Iṣagbejade oru kemikali(CVD)jẹ imọ-ẹrọ ti o gbajumo julọ ni ile-iṣẹ semikondokito fun fifipamọ ọpọlọpọ awọn ohun elo, pẹlu ọpọlọpọ awọn ohun elo idabobo, awọn ohun elo irin pupọ ati awọn ohun elo alloy irin.
CVD jẹ imọ-ẹrọ igbaradi fiimu tinrin ibile. Ilana rẹ ni lati lo awọn iṣaju gaseous lati decompose awọn paati kan ninu iṣaju nipasẹ awọn aati kemikali laarin awọn ọta ati awọn moleku, ati lẹhinna ṣe fiimu tinrin lori sobusitireti. Awọn abuda ipilẹ ti CVD ni: awọn iyipada kemikali (awọn aati kemikali tabi jijẹ igbona); gbogbo awọn ohun elo ti o wa ninu fiimu naa wa lati awọn orisun ita; reactants gbọdọ kopa ninu ifaseyin ni awọn fọọmu ti gaasi alakoso.
Ipilẹ ikemi kemika kekere titẹ (LPCVD), pilasima imudara ifasilẹ atumọ kemikali pilasima (PECVD) ati iwuwo pilasima pilasima pilasima pilasima giga (HDP-CVD) jẹ awọn imọ-ẹrọ CVD mẹta ti o wọpọ, eyiti o ni awọn iyatọ nla ninu ifisilẹ ohun elo, awọn ibeere ohun elo, awọn ipo ilana, bbl Awọn atẹle jẹ alaye ti o rọrun ati lafiwe ti awọn imọ-ẹrọ mẹta wọnyi.
1. LPCVD (CVD Titẹ Kekere)
Ilana: Ilana CVD labẹ awọn ipo titẹ kekere. Ilana rẹ ni lati fa gaasi ifaseyin sinu iyẹwu ifaseyin labẹ igbale tabi agbegbe titẹ kekere, decompose tabi fesi gaasi nipasẹ iwọn otutu giga, ati ṣe fiimu ti o lagbara ti a gbe sori dada sobusitireti. Niwọn igba ti titẹ kekere dinku ijamba gaasi ati rudurudu, iṣọkan ati didara fiimu naa dara si. LPCVD jẹ lilo pupọ ni silicon dioxide (LTO TEOS), silicon nitride (Si3N4), polysilicon (POLY), gilasi phosphosilicate (BSG), gilasi borophosphosilicate (BPSG), polysilicon doped, graphene, carbon nanotubes ati awọn fiimu miiran.
Awọn ẹya:
▪ Iwọn otutu ilana: nigbagbogbo laarin 500 ~ 900 ° C, iwọn otutu ilana jẹ giga;
▪ Iwọn titẹ gaasi: agbegbe titẹ kekere ti 0.1 ~ 10 Torr;
▪ Didara fiimu: didara ga, isokan ti o dara, iwuwo to dara, ati awọn abawọn diẹ;
▪ Ìwọ̀n ìfipamọ́: ìwọ̀n ìfipamọ́ lọ́ra;
▪ Isokan: o dara fun awọn sobusitireti titobi nla, ifisilẹ aṣọ;
Awọn anfani ati awọn alailanfani:
▪ Le fi aṣọ aṣọ ati awọn fiimu ipon silẹ pupọ;
▪ Ṣiṣẹ daradara lori awọn sobusitireti titobi nla, o dara fun iṣelọpọ pupọ;
▪ Iye owo kekere;
▪ Iwọn otutu ti o ga, ko dara fun awọn ohun elo ti o ni igbona;
▪ Oṣuwọn fifisilẹ lọra ati pe ohun ti o jade jẹ kekere diẹ.
2. PECVD (CVD Imudara Plasma)
Ilana: Lo pilasima lati mu awọn aati ipele gaasi ṣiṣẹ ni awọn iwọn otutu kekere, ionize ati decompose awọn ohun elo inu gaasi ifaseyin, ati lẹhinna fi awọn fiimu tinrin sori dada sobusitireti. Agbara pilasima le dinku iwọn otutu ti o nilo fun iṣesi, ati pe o ni ọpọlọpọ awọn ohun elo. Orisirisi awọn fiimu irin, awọn fiimu inorganic ati awọn fiimu Organic ni a le pese.
