SILIKON WAFER

SILIKON WAFER

lati sitronic

Awaferjẹ bibẹ pẹlẹbẹ ti ohun alumọni aijọju milimita nipọn ti o ni dada alapin lalailopinpin o ṣeun si awọn ilana ti o nbeere ni imọ-ẹrọ pupọ. Lilo atẹle naa pinnu iru ilana didagba gara yẹ ki o lo. Ninu ilana Czochralski, fun apẹẹrẹ, ohun alumọni polycrystalline ti wa ni yo ati ki o pọn irugbin kristali-tinrin kan sinu ohun alumọni didà. Kirisita irugbin ti wa ni yiyi ati laiyara fa soke. Colossus ti o wuwo pupọ, monocrystal kan, awọn abajade. O ṣee ṣe lati yan awọn abuda itanna monocrystal nipa fifi awọn iwọn kekere ti awọn dopants mimọ-giga. Awọn kirisita ti wa ni doped ni ibamu pẹlu awọn alaye alabara ati lẹhinna didan ati ge sinu awọn ege. Lẹhin ọpọlọpọ awọn igbesẹ iṣelọpọ afikun, alabara gba awọn wafers pato rẹ ni apoti pataki, eyiti o fun laaye alabara lati lowaferlẹsẹkẹsẹ ni laini iṣelọpọ rẹ.

Loni, ipin nla ti awọn monocrystals silikoni ti dagba ni ibamu si ilana Czochralski, eyiti o jẹ pẹlu yo polycrystalline silikoni giga-mimọ ni ibi-ọgbẹ quartz hyperpure ati fifi dopant (nigbagbogbo B, P, Bi, Sb). Tinrin, kristali irugbin monocrystalline ti wa ni ribọ sinu ohun alumọni didà. Kirisita CZ nla kan lẹhinna ndagba lati inu kirisita tinrin yii. Ilana kongẹ ti iwọn otutu ohun alumọni didà ati sisan, gara ati iyipo crucible, bakanna bi awọn abajade iyara fifa gara gara ni ingot ohun alumọni monocrystalline didara ga julọ.