Ninu ilana idagbasoke kristali ohun alumọni ẹyọkan, gbigbe gbigbe ti ara jẹ ọna iṣelọpọ akọkọ lọwọlọwọ. Fun ọna idagbasoke PVT,ohun alumọni carbide lulúni ipa nla lori ilana idagbasoke. Gbogbo sile tiohun alumọni carbide lulútaara ni ipa lori didara idagbasoke gara nikan ati awọn ohun-ini itanna. Ninu awọn ohun elo ile-iṣẹ lọwọlọwọ, eyiti a lo nigbagbogboohun alumọni carbide lulúilana iṣelọpọ jẹ ọna isọdọtun iwọn otutu ti ara ẹni.
Ọna iṣelọpọ iwọn otutu ti ara ẹni ti n tan kaakiri lo iwọn otutu ti o ga lati fun awọn reactants ni ooru akọkọ lati bẹrẹ awọn aati kemikali, ati lẹhinna lo ooru ifa kemikali tirẹ lati jẹ ki awọn nkan ti a ko dahun lati tẹsiwaju lati pari iṣesi kemikali. Sibẹsibẹ, niwọn igba ti iṣesi kẹmika ti Si ati C ṣe idasilẹ ooru ti o kere si, awọn ifaseyin miiran gbọdọ wa ni afikun lati ṣetọju iṣesi naa. Nitorina, ọpọlọpọ awọn ọjọgbọn ti dabaa ọna imudara ti ara ẹni ti o ni ilọsiwaju lori ipilẹ yii, ti n ṣafihan oluṣiṣẹ kan. Ọna ti ikede ti ara ẹni jẹ irọrun rọrun lati ṣe, ati ọpọlọpọ awọn paramita idapọmọra rọrun lati ṣakoso iduroṣinṣin. Iṣajọpọ iwọn-nla pade awọn iwulo ti iṣelọpọ.
Ni ibẹrẹ ọdun 1999, Bridgeport lo ọna isọdọkan iwọn otutu ti ara ẹni lati ṣapọpọ.SiC lulú, ṣugbọn o lo ethoxysilane ati resini phenol bi awọn ohun elo aise, eyiti o jẹ iye owo. Gao Pan ati awọn miiran lo giga-mimọ Si lulú ati C lulú bi awọn ohun elo aise lati ṣepọSiC lulúnipasẹ iwọn otutu ti o ga ni oju-aye argon. Ning Lina pese sile-nlaSiC lulúnipa elekeji kolaginni.
Ileru alapapo igba otutu alabọde ti o dagbasoke nipasẹ Ile-iṣẹ Iwadi Keji ti China Electronics Technology Group Corporation paapaa dapọ lulú ohun alumọni ati lulú erogba ni ipin stoichiometric kan ati gbe wọn sinu ibi-igi lẹẹdi kan. Awọnlẹẹdi crucibleti wa ni gbe ni a alabọde-igbohunsafẹfẹ fifa irọbi ileru alapapo fun alapapo, ati awọn iwọn otutu ayipada ti wa ni lo lati synthesize ki o si yi awọn kekere-otutu alakoso ati ki o ga-otutu alakoso silikoni carbide lẹsẹsẹ. Niwọn igba ti iwọn otutu ti β-SiC synthesis reaction in the low-temperage phase is less than the volatilization otutu ti Si, awọn kolaginni ti β-SiC labẹ ga igbale le daradara rii daju awọn ara-isoju. Ọna ti iṣafihan argon, hydrogen ati HCl gaasi ni iṣelọpọ ti α-SiC ṣe idiwọ jijẹ tiSiC lulúni ipele iwọn otutu ti o ga, ati pe o le dinku akoonu nitrogen ni α-SiC lulú.
Shandong Tianyue ṣe apẹrẹ ileru iṣelọpọ, lilo gaasi silane bi ohun elo aise silikoni ati lulú erogba bi ohun elo aise erogba. Iwọn gaasi ohun elo aise ti a ṣe ni titunse nipasẹ ọna idapọ-igbesẹ meji, ati iwọn patikulu ohun alumọni ohun alumọni ti o kẹhin jẹ laarin 50 ati 5 000 um.
