Silicon carbide gara idagbasoke ilana ati ẹrọ itanna

1. SiC gara ọna idagbasoke ọna ẹrọ

PVT (ọna imulẹ),

HTCVD (CVD otutu otutu),

LPE(ọna ipele olomi)

jẹ mẹta wọpọSiC kirisitaawọn ọna idagbasoke;

Ọna ti a mọ julọ ni ile-iṣẹ ni ọna PVT, ati diẹ sii ju 95% ti awọn kirisita SiC nikan ni a dagba nipasẹ ọna PVT;

Ti iṣelọpọSiC kirisitaileru idagba nlo ipa ọna imọ-ẹrọ PVT akọkọ ti ile-iṣẹ naa.

2. SiC gara idagbasoke ilana

Iṣajọpọ lulú-irugbin kristali itọju-idagbasoke kirisita-ingot annealing-waferprocessing.

3. PVT ọna lati dagbaAwọn kirisita SiC

Awọn ohun elo aise SiC ti wa ni gbe ni isalẹ ti lẹẹdi crucible, ati awọn SiC irugbin gara wa ni oke ti lẹẹdi crucible. Nipa ṣiṣatunṣe idabobo, iwọn otutu ni ohun elo aise SiC ga julọ ati pe iwọn otutu ni kristali irugbin dinku. Awọn ohun elo aise ti SiC ni awọn iwọn otutu ti o ga julọ ati pe o bajẹ sinu awọn nkan ipele gaasi, eyiti a gbe lọ si gara irugbin pẹlu iwọn otutu kekere ati crystallize lati dagba awọn kirisita SiC. Ilana idagbasoke ipilẹ pẹlu awọn ilana mẹta: jijẹ ati sublimation ti awọn ohun elo aise, gbigbe pupọ, ati crystallization lori awọn kirisita irugbin.

Ibajẹ ati sublimation ti awọn ohun elo aise:

SiC(S)=Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g)+ SiC2(g)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(g)

Lakoko gbigbe pupọ, Si vapor tun ṣe atunṣe pẹlu ogiri crucible graphite lati ṣe SiC2 ati Si2C:

Si(g)+2C(S) =SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

Lori dada ti kristali irugbin, awọn ipele gaasi mẹta dagba nipasẹ awọn agbekalẹ meji wọnyi lati ṣe awọn kirisita carbide ohun alumọni:

SiC2_(g)+ Si2C_(g)= 3SiC_(awọn)

Si_(g)+SiC2_(g)= 2SiC_(S)

4. Ọna PVT lati dagba ọna ẹrọ idagbasoke ohun elo SiC gara

Lọwọlọwọ, alapapo fifa irọbi jẹ ọna imọ-ẹrọ ti o wọpọ fun ọna PVT SiC awọn ileru idagbasoke gara;

Alapapo ifasilẹ itagbangba okun ati alapapo graphite jẹ itọsọna idagbasoke tiSiC kirisitaawọn ileru idagbasoke.

5. 8-inch SiC fifa irọbi alapapo ileru

(1) Alapapo awọnlẹẹdi crucible alapapo anonipasẹ fifa irọbi aaye oofa; ṣiṣatunṣe aaye iwọn otutu nipa ṣiṣatunṣe agbara alapapo, ipo okun, ati eto idabobo;

(2) Alapapo awọn lẹẹdi crucible nipasẹ lẹẹdi resistance alapapo ati ki o gbona Ìtọjú conduction; Ṣiṣakoso aaye iwọn otutu nipa ṣiṣatunṣe lọwọlọwọ ti ẹrọ igbona lẹẹdi, eto ti igbona, ati iṣakoso lọwọlọwọ agbegbe;