẹrọ SiC, a n ṣe ikẹkọ lọwọlọwọ bi o ṣe le mu ilana iṣelọpọ ẹrọ ati eto ẹrọ tabi dagbasoke awọn ẹya tuntun ati awọn ilana tuntun lati mu iṣẹ ati iṣẹ ti awọn ẹrọ SiC dara si.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-23-2022