Wafergige jẹ ọkan ninu awọn ọna asopọ pataki ni iṣelọpọ semikondokito agbara. Igbesẹ yii jẹ apẹrẹ lati yapa deede awọn iyika iṣọpọ kọọkan tabi awọn eerun igi lati awọn wafers semikondokito.
Awọn bọtini latiwafergige ni lati ni anfani lati ya awọn eerun kọọkan lọtọ lakoko ṣiṣe idaniloju pe awọn ẹya elege ati awọn iyika ti a fi sii ninuwaferko baje. Aṣeyọri tabi ikuna ti ilana gige kii ṣe nikan ni ipa lori didara iyapa ati ikore ti ërún, ṣugbọn tun ni ibatan taara si ṣiṣe ti gbogbo ilana iṣelọpọ.
▲ Meta wọpọ orisi ti wafer gige | Orisun: KLA CHINA
Lọwọlọwọ, awọn wọpọwaferAwọn ilana gige ti pin si:
Ige abẹfẹlẹ: idiyele kekere, nigbagbogbo lo fun niponwafers
Ige lesa: idiyele giga, nigbagbogbo lo fun awọn wafers pẹlu sisanra ti diẹ sii ju 30μm
Ige pilasima: idiyele giga, awọn ihamọ diẹ sii, nigbagbogbo lo fun awọn wafers pẹlu sisanra ti o kere ju 30μm
Ige abẹfẹlẹ darí
Ige abẹfẹlẹ jẹ ilana ti gige lẹgbẹẹ laini akọwe nipasẹ disiki lilọ yiyi-giga (abẹfẹlẹ). Awọn abẹfẹlẹ jẹ igbagbogbo ti abrasive tabi ohun elo diamond tinrin, o dara fun gige tabi gige lori awọn wafers silikoni. Bibẹẹkọ, gẹgẹ bi ọna gige ẹrọ, gige abẹfẹlẹ da lori yiyọ ohun elo ti ara, eyiti o le ni irọrun ja si chipping tabi didan eti ërún, nitorinaa ni ipa lori didara ọja ati idinku ikore.
Didara ọja ikẹhin ti a ṣe nipasẹ ilana wiwa ẹrọ ẹrọ ni ipa nipasẹ awọn ayeraye pupọ, pẹlu iyara gige, sisanra abẹfẹlẹ, iwọn ila opin abẹfẹlẹ, ati iyara yiyi abẹfẹlẹ.
Gige ni kikun jẹ ọna gige abẹfẹlẹ ipilẹ julọ, eyiti o ge iṣẹ-ṣiṣe patapata nipa gige si ohun elo ti o wa titi (gẹgẹbi teepu slicing).
▲ Mechanical abẹfẹlẹ Ige-kikun gige | Nẹtiwọọki orisun aworan
Idaji gige jẹ ọna ṣiṣe ti o ṣe agbejade yara kan nipa gige si aarin iṣẹ-iṣẹ naa. Nipa ṣiṣe ilana idọti nigbagbogbo, comb ati awọn aaye ti o ni apẹrẹ abẹrẹ le ṣejade.
▲ Mechanical abẹfẹlẹ Ige-idaji gige | Nẹtiwọọki orisun aworan
Ige ilọpo meji jẹ ọna ṣiṣe ti o nlo wiwọn ilọpo meji pẹlu awọn ọpa meji lati ṣe awọn gige ni kikun tabi idaji lori awọn laini iṣelọpọ meji ni akoko kanna. Awọn meji slicing ri ni o ni meji spindle àáké. Imudara giga le ṣee ṣe nipasẹ ilana yii.
▲ Mechanical abẹfẹlẹ Ige-ė ge | Nẹtiwọọki orisun aworan
Ige-igbesẹ nlo wiwọn ilọpo meji pẹlu awọn ọpa meji lati ṣe awọn gige ni kikun ati idaji ni awọn ipele meji. Lo awọn abẹfẹlẹ iṣapeye fun gige Layer onirin lori dada ti wafer ati awọn abẹfẹlẹ iṣapeye fun ohun alumọni ohun alumọni ti o ku lati ṣaṣeyọri sisẹ didara ga.
▲ Mechanical abẹfẹlẹ Ige – igbese gige | Nẹtiwọọki orisun aworan
Ige Bevel jẹ ọna ṣiṣe ti o lo abẹfẹlẹ kan pẹlu eti ti o ni apẹrẹ V lori eti gige idaji lati ge wafer ni awọn ipele meji lakoko ilana gige igbesẹ. Ilana chamfering ni a ṣe lakoko ilana gige. Nitorinaa, agbara mimu giga ati sisẹ didara ga ni a le ṣaṣeyọri.
