Yatọ si awọn ẹrọ ọtọtọ S1C eyiti o lepa foliteji giga, agbara giga, igbohunsafẹfẹ giga ati awọn abuda iwọn otutu giga, ibi-afẹde iwadii ti Circuit Integration SiC jẹ pataki lati gba Circuit oni-nọmba iwọn otutu giga fun iṣakoso iṣakoso ICs agbara oye. Bii iyika iṣọpọ SiC fun aaye ina ti inu jẹ kekere pupọ, nitorinaa ipa ti abawọn microtubules yoo dinku pupọ, eyi ni nkan akọkọ ti monolithic SiC integration ampilifaya ampilifaya ti jẹrisi, ọja ti o pari gangan ati ipinnu nipasẹ ikore jẹ ga julọ. ju awọn abawọn microtubules, nitorina, ti o da lori awoṣe ikore SiC ati ohun elo Si ati CaAs jẹ iyatọ ti o han gbangba. Chirún naa da lori imọ-ẹrọ NMOSFET idinku. Idi akọkọ ni pe gbigbe gbigbe ti o munadoko ti ikanni yiyipada SiC MOSFETs ti lọ silẹ ju. Lati le ni ilọsiwaju iṣipopada dada ti Sic, o jẹ dandan lati ni ilọsiwaju ati imudara ilana ilana ifoyina gbona ti Sic.
Ile-ẹkọ giga Purdue ti ṣe ọpọlọpọ iṣẹ lori awọn iyika iṣọpọ SiC. Ni ọdun 1992, ile-iṣẹ ti ni idagbasoke ni aṣeyọri ti o da lori ikanni yiyipada 6H-SIC NMOSFETs monolithic digital inte circuit. Chip naa ni kii ṣe ẹnu-bode, tabi kii ṣe ẹnu-ọna, lori tabi ẹnu-ọna, counter alakomeji, ati awọn iyika paramọlẹ idaji ati pe o le ṣiṣẹ daradara ni iwọn otutu ti 25°C si 300°C. Ni ọdun 1995, ọkọ ofurufu SiC akọkọ MESFET Ics ni a ṣe ni lilo imọ-ẹrọ ipinya abẹrẹ vanadium. Nipa ṣiṣakoso ni deede iye ti vanadium itasi, SiC idabobo le ṣee gba.
Ni awọn iyika kannaa oni-nọmba, awọn iyika CMOS jẹ ẹwa diẹ sii ju awọn iyika NMOS lọ. Ni Oṣu Kẹsan ọdun 1996, akọkọ 6H-SIC CMOS oni-nọmba iṣọpọ oni-nọmba jẹ iṣelọpọ. Awọn ẹrọ nlo itasi N-ibere ati ohun elo afẹfẹ Layer, ṣugbọn nitori awọn miiran ilana isoro, ni ërún PMOSFETs foliteji ala ga ju. Ni Oṣu Kẹta ọdun 1997 nigbati iṣelọpọ iran keji SiC CMOS Circuit. Awọn ọna ẹrọ ti abẹrẹ P pakute ati ki o gbona idagba oxide Layer ti wa ni gba. Foliteji ala ti awọn PMOSEFT ti o gba nipasẹ ilọsiwaju ilana jẹ nipa -4.5V. Gbogbo awọn iyika lori chirún ṣiṣẹ daradara ni iwọn otutu yara to 300 ° C ati pe o ni agbara nipasẹ ipese agbara kan, eyiti o le wa nibikibi lati 5 si 15V.
Pẹlu ilọsiwaju ti didara wafer sobusitireti, iṣẹ ṣiṣe diẹ sii ati awọn iyika iṣọpọ ikore giga yoo ṣee ṣe. Bibẹẹkọ, nigbati ohun elo SiC ati awọn iṣoro ilana ba ni ipilẹ, igbẹkẹle ti ẹrọ ati package yoo di ifosiwewe akọkọ ti o kan iṣẹ ṣiṣe ti awọn iyika iṣọpọ SiC iwọn otutu giga.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-23-2022