1 Awọn ifosiwewe iṣakoso ti ilana iṣelọpọ lulú
1.1 Ipa ti iwọn patiku lulú lori idagbasoke gara
Iwọn patiku ti ohun alumọni carbide lulú ni ipa pataki pupọ lori idagbasoke kristali ẹyọkan ti o tẹle. Idagba ti SiC kirisita ẹyọkan nipasẹ ọna PVT jẹ aṣeyọri ni akọkọ nipasẹ yiyipada ipin molar ti ohun alumọni ati erogba ninu paati ipele gaasi, ati ipin molar ti ohun alumọni ati erogba ninu paati alakoso gaasi jẹ ibatan si iwọn patiku ti ohun alumọni carbide lulú. . Iwọn titẹ lapapọ ati ohun alumọni-erogba ti eto idagbasoke pọ si pẹlu idinku iwọn patiku. Nigbati iwọn patiku ba dinku lati 2-3 mm si 0.06 mm, ipin silikoni-erogba pọ lati 1.3 si 4.0. Nigbati awọn patikulu ba wa ni kekere si iye kan, titẹ apakan Si pọ si, ati pe ipele ti fiimu Si ti wa ni ipilẹ lori oke ti gara ti ndagba, ti o fa idagbasoke gaasi-omi-lile, eyiti o ni ipa lori polymorphism, awọn abawọn aaye ati awọn abawọn laini. ninu kirisita. Nitorina, awọn patiku iwọn ti ga-mimọ silikoni carbide lulú gbọdọ wa ni daradara dari.
Ni afikun, nigbati awọn iwọn ti SiC lulú patikulu jẹ jo kekere, awọn lulú decomposes yiyara, Abajade ni nmu idagbasoke ti SiC nikan kirisita. Ni apa kan, ni agbegbe iwọn otutu ti o ga ti SiC nikan idagbasoke gara, awọn ilana meji ti iṣelọpọ ati jijẹ ni a ṣe ni nigbakannaa. Silikoni carbide lulú yoo decompose ati ki o dagba erogba ni gaasi ipele ati ri to ipele bi Si, Si2C, SiC2, Abajade ni pataki carbonization ti polycrystalline lulú ati awọn Ibiyi ti erogba inclusions ni gara; ti a ba tun wo lo, nigbati awọn jijẹ oṣuwọn ti awọn lulú jẹ jo sare, awọn gara be ti awọn po SiC nikan gara jẹ prone lati yi, ṣiṣe awọn ti o soro lati šakoso awọn didara ti awọn po SiC nikan gara.
1.2 Ipa ti lulú gara fọọmu on gara idagbasoke
Idagba ti SiC nikan gara nipasẹ ọna PVT jẹ ilana sublimation-recrystallization ni iwọn otutu giga. Fọọmu gara ti ohun elo aise SiC ni ipa pataki lori idagbasoke gara. Ninu ilana ti kolaginni lulú, ipele iṣelọpọ iwọn otutu kekere (β-SiC) pẹlu eto onigun ti sẹẹli ẹyọkan ati ipele iṣelọpọ iwọn otutu giga (α-SiC) pẹlu eto hexagonal ti sẹẹli ẹyọ naa yoo jẹ iṣelọpọ ni akọkọ. . Ọpọlọpọ awọn fọọmu kirisita ohun alumọni carbide ati iwọn iṣakoso iwọn otutu dín lo wa. Fun apẹẹrẹ, 3C-SiC yoo yipada si polymorph silicon carbide hexagonal, ie 4H/6H-SiC, ni awọn iwọn otutu ti o ga ju 1900°C.
Lakoko ilana idagbasoke kristali ẹyọkan, nigba ti a lo lulú β-SiC lati dagba awọn kirisita, ipin molar silikoni-carbon jẹ tobi ju 5.5, lakoko ti a ba lo lulú α-SiC lati dagba awọn kirisita, ipin molar silikoni-carbon jẹ 1.2. Nigbati iwọn otutu ba ga soke, iyipada alakoso kan waye ninu crucible. Ni akoko yii, ipin molar ni ipele gaasi di nla, eyiti ko ṣe iranlọwọ fun idagbasoke gara. Ni afikun, awọn idoti alakoso gaasi miiran, pẹlu erogba, ohun alumọni, ati ohun alumọni, ni irọrun ti ipilẹṣẹ lakoko ilana iyipada alakoso. Iwaju awọn idoti wọnyi nfa ki kristali bibi awọn microtubes ati ofo. Nitorinaa, fọọmu garawa lulú gbọdọ wa ni iṣakoso ni deede.