Awọn ẹya:
▪ Iwọn otutu ilana: nigbagbogbo laarin 200 ~ 400 ° C, iwọn otutu jẹ kekere;
▪ Iwọn titẹ gaasi: nigbagbogbo awọn ọgọọgọrun mTorr si ọpọlọpọ Torr;
▪ Didara fiimu: botilẹjẹpe iṣọkan fiimu dara, iwuwo ati didara fiimu naa ko dara bi LPCVD nitori awọn abawọn ti o le ṣafihan nipasẹ pilasima;
▪ Oṣuwọn idasile: oṣuwọn giga, ṣiṣe iṣelọpọ giga;
▪ Ìṣọ̀kan: Díẹ̀ rẹlẹ̀ sí LPCVD lórí àwọn sobusitireti títóbi;
Awọn anfani ati awọn alailanfani:
▪ Awọn fiimu tinrin le wa ni ipamọ ni awọn iwọn otutu kekere, ti o dara fun awọn ohun elo ti o ni igbona;
▪ Iyara ifisilẹ iyara, o dara fun iṣelọpọ daradara;
▪ Ilana ti o ni irọrun, awọn ohun-ini fiimu le jẹ iṣakoso nipasẹ ṣiṣe atunṣe awọn paramita pilasima;
▪ Plasma le ṣafihan awọn abawọn fiimu gẹgẹbi awọn pinholes tabi ti kii ṣe isokan;
▪ Ni ifiwera pẹlu LPCVD, iwuwo fiimu ati didara jẹ diẹ buru.
3. HDP-CVD (CVD pilasima iwuwo giga)
Ilana: Imọ-ẹrọ PECVD pataki kan. HDP-CVD (tun mọ bi ICP-CVD) le ṣe agbejade iwuwo pilasima ti o ga julọ ati didara ju ohun elo PECVD ti aṣa ni awọn iwọn otutu ifisilẹ kekere. Ni afikun, HDP-CVD n pese ṣiṣan ion ominira ti o fẹrẹẹ jẹ ati iṣakoso agbara, imudara yàrà tabi awọn agbara kikun iho fun wiwa wiwa fiimu, gẹgẹbi awọn aṣọ atako-itumọ, ifisilẹ ohun elo igbagbogbo dielectric kekere, ati bẹbẹ lọ.
Awọn ẹya:
▪ Iwọn otutu ilana: iwọn otutu yara si 300 ℃, iwọn otutu ilana jẹ kekere pupọ;
▪ Iwọn titẹ gaasi: laarin 1 ati 100 mTorr, kekere ju PECVD;
▪ Didara fiimu: iwuwo pilasima giga, didara fiimu ti o ga, isokan ti o dara;
▪ Oṣuwọn ifisilẹ: Oṣuwọn ifisilẹ wa laarin LPCVD ati PECVD, diẹ ga ju LPCVD;
▪ Isokan: nitori pilasima iwuwo giga, isokan fiimu dara julọ, o dara fun awọn ipele ti sobusitireti ti o ni iwọn eka;
Awọn anfani ati awọn alailanfani:
▪ Ti o lagbara lati gbe awọn fiimu ti o ga julọ silẹ ni awọn iwọn otutu kekere, o dara pupọ fun awọn ohun elo ti o ni itara ooru;
▪ Aṣọkan fiimu ti o dara julọ, iwuwo ati didan dada;
▪ Iwọn pilasima ti o ga julọ ṣe ilọsiwaju isokan idalẹnu ati awọn ohun-ini fiimu;
▪ Awọn ohun elo idiju ati idiyele ti o ga julọ;
▪ Iyara gbigbe silẹ lọra, ati pe agbara pilasima ti o ga julọ le fa iye kekere ti ibajẹ.
Kaabọ si awọn alabara eyikeyi lati gbogbo agbala aye lati ṣabẹwo si wa fun ijiroro siwaju!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-03-2024