Lẹẹdi pẹlu TaC bo

I. Iwakiri paramita ilana

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar eto

2. Iwọn otutu ifipamọ:

Gẹgẹbi agbekalẹ thermodynamic, o ṣe iṣiro pe nigbati iwọn otutu ba tobi ju 1273K, agbara ọfẹ Gibbs ti iṣesi jẹ kekere pupọ ati pe iṣesi jẹ pipe. Iṣeduro ibakan KP jẹ nla pupọ ni 1273K ati pe o pọ si ni iyara pẹlu iwọn otutu, ati pe oṣuwọn idagbasoke n fa fifalẹ ni 1773K.

Ipa lori morphology dada ti ibora: Nigbati iwọn otutu ko ba dara (ga ju tabi lọ silẹ ju), dada naa ṣafihan mofoloji erogba ọfẹ tabi awọn pores alaimuṣinṣin.

(1) Ni awọn iwọn otutu ti o ga, iyara gbigbe ti awọn ọta reactant ti nṣiṣe lọwọ tabi awọn ẹgbẹ yara ju, eyiti yoo yorisi pinpin aiṣedeede lakoko ikojọpọ awọn ohun elo, ati awọn agbegbe ọlọrọ ati talaka ko le yipada ni irọrun, ti o yorisi awọn pores.

(2) Iyatọ wa laarin oṣuwọn ifaseyin pyrolysis ti awọn alkanes ati idinku oṣuwọn ifaseyin ti tantalum pentachloride. Erogba pyrolysis ti pọ ju ati pe a ko le ṣe idapo pelu tantalum ni akoko, ti o mu ki oju ti a we nipasẹ erogba.

Nigbati awọn iwọn otutu jẹ yẹ, awọn dada ti awọnTaC ti a bojẹ ipon.

TaCpatikulu yo ati ki o kojopo pẹlu kọọkan miiran, awọn gara fọọmu jẹ pari, ati ọkà aala awọn itejade laisiyonu.

3. Iwọn hydrogen:

Ni afikun, ọpọlọpọ awọn okunfa ti o ni ipa lori didara ti a bo:

-Substrate dada didara

-Deposition gaasi aaye

-Ìyí ti uniformity ti reactant gaasi dapọ

II. Aṣoju abawọn titantalum carbide ti a bo

1. Aso wo inu ati peeling

Imugboroosi igbona laini ila CTE laini:

2. Itupalẹ abawọn:

(1) Nitori:

(2) ọna kikọ

① Lo imọ-ẹrọ diffraction X-ray lati wiwọn igara to ku.

② Lo ofin Hu Ke lati ṣe isunmọ wahala ti o ku.

(3) Awọn ilana ti o jọmọ

3.Enhance awọn darí ibamu ti awọn ti a bo ati awọn sobusitireti

(1) Dada ni-situ idagbasoke ti a bo

Gbona lenu iwadi oro ati tan kaakiri ọna ẹrọ TRD

Didà iyo ilana

Rọrun ilana iṣelọpọ

Isalẹ awọn lenu otutu

Jo kekere iye owo

Diẹ ayika ore

Dara fun iṣelọpọ ile-iṣẹ nla-nla

(2) Apapo iyipada ti a bo

Ilana idasile

CVDilana

Olona-paati ti a bo

Apapọ awọn anfani ti kọọkan paati

Ni irọrun ṣatunṣe akopọ ti a bo ati ipin

4. Iṣeduro ifarabalẹ gbona ati imọ-ẹrọ itankale TRD

(1) Reaction Mechanism

Imọ-ẹrọ TRD ni a tun pe ni ilana ifibọ, eyiti o nlo boric acid-tantalum pentoxide-sodium fluoride-boron oxide-boron carbide system lati murasilẹtantalum carbide ti a bo.

① Didà boric acid tu tantalum pentoxide;

② Tantalum pentoxide ti dinku si awọn ọta tantalum ti nṣiṣe lọwọ ati tan kaakiri lori dada graphite;

③ Awọn ọta tantalum ti nṣiṣe lọwọ ti wa ni ipolowo lori dada graphite ati fesi pẹlu awọn ọta erogba lati dagbatantalum carbide ti a bo.

(2) Kọ́kọ́rọ́ Ìdáhùnpadà

Awọn iru ti carbide ti a bo gbọdọ ni itẹlọrun awọn ibeere ti awọn ifoyina Ibiyi free agbara ti awọn ano lara awọn carbide jẹ ti o ga ju ti boron oxide.

Agbara ọfẹ Gibbs ti carbide jẹ kekere to (bibẹẹkọ, boron tabi boride le ṣe agbekalẹ).

Tantalum pentoxide jẹ oxide didoju. Ni iwọn otutu didà borax, o le fesi pẹlu awọn alagbara ipilẹ oxide soda oxide lati dagba iṣuu soda tantalate, nitorina atehinwa ni ibẹrẹ lenu otutu.