Ibiyi ti ohun alumọni oloro lori dada ti ohun alumọni ni a npe ni ifoyina, ati awọn ẹda ti idurosinsin ati ki o strongly adherent ohun alumọni oloro yori si ibi ti ohun alumọni ese Circuit imo ero. Botilẹjẹpe awọn ọna lọpọlọpọ lo wa lati dagba silikoni oloro taara lori dada ti ohun alumọni, o jẹ igbagbogbo nipasẹ ifoyina gbona, eyiti o jẹ lati fi ohun alumọni han si agbegbe oxidizing otutu giga (atẹgun, omi). Awọn ọna ifoyina gbona le ṣakoso sisanra fiimu ati awọn abuda wiwo ohun alumọni / silikoni dioxide lakoko igbaradi ti awọn fiimu ohun alumọni. Awọn imọ-ẹrọ miiran fun idagbasoke ohun alumọni alumọni jẹ anodization pilasima ati anodization tutu, ṣugbọn ko si ninu awọn ilana wọnyi ti a ti lo ni lilo pupọ ni awọn ilana VLSI.
Ohun alumọni fihan ifarahan lati dagba ohun alumọni ohun alumọni iduroṣinṣin. Ti ohun alumọni ti a ti fọ tuntun ba farahan si agbegbe oxidizing (gẹgẹbi atẹgun, omi), yoo ṣe fẹlẹfẹlẹ oxide tinrin pupọ (<20Å) paapaa ni iwọn otutu yara. Nigbati ohun alumọni ba farahan si agbegbe oxidizing ni iwọn otutu giga, Layer oxide ti o nipon yoo jẹ ipilẹṣẹ ni oṣuwọn yiyara. Ilana ipilẹ ti iṣelọpọ silikoni dioxide lati ohun alumọni jẹ oye daradara. Deal ati Grove ṣe agbekalẹ awoṣe mathematiki kan ti o ṣapejuwe deede awọn agbara idagbasoke ti awọn fiimu oxide nipon ju 300Å. Wọn dabaa pe oxidation ni a ṣe ni ọna atẹle, iyẹn ni, oxidant (awọn ohun elo omi ati awọn ohun elo atẹgun) tan kaakiri nipasẹ Layer oxide ti o wa tẹlẹ si wiwo Si / SiO2, nibiti oxidant ṣe atunṣe pẹlu silikoni lati dagba silikoni dioxide. Idahun akọkọ lati dagba silikoni oloro jẹ apejuwe bi atẹle:
Ihuwasi ifoyina waye ni wiwo Si/SiO2, nitorinaa nigbati Layer oxide ba dagba, ohun alumọni ti njẹ nigbagbogbo ati pe wiwo naa maa gbogun si ohun alumọni. Gẹgẹbi iwuwo ti o baamu ati iwuwo molikula ti ohun alumọni ati silikoni oloro, o le rii pe ohun alumọni ti o jẹ fun sisanra ti Layer oxide ikẹhin jẹ 44%. Ni ọna yii, ti Layer oxide ba dagba 10,000Å, 4400Å ti silikoni yoo jẹ run. Ibasepo yii jẹ pataki fun oniṣiro iga ti awọn igbesẹ ti a ṣẹda loriohun alumọni wafer. Awọn igbesẹ jẹ abajade ti awọn oṣuwọn ifoyina oriṣiriṣi ni awọn aaye oriṣiriṣi lori dada wafer silikoni.
A tun pese lẹẹdi mimọ-giga ati awọn ọja ohun alumọni ohun alumọni, eyiti o lo pupọ ni sisẹ wafer bi ifoyina, itankale, ati annealing.
Kaabọ si awọn alabara eyikeyi lati gbogbo agbala aye lati ṣabẹwo si wa fun ijiroro siwaju!
https://www.vet-china.com/
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-13-2024