1.3 Ipa ti lulú impurities on gara idagbasoke
Akoonu aimọ ti o wa ninu SiC lulú ni ipa lori iparun lẹẹkọkan lakoko idagbasoke gara. Awọn akoonu aimọ ti o ga julọ, diẹ sii ni o ṣeeṣe ki o jẹ fun kristali lati ṣe iparun lairotẹlẹ. Fun SiC, awọn aimọ irin akọkọ pẹlu B, Al, V, ati Ni, eyiti o le ṣe afihan nipasẹ awọn irinṣẹ iṣelọpọ lakoko sisẹ ti ohun alumọni lulú ati lulú erogba. Lara wọn, B ati Al jẹ awọn aimọ ipele agbara aijinile akọkọ ni SiC, ti o fa idinku ninu resistivity SiC. Awọn idoti irin miiran yoo ṣafihan ọpọlọpọ awọn ipele agbara, ti o mu abajade awọn ohun-ini itanna ti ko ni iduroṣinṣin ti awọn kirisita ẹyọkan SiC ni awọn iwọn otutu giga, ati pe o ni ipa ti o tobi julọ lori awọn ohun-ini itanna ti awọn sobusitireti kristali ologbele-mimọ giga, paapaa resistivity. Nitorinaa, lulú carbide silikoni mimọ-giga gbọdọ wa ni iṣelọpọ bi o ti ṣee ṣe.
1.4 Ipa ti akoonu nitrogen ni lulú lori idagbasoke gara
Ipele akoonu nitrogen n ṣe ipinnu resistivity ti sobusitireti gara kan ṣoṣo. Awọn aṣelọpọ pataki nilo lati ṣatunṣe ifọkansi doping nitrogen ninu ohun elo sintetiki ni ibamu si ilana idagbasoke gara ti ogbo lakoko iṣelọpọ lulú. Awọn sobusitireti mọto ologbele-mimọ ohun alumọni carbide ẹyọkan jẹ awọn ohun elo ti o ni ileri julọ fun awọn paati itanna mojuto ologun. Lati dagba ologbele-mimọ giga-idabobo awọn sobusitireti gara kan pẹlu resistivity giga ati awọn ohun-ini itanna to dara julọ, akoonu ti nitrogen aimọ akọkọ ninu sobusitireti gbọdọ wa ni iṣakoso ni ipele kekere. Awọn sobusitireti kirisita kan ti o ṣiṣẹ nilo akoonu nitrogen lati ni iṣakoso ni ifọkansi giga kan.
2 Imọ-ẹrọ iṣakoso bọtini fun iṣelọpọ lulú
Nitori awọn agbegbe lilo ti o yatọ si awọn ohun elo siliki carbide, imọ-ẹrọ iṣelọpọ fun awọn lulú idagbasoke tun ni awọn ilana oriṣiriṣi. Fun N-Iru conductive nikan gara idagbasoke powders, ga aimọ ti nw ati ki o nikan alakoso wa ni ti beere; lakoko fun ologbele-idabobo awọn powders idagbasoke kristali kan, iṣakoso to muna ti akoonu nitrogen ni a nilo.
2.1 Powder patiku iwọn Iṣakoso
2.1.1 Synthesis otutu
Mimu awọn ipo ilana miiran ko yipada, awọn powders SiC ti ipilẹṣẹ ni awọn iwọn otutu idapọ ti 1900 ℃, 2000 ℃, 2100 ℃, ati 2200 ℃ ni a ṣe ayẹwo ati itupalẹ. Gẹgẹbi a ṣe han ni Nọmba 1, o le rii pe iwọn patiku jẹ 250 ~ 600 μm ni 1900 ℃, ati iwọn patiku pọ si 600 ~ 850 μm ni 2000 ℃, ati iwọn patiku yipada ni pataki. Nigbati iwọn otutu ba tẹsiwaju lati dide si 2100 ℃, iwọn patiku ti SiC lulú jẹ 850 ~ 2360 μm, ati pe ilosoke naa duro lati jẹ onírẹlẹ. Iwọn patiku ti SiC ni 2200 ℃ jẹ iduroṣinṣin ni iwọn 2360 μm. Ilọsoke ni iwọn otutu kolaginni lati 1900 ℃ ni ipa rere lori iwọn patiku SiC. Nigbati iwọn otutu kolaginni tẹsiwaju lati pọ si lati 2100 ℃, iwọn patiku ko yipada ni pataki. Nitorinaa, nigbati iwọn otutu kolaginni ti ṣeto si 2100 ℃, iwọn patiku nla kan le ṣepọ ni agbara agbara kekere.
