Awọn ipilẹ lẹẹdi ti SiC ti a bo ni igbagbogbo lo lati ṣe atilẹyin ati ki o gbona awọn sobusitireti gara-ẹyọkan ninu ohun elo oru eeru kẹmika ti irin-Organic (MOCVD). Iduroṣinṣin igbona, isokan gbona ati awọn aye iṣẹ miiran ti ipilẹ graphite ti a bo SiC ṣe ipa ipinnu ni didara idagbasoke ohun elo epitaxial, nitorinaa o jẹ paati bọtini mojuto ti ohun elo MOCVD.
Ninu ilana iṣelọpọ wafer, awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial ti wa ni itumọ siwaju lori diẹ ninu awọn sobusitireti wafer lati dẹrọ iṣelọpọ awọn ẹrọ. Awọn ẹrọ ina-emitting LED aṣoju nilo lati mura awọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial ti GaAs lori awọn sobusitireti ohun alumọni; Layer SiC epitaxial ti dagba lori sobusitireti SiC conductive fun ikole awọn ẹrọ bii SBD, MOSFET, ati bẹbẹ lọ, fun foliteji giga, lọwọlọwọ giga ati awọn ohun elo agbara miiran; Layer GaN epitaxial jẹ ti a ṣe lori sobusitireti SiC ologbele-idaabobo lati kọ siwaju HEMT ati awọn ẹrọ miiran fun awọn ohun elo RF gẹgẹbi ibaraẹnisọrọ. Ilana yii ko ṣe iyatọ si awọn ohun elo CVD.
Ninu ohun elo CVD, sobusitireti ko le gbe taara sori irin tabi nirọrun gbe sori ipilẹ fun ifisilẹ epitaxial, nitori pe o kan sisan gaasi (petele, inaro), iwọn otutu, titẹ, imuduro, sisọ awọn idoti ati awọn apakan miiran ti awọn okunfa ipa. Nitorinaa, o jẹ dandan lati lo ipilẹ kan, lẹhinna gbe sobusitireti sori disiki naa, ati lẹhinna lo imọ-ẹrọ CVD si ifisilẹ epitaxial lori sobusitireti, eyiti o jẹ ipilẹ graphite ti a bo SiC (ti a tun mọ ni atẹ).
Awọn ipilẹ lẹẹdi ti SiC ti a bo ni igbagbogbo lo lati ṣe atilẹyin ati ki o gbona awọn sobusitireti gara-ẹyọkan ninu ohun elo oru eeru kẹmika ti irin-Organic (MOCVD). Iduroṣinṣin igbona, isokan gbona ati awọn aye iṣẹ miiran ti ipilẹ graphite ti a bo SiC ṣe ipa ipinnu ni didara idagbasoke ohun elo epitaxial, nitorinaa o jẹ paati bọtini mojuto ti ohun elo MOCVD.
Iṣagbejade oru kemikali ti irin-Organic (MOCVD) jẹ imọ-ẹrọ akọkọ fun idagbasoke epitaxial ti awọn fiimu GaN ni LED buluu. O ni awọn anfani ti iṣiṣẹ ti o rọrun, oṣuwọn idagbasoke iṣakoso ati mimọ giga ti awọn fiimu GaN. Gẹgẹbi paati pataki ninu iyẹwu ifarabalẹ ti ohun elo MOCVD, ipilẹ gbigbe ti a lo fun GaN fiimu epitaxial idagbasoke nilo lati ni awọn anfani ti resistance otutu giga, imudara igbona aṣọ, iduroṣinṣin kemikali ti o dara, resistance mọnamọna gbona gbona, bbl Awọn ohun elo Graphite le pade awọn loke awọn ipo.
Gẹgẹbi ọkan ninu awọn paati pataki ti ohun elo MOCVD, ipilẹ lẹẹdi jẹ ti ngbe ati ara alapapo ti sobusitireti, eyiti o pinnu taara iṣọkan ati mimọ ti ohun elo fiimu, nitorinaa didara rẹ taara ni ipa lori igbaradi ti iwe epitaxial, ati ni kanna. akoko, pẹlu ilosoke ti nọmba awọn lilo ati iyipada awọn ipo iṣẹ, o rọrun pupọ lati wọ, ti o jẹ ti awọn ohun elo.
Botilẹjẹpe graphite ni adaṣe igbona ti o dara julọ ati iduroṣinṣin, o ni anfani ti o dara bi paati ipilẹ ti ohun elo MOCVD, ṣugbọn ninu ilana iṣelọpọ, graphite yoo ba lulú jẹ nitori iyokuro ti awọn gaasi ipata ati awọn ohun-ara ti fadaka, ati igbesi aye iṣẹ ti graphite mimọ yoo dinku pupọ. Ni akoko kanna, lulú graphite ti o ṣubu yoo fa idoti si ërún.
Ifarahan ti imọ-ẹrọ ti a bo le pese imuduro iyẹfun dada, mu imudara igbona pọ si, ati iwọntunwọnsi pinpin ooru, eyiti o ti di imọ-ẹrọ akọkọ lati yanju iṣoro yii. Ipilẹ ayaworan ni agbegbe lilo ohun elo MOCVD, ibora dada ipilẹ graphite yẹ ki o pade awọn abuda wọnyi:
(1) Awọn graphite mimọ le ti wa ni kikun ti a we, ati awọn iwuwo ti o dara, bibẹkọ ti awọn graphite mimọ jẹ rorun lati wa ni corroded ninu awọn ibajẹ gaasi.
(2) Agbara apapo pẹlu ipilẹ graphite jẹ giga lati rii daju pe ideri ko rọrun lati ṣubu lẹhin ọpọlọpọ awọn iwọn otutu giga ati awọn iwọn otutu kekere.
(3) O ni iduroṣinṣin kemikali to dara lati yago fun ikuna ti a bo ni iwọn otutu giga ati oju-aye ibajẹ.
SiC ni o ni awọn anfani ti ipata resistance, ga gbona elekitiriki, gbona mọnamọna resistance ati ki o ga kemikali iduroṣinṣin, ati ki o le ṣiṣẹ daradara ni GaN epitaxial bugbamu. Ni afikun, olùsọdipúpọ igbona igbona ti SiC yatọ pupọ diẹ si ti graphite, nitorinaa SiC jẹ ohun elo ti o fẹ julọ fun ibora dada ti ipilẹ graphite.
Ni lọwọlọwọ, SiC ti o wọpọ jẹ nipataki 3C, 4H ati iru 6H, ati awọn lilo SiC ti awọn oriṣiriṣi awọn oriṣi gara yatọ. Fun apẹẹrẹ, 4H-SiC le ṣe awọn ẹrọ agbara-giga; 6H-SiC jẹ iduroṣinṣin julọ ati pe o le ṣe awọn ẹrọ fọtoelectric; Nitori eto ti o jọra si GaN, 3C-SiC le ṣee lo lati ṣe agbejade Layer epitaxial GaN ati ṣe awọn ẹrọ SiC-GaN RF. 3C-SiC tun jẹ olokiki bi β-SiC, ati lilo pataki ti β-SiC jẹ fiimu ati ohun elo ti a bo, nitorinaa β-SiC jẹ ohun elo akọkọ fun ibora.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-04-2023