▲ Mechanical abẹfẹlẹ Ige – bevel Ige | Nẹtiwọọki orisun aworan
Ige lesa
Ige lesa jẹ imọ-ẹrọ gige wafer ti kii ṣe olubasọrọ ti o nlo ina ina lesa ti o ni idojukọ lati ya awọn eerun kọọkan kuro lati awọn wafers semikondokito. Awọn ina ina lesa ti o ni agbara ti o ga julọ ti wa ni idojukọ lori oju ti wafer ati ki o yọ kuro tabi yọ awọn ohun elo kuro pẹlu laini gige ti a ti pinnu tẹlẹ nipasẹ ablation tabi awọn ilana jijẹ gbona.
▲ Lesa gige aworan atọka | Orisun aworan: KLA CHINA
Awọn oriṣi ti awọn lesa ti o gbajumo ni lilo lọwọlọwọ pẹlu awọn lesa ultraviolet, awọn ina infurarẹẹdi, ati awọn lesa femtosecond. Lara wọn, awọn lesa ultraviolet nigbagbogbo ni a lo fun ablation tutu deede nitori agbara photon giga wọn, ati agbegbe ti o kan ooru jẹ kekere pupọ, eyiti o le dinku eewu ibaje gbona si wafer ati awọn eerun agbegbe rẹ daradara. Awọn laser infurarẹẹdi dara julọ fun awọn wafers ti o nipọn nitori wọn le wọ inu jinna sinu ohun elo naa. Awọn lasers Femtosecond ṣaṣeyọri pipe-giga ati yiyọ ohun elo daradara pẹlu gbigbe igbona ti o fẹrẹẹ jẹ aifiyesi nipasẹ awọn isọ ina ultrashort.
Ige lesa ni awọn anfani pataki lori gige abẹfẹlẹ ibile. Ni akọkọ, gẹgẹbi ilana ti kii ṣe olubasọrọ, gige laser ko nilo titẹ ti ara lori wafer, idinku idinku ati awọn iṣoro fifọ ni wọpọ ni gige ẹrọ. Ẹya yii jẹ ki gige ina lesa ni pataki fun sisẹ ẹlẹgẹ tabi awọn wafers tinrin, ni pataki awọn ti o ni awọn ẹya eka tabi awọn ẹya to dara.
▲ Lesa gige aworan atọka | Nẹtiwọọki orisun aworan
Ni afikun, iṣedede giga ati deede ti gige laser jẹ ki o dojukọ tan ina lesa si iwọn aaye kekere ti o kere pupọ, ṣe atilẹyin awọn ilana gige idiju, ati ṣaṣeyọri ipinya ti aye to kere julọ laarin awọn eerun igi. Ẹya yii ṣe pataki ni pataki fun awọn ẹrọ semikondokito ti ilọsiwaju pẹlu awọn iwọn idinku.
Sibẹsibẹ, gige laser tun ni diẹ ninu awọn idiwọn. Ti a ṣe afiwe pẹlu gige abẹfẹlẹ, o lọra ati gbowolori diẹ sii, paapaa ni iṣelọpọ iwọn-nla. Ni afikun, yiyan iru laser ti o tọ ati awọn igbelewọn iṣapeye lati rii daju yiyọ ohun elo ti o munadoko ati agbegbe agbegbe ti o kan ooru le jẹ nija fun awọn ohun elo ati awọn sisanra.
Lesa ablation gige
Lakoko gige ablation laser, ina ina lesa ti dojukọ deede lori ipo ti a sọ pato lori dada wafer, ati pe agbara ina lesa ni itọsọna ni ibamu si apẹrẹ gige ti a ti pinnu tẹlẹ, gige ni diėdiė nipasẹ wafer si isalẹ. Ti o da lori awọn ibeere gige, iṣẹ yii ni a ṣe ni lilo laser pulsed tabi lesa igbi ti o tẹsiwaju. Lati ṣe idiwọ ibajẹ si wafer nitori alapapo agbegbe ti o pọ julọ ti lesa, a lo omi itutu lati tutu ati daabobo wafer lati ibajẹ gbona. Ni akoko kanna, omi itutu agbaiye tun le yọkuro awọn patikulu ti ipilẹṣẹ lakoko ilana gige, ṣe idiwọ ibajẹ ati rii daju didara gige.
Lesa alaihan Ige
Lesa le tun wa ni idojukọ lati gbe ooru sinu ara akọkọ ti wafer, ọna ti a npe ni "Ige laser alaihan". Fun ọna yii, ooru lati ina lesa ṣẹda awọn ela ni awọn ọna akọwe. Awọn agbegbe ailagbara wọnyi lẹhinna ṣaṣeyọri iru ipa ilaluja kan nipa fifọ nigba ti wafer ti na.