2.1.2 akoko Synthesis
Awọn ipo ilana miiran ko yipada, ati pe akoko iṣelọpọ ti ṣeto si 4 h, 8h, ati 12h lẹsẹsẹ. Ti ipilẹṣẹ SiC lulú iṣapẹẹrẹ iṣapẹẹrẹ ni a fihan ni Nọmba 2. A rii pe akoko iṣelọpọ ni ipa pataki lori iwọn patiku ti SiC. Nigbati akoko kolaginni jẹ 4 h, iwọn patiku ti pin ni akọkọ ni 200 μm; nigbati akoko kolaginni jẹ 8 h, iwọn patiku sintetiki pọ si ni pataki, ti a pin kaakiri ni iwọn 1 000 μm; bi akoko kolaginni tẹsiwaju lati mu, awọn patiku iwọn posi siwaju, o kun pin ni nipa 2 000 μm.
2.1.3 Ipa ti aise ohun elo patiku iwọn
Bii iṣelọpọ ohun elo ohun elo alumọni ti ile ti ni ilọsiwaju ni ilọsiwaju, mimọ ti awọn ohun elo ohun alumọni tun ni ilọsiwaju siwaju. Ni lọwọlọwọ, awọn ohun elo ohun alumọni ti a lo ninu iṣelọpọ ni akọkọ pin si ohun alumọni granular ati ohun alumọni powdered, bi o ṣe han ni Nọmba 3.
Awọn ohun elo aise ohun alumọni oriṣiriṣi ni a lo lati ṣe awọn adanwo iṣakojọpọ ohun alumọni carbide. Ifiwera ti awọn ọja sintetiki ti han ni Nọmba 4. Onínọmbà fihan pe nigba lilo awọn ohun elo aise ohun alumọni, iye nla ti awọn eroja Si wa ninu ọja naa. Lẹhin ti ohun alumọni Àkọsílẹ ti wa ni itemole fun awọn keji akoko, awọn Si ano ni sintetiki ọja ti wa ni significantly dinku, sugbon o tun wa. Nikẹhin, a lo lulú silikoni fun iṣelọpọ, ati pe SiC nikan wa ninu ọja naa. Eyi jẹ nitori pe ninu ilana iṣelọpọ, ohun alumọni granular titobi nla nilo lati faragba ifarabalẹ iṣelọpọ dada ni akọkọ, ati pe ohun alumọni carbide ti wa ni iṣelọpọ lori dada, eyiti o ṣe idiwọ Si lulú inu inu lati papọ siwaju pẹlu C lulú. Nitorinaa, ti a ba lo ohun alumọni bulọki bi ohun elo aise, o nilo lati fọ ati lẹhinna tẹriba si ilana iṣelọpọ Atẹle lati gba ohun alumọni carbide lulú fun idagbasoke gara.
2.2 Powder gara Iṣakoso fọọmu
2.2.1 Ipa ti iwọn otutu kolaginni
Mimu awọn ipo ilana miiran ko yipada, iwọn otutu kolaginni jẹ 1500 ℃, 1700 ℃, 1900 ℃, ati 2100 ℃, ati ti ipilẹṣẹ SiC lulú jẹ apẹrẹ ati itupalẹ. Gẹgẹbi a ṣe han ni Nọmba 5, β-SiC jẹ awọ ofeefee erupẹ, ati α-SiC fẹẹrẹfẹ ni awọ. Nipa wíwo awọ ati imọ-ara ti lulú ti a ti ṣajọpọ, o le pinnu pe ọja ti a ti ṣajọpọ jẹ β-SiC ni awọn iwọn otutu ti 1500 ℃ ati 1700 ℃. Ni 1900 ℃, awọ naa di fẹẹrẹfẹ, ati awọn patikulu hexagonal han, ti o fihan pe lẹhin ti iwọn otutu ba dide si 1900 ℃, iyipada alakoso kan waye, ati apakan ti β-SiC ti yipada si α-SiC; nigbati iwọn otutu ba tẹsiwaju lati jinde si 2100 ℃, o rii pe awọn patikulu ti iṣelọpọ jẹ ṣiṣafihan, ati α-SiC ti yipada ni ipilẹ.
2.2.2 Ipa ti akoko kolaginni
Awọn ipo ilana miiran ko yipada, ati pe akoko iṣelọpọ ti ṣeto si 4h, 8h, ati 12h, lẹsẹsẹ. Awọn ti ipilẹṣẹ SiC lulú ti wa ni apẹrẹ ati atupale nipasẹ diffractometer (XRD). Awọn abajade ti wa ni afihan ni Nọmba 6. Akoko iṣelọpọ ni ipa kan lori ọja ti a ṣe nipasẹ SiC lulú. Nigbati akoko kolaginni jẹ wakati 4 ati 8, ọja sintetiki jẹ akọkọ 6H-SiC; nigbati akoko kolaginni jẹ wakati 12, 15R-SiC yoo han ninu ọja naa.
2.2.3 Ipa ti ipin ohun elo aise
Awọn ilana miiran ko yipada, iye ti awọn ohun alumọni-erogba ti wa ni atupale, ati awọn ipin jẹ 1.00, 1.05, 1.10 ati 1.15 ni atele fun awọn adanwo iṣelọpọ. Awọn abajade ti han ni aworan 7.
Lati iwoye XRD, o le rii pe nigbati ipin silikoni-erogba ba tobi ju 1.05, apọju Si han ninu ọja naa, ati nigbati ipin silikoni-erogba kere ju 1.05, apọju C yoo han. Nigbati ipin silikoni-erogba jẹ 1.05, erogba ọfẹ ninu ọja sintetiki ti yọkuro ni ipilẹ, ko si si ohun alumọni ọfẹ ti o han. Nitorinaa, ipin iye ti ohun alumọni-erogba ratio yẹ ki o jẹ 1.05 lati ṣapọpọ SiC mimọ-giga.
2.3 Iṣakoso ti kekere nitrogen akoonu ni lulú
2.3.1 Sintetiki aise ohun elo
Awọn ohun elo aise ti a lo ninu idanwo yii jẹ lulú erogba mimọ-giga ati lulú ohun alumọni mimọ-giga pẹlu iwọn ila opin ti 20 μm. Nitori iwọn patiku kekere wọn ati agbegbe dada kan pato, wọn rọrun lati fa N2 ni afẹfẹ. Nigbati synthesizing awọn lulú, o yoo wa ni mu sinu gara fọọmu ti awọn lulú. Fun idagba ti awọn kirisita N-Iru, doping aiṣedeede ti N2 ninu lulú nyorisi uneven resistance ti gara ati paapaa awọn ayipada ninu fọọmu gara. Akoonu nitrogen ti erupẹ iṣelọpọ lẹhin ti a ti ṣafihan hydrogen jẹ kekere pupọ. Eyi jẹ nitori iwọn didun awọn ohun elo hydrogen jẹ kekere. Nigbati N2 adsorbed ni erogba lulú ati ohun alumọni lulú ti wa ni kikan ati ki o decomposed lati dada, H2 ni kikun tan kaakiri sinu aafo laarin awọn powders pẹlu awọn oniwe-kekere iwọn didun, rirọpo awọn ipo ti N2, ati N2 yọ kuro lati crucible nigba ti igbale ilana, iyọrisi idi ti yiyọ akoonu nitrogen kuro.
2.3.2 ilana ilana
Lakoko iṣelọpọ ti ohun alumọni carbide lulú, niwọn bi rediosi ti awọn ọta erogba ati awọn ọta nitrogen jẹ iru, nitrogen yoo rọpo awọn aye erogba ni ohun alumọni carbide, nitorinaa jijẹ akoonu nitrogen. Ilana idanwo yii gba ọna ti iṣafihan H2, ati H2 ṣe atunṣe pẹlu erogba ati awọn eroja silikoni ninu iṣelọpọ iṣelọpọ lati ṣe ina awọn gaasi C2H2, C2H, ati SiH. Akoonu eroja erogba pọ si nipasẹ gbigbe ipele gaasi, nitorinaa idinku awọn aye erogba. Idi ti yọ nitrogen kuro ni aṣeyọri.
2.3.3 Ilana isale nitrogen akoonu Iṣakoso
Graphite crucibles pẹlu porosity nla le ṣee lo bi awọn orisun C afikun lati fa Si vapor ni awọn paati alakoso gaasi, dinku Si ninu awọn paati alakoso gaasi, ati nitorinaa mu C / Si pọ si. Ni akoko kanna, graphite crucibles tun le fesi pẹlu Si bugbamu Si lati se ina Si2C, SiC2 ati SiC, eyi ti o jẹ deede si Si bugbamu ti nmu C orisun lati graphite crucible sinu bugbamu ti idagbasoke, jijẹ awọn C ratio, ati ki o tun npo erogba-silicon ratio. . Nitorinaa, ipin erogba-ohun alumọni le pọ si nipasẹ lilo awọn crucibles graphite pẹlu porosity nla, idinku awọn aye erogba, ati iyọrisi idi ti yiyọ nitrogen kuro.