▲ Ilana akọkọ ti gige alaihan lesa
Ilana gige alaihan jẹ ilana imudani lesa ti inu, kuku ju ablation laser nibiti a ti gba lesa lori dada. Pẹlu gige alaihan, agbara ina ina lesa pẹlu gigun gigun ti o jẹ ologbele-sihin si ohun elo sobusitireti wafer ti lo. Ilana naa ti pin si awọn igbesẹ akọkọ meji, ọkan jẹ ilana ti o da lori laser, ati ekeji jẹ ilana iyapa ẹrọ.
▲ Awọn ina ina lesa ṣẹda perforation ni isalẹ awọn wafer dada, ati awọn iwaju ati ki o ẹhin ẹgbẹ ko ni kan | Nẹtiwọọki orisun aworan
Ni igbesẹ akọkọ, bi ina ina lesa ṣe n ṣayẹwo wafer, ina ina lesa dojukọ aaye kan pato inu wafer, ti o ṣe aaye fifọ inu. Agbara ina nfa ọpọlọpọ awọn dojuijako lati dagba inu, eyiti ko tii gbooro nipasẹ gbogbo sisanra ti wafer si awọn ipele oke ati isalẹ.
▲ Ifiwera ti 100μm nipọn silikoni wafers ge nipasẹ ọna abẹfẹlẹ ati ọna gige alaihan lesa | Nẹtiwọọki orisun aworan
Ni igbesẹ keji, teepu ërún ti o wa ni isalẹ ti wafer ti wa ni ti ara, eyi ti o fa aapọn fifẹ ni awọn dojuijako inu wafer, eyiti o fa ni ilana laser ni igbesẹ akọkọ. Iṣoro yii nfa awọn dojuijako lati fa ni inaro si oke ati isalẹ ti wafer, ati lẹhinna ya wafer si awọn eerun igi pẹlu awọn aaye gige wọnyi. Ni gige alaihan, gige-idaji tabi gige-idaji-isalẹ ni a maa n lo lati dẹrọ iyapa ti wafers sinu awọn eerun tabi awọn eerun igi.
Awọn anfani bọtini ti gige laser alaihan lori ablation laser:
• Ko si coolant beere
Ko si idoti ti ipilẹṣẹ
• Ko si awọn agbegbe ti o kan ooru ti o le ba awọn iyika ifura jẹ
Pilasima gige
Ige pilasima (ti a tun mọ ni pilasima etching tabi gbigbe gbigbe) jẹ imọ-ẹrọ gige gige wafer ti ilọsiwaju ti o lo ifaseyin ion etching (RIE) tabi ion etching ifaseyin jinlẹ (DRIE) lati ya awọn eerun kọọkan kuro lati awọn wafers semikondokito. Imọ-ẹrọ ṣe aṣeyọri gige nipasẹ yiyọ ohun elo kemikali kuro pẹlu awọn laini gige ti a ti pinnu tẹlẹ nipa lilo pilasima.
Lakoko ilana gige pilasima, wafer semikondokito ni a gbe sinu iyẹwu igbale, idapọ gaasi ifaseyin ti iṣakoso ni a ṣe sinu iyẹwu naa, ati pe a lo aaye ina lati ṣe pilasima ti o ni ifọkansi giga ti awọn ions ifaseyin ati awọn ipilẹṣẹ. Awọn eya ifaseyin wọnyi ṣe ajọṣepọ pẹlu ohun elo wafer ati yiyan awọn ohun elo wafer kuro ni laini akọwe nipasẹ apapọ iṣesi kemikali ati itọjade ti ara.
Anfani akọkọ ti gige pilasima ni pe o dinku aapọn ẹrọ lori wafer ati ërún ati dinku awọn ibajẹ ti o pọju ti o fa nipasẹ olubasọrọ ti ara. Sibẹsibẹ, ilana yii jẹ eka sii ati akoko-n gba ju awọn ọna miiran lọ, paapaa nigbati o ba n ṣe pẹlu awọn wafers ti o nipọn tabi awọn ohun elo pẹlu resistance etching giga, nitorinaa ohun elo rẹ ni iṣelọpọ ibi-pupọ jẹ opin.
▲ Nẹtiwọọki orisun aworan
Ninu iṣelọpọ semikondokito, ọna gige wafer nilo lati yan da lori ọpọlọpọ awọn ifosiwewe, pẹlu awọn ohun-ini ohun elo wafer, iwọn chirún ati jiometirika, deede ati deede ti o nilo, ati idiyele iṣelọpọ gbogbogbo ati ṣiṣe.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹsan-20-2024