3 Onínọmbà ati apẹrẹ ti ilana iṣelọpọ lulú lulú ẹyọkan
3.1 Ilana ati apẹrẹ ti ilana iṣelọpọ
Nipasẹ iwadi okeerẹ ti a mẹnuba loke lori iṣakoso ti iwọn patiku, fọọmu gara ati akoonu nitrogen ti iṣelọpọ lulú, ilana iṣelọpọ ti dabaa. Ga-ti nw C lulú ati Si lulú ti wa ni ti a ti yan, ati awọn ti wọn wa ni boṣeyẹ adalu ati ki o kojọpọ sinu kan lẹẹdi crucible ni ibamu si a silikoni-erogba ratio ti 1.05. Awọn igbesẹ ilana ti pin ni akọkọ si awọn ipele mẹrin:
1) Ilana denitrification ti iwọn otutu kekere, igbale si 5 × 10-4 Pa, lẹhinna ṣafihan hydrogen, ṣiṣe titẹ iyẹwu nipa 80 kPa, mimu fun awọn iṣẹju 15, ati tun ṣe ni igba mẹrin. Ilana yii le yọ awọn eroja nitrogen kuro lori ilẹ ti erupẹ erogba ati ohun alumọni lulú.
2) Ilana denitrification ti iwọn otutu ti o ga julọ, fifọ si 5 × 10-4 Pa, lẹhinna alapapo si 950 ℃, ati lẹhinna ṣafihan hydrogen, ṣiṣe titẹ iyẹwu naa nipa 80 kPa, mimu fun 15 min, ati tun ṣe ni igba mẹrin. Ilana yii le yọ awọn eroja nitrogen kuro ni oju ti erupẹ erogba ati ohun alumọni lulú, ati ki o wakọ nitrogen ni aaye ooru.
3) Akopọ ti ilana alakoso iwọn otutu kekere, yọ kuro si 5 × 10-4 Pa, lẹhinna ooru si 1350 ℃, tọju fun awọn wakati 12, lẹhinna ṣafihan hydrogen lati ṣe titẹ iyẹwu nipa 80 kPa, tọju fun wakati 1. Ilana yi le yọ awọn nitrogen volatilized nigba ti kolaginni ilana.
4) Akopọ ti ilana ipele iwọn otutu ti o ga, fọwọsi pẹlu ipin iwọn didun gaasi kan ti hydrogen mimọ giga ati gaasi adalu argon, ṣe titẹ iyẹwu nipa 80 kPa, gbe iwọn otutu si 2100 ℃, tọju fun awọn wakati 10. Ilana yii pari iyipada ti ohun alumọni carbide lulú lati β-SiC si α-SiC ati pe o pari idagba ti awọn patikulu gara.
Nikẹhin, duro fun iwọn otutu iyẹwu lati tutu si iwọn otutu yara, kun si titẹ oju-aye, ki o si mu lulú jade.
3.2 Powder lẹhin ilana ilana
Lẹhin ti awọn lulú ti wa ni sise nipasẹ awọn loke ilana, o gbọdọ wa ni ranse si-ilana lati yọ free erogba, ohun alumọni ati awọn miiran irin impurities ati iboju awọn patiku iwọn. Ni akọkọ, erupẹ ti a ti ṣajọpọ ni a gbe sinu ọlọ ọlọ kan fun fifunpa, ati erupẹ siliki carbide ti a ti fọ ni a gbe sinu adiro muffle ati ki o gbona si 450 ° C nipasẹ atẹgun. Erogba ọfẹ ti o wa ninu lulú jẹ oxidized nipasẹ ooru lati ṣe ina gaasi erogba oloro ti o salọ kuro ninu iyẹwu naa, nitorinaa iyọrisi yiyọkuro erogba ọfẹ. Lẹhinna, omi mimọ ekikan kan ti pese sile ati gbe sinu ẹrọ mimọ patiku ohun alumọni carbide fun mimọ lati yọ erogba kuro, ohun alumọni ati awọn aimọ irin to ku ti ipilẹṣẹ lakoko ilana iṣelọpọ. Lẹhin iyẹn, a ti fọ acid ti o ku ninu omi mimọ ati ki o gbẹ. Lulú ti o gbẹ ti wa ni iboju ni iboju gbigbọn fun yiyan iwọn patiku fun idagbasoke gara.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-08-2024